激光位移傳感器在對(duì)射測(cè)量測(cè)厚方面有著廣泛的應(yīng)用。其安裝方法主要包括以下幾個(gè)方面。首先是激光位移傳感器的安裝位置,通常是選擇在被測(cè)物體的兩側(cè),以保證測(cè)量精度和穩(wěn)定性。其次是安裝時(shí)需要注意兩個(gè)激光位移傳感器之間的距離和同軸度,以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。同時(shí),還需要注...
本文研究的鍺膜厚度約為300nm,導(dǎo)致白光干涉輸出的光譜只有一個(gè)干涉峰,無(wú)法采用常規(guī)的基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案,如峰峰值法等。為此,研究人員提出了一種基于單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的白光干涉測(cè)量方案,并設(shè)計(jì)制作了膜厚測(cè)量系統(tǒng)。經(jīng)實(shí)驗(yàn)證明,峰值波長(zhǎng)和溫度變化之間存在很好...
白光干涉光譜分析是目前白光干涉測(cè)量的一個(gè)重要方向。此項(xiàng)技術(shù)通過(guò)使用光譜儀將對(duì)條紋的測(cè)量轉(zhuǎn)變?yōu)閷?duì)不同波長(zhǎng)光譜的測(cè)量,分析被測(cè)物體的光譜特性,得到相應(yīng)的長(zhǎng)度信息和形貌信息。與白光掃描干涉術(shù)相比,它不需要大量的掃描過(guò)程,因此提高了測(cè)量效率,并減小了環(huán)境對(duì)其影響。此項(xiàng)...
基于表面等離子體共振傳感的測(cè)量方案,利用共振曲線的三個(gè)特征參量半高寬、—共振角和反射率小值,通過(guò)反演計(jì)算得到待測(cè)金屬薄膜的厚度。該測(cè)量方案可同時(shí)得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度,操作方法簡(jiǎn)單。我們利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),測(cè)得金膜...
隨著城市化進(jìn)程的加快和人口的增加,軌道交通已經(jīng)成為城市中不可或缺的一部分。軌道交通的安全和運(yùn)營(yíng)對(duì)于現(xiàn)代城市的運(yùn)轉(zhuǎn)至關(guān)重要。而激光位移傳感器的高精度和高靈敏度使其在軌道交通領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,它能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)量列車的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài),為軌道交通的安全和運(yùn)營(yíng)提...
為了提高靶丸內(nèi)爆壓縮效率,需要確保靶丸所有幾何參數(shù)和物性參數(shù)都符合理想的球?qū)ΨQ狀態(tài),因此需要對(duì)靶丸殼層厚度分布進(jìn)行精密檢測(cè)。常用的測(cè)量手法有X射線顯微輻照法、激光差動(dòng)共焦法和白光干涉法等。白光干涉法是以白光作為光源,分成入射到參考鏡和待測(cè)樣品的兩束光,在計(jì)算機(jī)...
液晶玻璃基板品質(zhì)管控要求嚴(yán)格、設(shè)備精度要求高,傳統(tǒng)的接觸式測(cè)厚裝置因其測(cè)量精度差、測(cè)量頻次有限而無(wú)法形成連續(xù)測(cè)量、接觸式測(cè)量裝置損耗快,需頻繁定期更換等不足,已無(wú)法滿足當(dāng)前生產(chǎn)要求。激光測(cè)厚裝置的應(yīng)用有效彌補(bǔ)了接觸式測(cè)厚裝置的不足,從效率、精度、準(zhǔn)度、連續(xù)性、...
激光位移傳感器可以幫助制造商在生產(chǎn)過(guò)程中及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決問(wèn)題,提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。例如,在半導(dǎo)體制造中,激光位移傳感器可以用于檢測(cè)芯片的厚度和變形,確保芯片的質(zhì)量和性能。在制藥行業(yè)中,激光位移傳感器可以用于檢測(cè)藥品的質(zhì)量和成分,確保藥品的有效性和安全性。激...
光譜共焦技術(shù)主要包括成像、位置確認(rèn)和檢測(cè)三個(gè)步驟。首先,使用顯微鏡對(duì)樣品進(jìn)行成像,并將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)處理。然后通過(guò)算法對(duì)圖像進(jìn)行位置確認(rèn),以確定樣品的空間位置。之后,通過(guò)對(duì)樣品的光譜信息分析,實(shí)現(xiàn)對(duì)其成分的檢測(cè)。在點(diǎn)膠行業(yè)中,光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測(cè)點(diǎn)膠的...
共焦位移傳感器是一種共焦位移傳感器,其包括:頭單元,其包括共焦光學(xué)系統(tǒng);約束裝置,其包括投光用光源,所述投光用光源被構(gòu)造為產(chǎn)生具有多個(gè)波長(zhǎng)的光;以及光纖線纜,其包括用于將從所述投光用光源出射的光傳送到所述頭單元的光纖。所述頭單元包括光學(xué)構(gòu)件,所述光學(xué)構(gòu)件被構(gòu)造...
隨著社會(huì)的發(fā)展,智能設(shè)備不斷進(jìn)化,人們對(duì)個(gè)性化的追求日益增加。復(fù)雜的形狀意味著對(duì)點(diǎn)膠設(shè)備提出更高的精度和靈活性要求。當(dāng)前在手機(jī)中板和屏幕模組貼合時(shí),需要在中板上面點(diǎn)一圈透明的UV膠,由于其白色反光特性,只能使用光譜共焦傳感器進(jìn)行完美測(cè)量。光譜共焦傳感器的復(fù)合光...
采用對(duì)比測(cè)試方法,首先對(duì)基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度進(jìn)行了考核。為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測(cè)量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,白光共焦...
高像素傳感器的設(shè)計(jì)取決于對(duì)焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求。同時(shí),在光譜共焦位移傳感器中,屏幕分辨率通常采用全半寬來(lái)進(jìn)行精確測(cè)量。高NA可以降低半寬,提高分辨率。因此,在設(shè)計(jì)超色差攝像鏡頭時(shí),需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率,...
我們智能能設(shè)備的進(jìn)化日新月異,人們的追求越來(lái)越個(gè)性化。愈發(fā)復(fù)雜的形狀意味著,對(duì)點(diǎn)膠設(shè)備提出更高的要求,需要應(yīng)對(duì)更高的點(diǎn)膠精度!更靈活的點(diǎn)膠角度!目前手機(jī)中板和屏幕模組貼合時(shí),需要在中板上面點(diǎn)一圈透明的UV膠,這種膠由于白色反光的原因,只能使用光譜共焦傳感器進(jìn)行...
隨著科技的不斷發(fā)展,光譜共焦技術(shù)已成為現(xiàn)代制造業(yè)中不可或缺的一部分。作為一種高精度、高效率的檢測(cè)手段,光譜共焦技術(shù)在點(diǎn)膠行業(yè)中的應(yīng)用越來(lái)越普遍。光譜共焦技術(shù)基于光學(xué)原理,通過(guò)將白光分解為不同波長(zhǎng)的光波,實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的精細(xì)光譜分析。在制造業(yè)中,點(diǎn)膠是一道重要的工序...
光譜共焦位移傳感器是一種用于測(cè)量物體表面形貌和位移的先進(jìn)傳感器技術(shù)。它能夠通過(guò)光譜共焦原理實(shí)現(xiàn)高精度的位移測(cè)量,廣泛應(yīng)用于工業(yè)制造、科學(xué)研究和醫(yī)療診斷等領(lǐng)域。本文將介紹光譜共焦位移傳感器的工作原理、測(cè)試場(chǎng)景和解決方案。光譜共焦位移傳感器的工作原理是基于光學(xué)共焦...
玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板,各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用。玻璃基板的品質(zhì)對(duì)控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個(gè)基本上構(gòu)件。這是一種表層...
譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測(cè)量、3C電子等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。 本次測(cè)量...
在電化學(xué)領(lǐng)域,電極片的厚度是一個(gè)重要的參數(shù),直接影響著電化學(xué)反應(yīng)的效率和穩(wěn)定性,我們將介紹光譜共焦位移傳感器對(duì)射測(cè)量電極片厚度的具體方法。首先,我們需要準(zhǔn)備一塊待測(cè)電極片和光譜共焦位移傳感器。將電極片放置在測(cè)量平臺(tái)上,并調(diào)整傳感器的位置,使其與電極片表面保持垂...
硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測(cè)量速度,以及±60°的測(cè)量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、...
在硅片柵線的厚度測(cè)量過(guò)程中,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測(cè)量速度和±60°的測(cè)量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多...
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是加工現(xiàn)場(chǎng)常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測(cè)設(shè)備,具有通用性強(qiáng),精確可靠等優(yōu)點(diǎn)。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法,利用工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)常用的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)執(zhí)行輪...
光譜共焦技術(shù)是一種高精度、非接觸的光學(xué)測(cè)量技術(shù),將軸向距離與波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立了一套編碼規(guī)則。作為一種亞微米級(jí)、迅速精確測(cè)量的傳感器,基于光譜共焦技術(shù)的傳感器已廣應(yīng)用于表面微觀形狀、厚度測(cè)量、位移測(cè)量、在線監(jiān)控和過(guò)程管控等工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域。隨著光譜共焦傳感技術(shù)的不...
光譜共焦技術(shù)是一種高精度、非接觸的光學(xué)測(cè)量技術(shù),將軸向距離與波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立了一套編碼規(guī)則。作為一種亞微米級(jí)、迅速精確測(cè)量的傳感器,基于光譜共焦技術(shù)的傳感器已廣應(yīng)用于表面微觀形狀、厚度測(cè)量、位移測(cè)量、在線監(jiān)控和過(guò)程管控等工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域。隨著光譜共焦傳感技術(shù)的不...
背景技術(shù):光學(xué)測(cè)量與成像技術(shù),通過(guò)光源、被測(cè)物體和探測(cè)器三點(diǎn)共,去除焦點(diǎn)以外的雜散光,得到比傳統(tǒng)寬場(chǎng)顯微鏡更高的橫向分辨率,同時(shí)由于引入圓孔探測(cè)具有了軸向深度層析能力,通過(guò)焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像...
光纖白光干涉此次實(shí)驗(yàn)所設(shè)計(jì)的解調(diào)系統(tǒng)是通過(guò)檢測(cè)干涉峰值的中心波長(zhǎng)的移動(dòng)實(shí)現(xiàn)的,所以光源中心波長(zhǎng)的穩(wěn)定性將對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果產(chǎn)生很大的影響。實(shí)驗(yàn)中我們所選用的光源是由INPHENIX公司生產(chǎn)的SLED光源,相對(duì)于一般的寬帶光源具有輸出功率高、覆蓋光譜范圍寬等特點(diǎn)。該光源...
使用了迭代算法的光譜擬合法,其優(yōu)缺點(diǎn)在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入,遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測(cè)量。其缺點(diǎn)是不夠?qū)嵱茫摲椒ㄐ枰粋€(gè)較好的薄膜的光學(xué)模型(包括色散系數(shù)、吸收系數(shù)、多層膜系統(tǒng)),但是在實(shí)際測(cè)試過(guò)程中...
光譜擬合法易于應(yīng)用于測(cè)量,但由于使用了迭代算法,因此其優(yōu)缺點(diǎn)在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著遺傳算法、模擬退火算法等全局優(yōu)化算法的引入,被用于測(cè)量薄膜參數(shù)。該方法需要一個(gè)較好的薄膜光學(xué)模型(包括色散系數(shù)、吸收系數(shù)、多層膜系統(tǒng)),但實(shí)際測(cè)試過(guò)程中薄膜的色散和...
白光干涉測(cè)量技術(shù),也被稱為光學(xué)低相干干涉測(cè)量技術(shù),使用的是低相干的寬譜光源,例如發(fā)光二極管、超輻射發(fā)光二極管等。同所有的光學(xué)干涉原理一樣,白光干涉同樣是通過(guò)觀察干涉圖樣的變化來(lái)分析干涉光程差的變化,進(jìn)而通過(guò)各種解調(diào)方案實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物理量的測(cè)量。采用寬譜光源的優(yōu)點(diǎn)...
光譜共焦技術(shù)主要包括成像、位置確認(rèn)和檢測(cè)三個(gè)步驟。首先,使用顯微鏡對(duì)樣品進(jìn)行成像,并將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)處理。然后通過(guò)算法對(duì)圖像進(jìn)行位置確認(rèn),以確定樣品的空間位置。之后,通過(guò)對(duì)樣品的光譜信息分析,實(shí)現(xiàn)對(duì)其成分的檢測(cè)。在點(diǎn)膠行業(yè)中,光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測(cè)點(diǎn)膠的...