硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、...

開展白光干涉理論分析 ，在此基礎(chǔ)詳細介紹了白光垂直掃描干涉技術(shù)和白光反射光譜技術(shù)的基本原理，完成了應(yīng)用于靶丸殼層折射率和厚度分布測量實驗裝置的設(shè)計及搭建。該實驗裝置主要由白光反射光譜探測模塊、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運動模塊、氣浮隔震平臺等幾部分組成，可實現(xiàn)靶丸...

激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。如在汽車制造中，激光位移傳感器可以用于測量車身的變形和尺寸，確保汽車的質(zhì)量和安全性能。在航空航天制造中 ，激光位移傳感器可以用于測量航空器件的尺寸和變形，以及機翼的形狀和彎曲度。在微電子制造中，激光位移傳感器可以...

在激光三角法的光學(xué)成像系統(tǒng)中，像點移動的位移是測量結(jié)果的依據(jù)，作為成像對象的激光斑點的尺寸對測量的精度有很大的影響。在一個衍射受限系統(tǒng)中，成像的焦深大小為：它是表征光斑能清晰地成像在探測器上的縱向范圍，一定的焦深范圍是激光三角測量傳感器實現(xiàn)精密測量的前提條件。...

激光位移傳感器在鋰電極片測厚行業(yè)應(yīng)用 。其采用的激光光點呈橢圓形，長軸直徑遠大于正負(fù)極材料顆粒，在測量時能起到厚度平均的作用，不會因為極片表面的顆粒太大導(dǎo)致測量過程中出現(xiàn)極小范圍內(nèi)的波峰和波谷 。因此，采用該激光位移傳感器做測厚儀用于測量鋰電池正負(fù)極極片厚度是...

激光位移傳感器具有同步功能，可以用于差動測厚、測長等，特別適用于工業(yè)自動化生產(chǎn)。激光位移傳感器以其的測量性能實現(xiàn)非接觸在線測量位移、三維尺寸、厚度、 表面輪廓、物體形變、振動、液位、工件分揀和各種大型構(gòu)件如橋梁、飛機和艦船骨架、機床導(dǎo)軌的定位安裝、動態(tài)監(jiān)測重要...

在實踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨特的光譜共焦測量原理，憑借一只探頭就可以實現(xiàn)對玻璃等透明材料進行精確的單向厚度測量。透明材料上表面及下表面都會形成不同波長反射光，通過計算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝...

白光干涉在零光程差處 ，出現(xiàn)零級干涉條紋，隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對比度下降。測量精度高，可以實現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強，動態(tài)范圍大，具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點。普...

光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用中，具有非常重要的作用。例如，在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于實時監(jiān)測風(fēng)力發(fā)電機葉片的位移，從而及時發(fā)現(xiàn)葉片的形變和振動情況，保證發(fā)電機的正常運行。此外，在新能源汽車領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于測量電池、電機等關(guān)鍵部...

隨后安裝在貼裝臺單元上的激光位移傳感器403檢測鍵合頭370上拾取的芯片的傾角，結(jié)合兩位移傳感器360和403的初始角度差值，利用調(diào)平機構(gòu)340對芯片做出與貼裝臺401上貼裝位間的平行調(diào)整；其調(diào)平的具體實現(xiàn)過程如下：音圈電機343動作，從而實現(xiàn)音圈模組341產(chǎn)...

光譜共焦測量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合 。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準(zhǔn)確測量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下，產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見光聚焦點。當(dāng)待測物體放置在檢測范圍內(nèi)時，只有一種光波長能夠聚焦...

根據(jù)對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析，可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能：首先，產(chǎn)生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而該傳感器需要利用色差進行測量，需要將其擴大化 ；其次，產(chǎn)生軸向色差后，焦點在軸上會因單色光的球差問題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWH...

光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器，因為其測量精度高，對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強的抵抗能力等特點，應(yīng)用前景十分大量。文章通過對原理的分析，設(shè)計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃，采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補...

與激光光源相比以白光的寬光譜光源由于具有短相干長度的特點使得兩光束只有在光程差極小的情況下才能發(fā)生干涉因此不會產(chǎn)生干擾條紋 。同時由于白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置避免了干涉級次不確定的問題。本文以白光干涉原理為理論基礎(chǔ)對單層透明薄膜厚度測量尤其...

激光位移傳感器是一種應(yīng)用的非接觸式測量設(shè)備，其主要用于非標(biāo)檢測設(shè)備中。國內(nèi)所使用的激光測量儀器幾乎完全依賴于國外進口。該傳感器具有同步功能，可用于差動測厚、測長等 ，特別適用于工業(yè)自動化生產(chǎn)。激光位移傳感器具有的測量性能，可用于在線測量位移、三維尺寸、厚度、表...

激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用范圍很廣。在太陽能光伏領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對太陽能電池板進行高精度的位移測量，以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對風(fēng)力發(fā)電機葉片的位移進行測量，以確定葉片的形變和振動情況，從而提...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分 。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光，通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個連續(xù)的焦點組 ，每個焦點的單色光波長對應(yīng)一個軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點范圍內(nèi)時，樣品表面會聚焦后的光反射回去，這些反...

激光三角法測量原理可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測量，測量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計處理結(jié)果直接關(guān)系到測量精度的提高，同時也與測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、被測物體特性及環(huán)境條件等因素有關(guān) 。從激光三角法的測量機理出發(fā)，針對易拉罐罐蓋開啟口壓痕殘余厚度測量中影響測量的關(guān)鍵問題進行分析和研究...

靶丸殼層折射率 、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實驗中非常關(guān)鍵的參數(shù)，精密測量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對ICF精密物理實驗研究具有非常重要的意義。由于靶丸尺寸微小（亞毫米量級）、結(jié)構(gòu)特殊（球形結(jié)構(gòu)）、測量精度要求高，如何實現(xiàn)靶丸殼層折射率...

客戶一直使用潔凈室中的激光測量設(shè)備來檢查對齊情況，但每個組件的對齊檢查需要大約十分鐘，時間太長了。因此，客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準(zhǔn)檢查所需的時間?，F(xiàn)在，我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動裝配機中。為了避免由...

隨著科技的不斷發(fā)展，對微小位移的測量需求也越來越高。尤其是在納米科技領(lǐng)域，微小位移的測量對于研究物質(zhì)的性質(zhì)和行為至關(guān)重要。而激光位移傳感器作為一種高精度 、高靈敏度的位移測量工具 ，被應(yīng)用于微小位移的測量。在納米科技中，激光位移傳感器可以用于測量納米級別的位移...

物體的表面形貌可以基于距離的確定來進行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對象包含不同類型的材料（例如塑料和金屬）時，盡管距離值保持不變，但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射度并變得更加直觀。在檢測到信號強度...

干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率 ，然而與薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉不同，干涉法是通過設(shè)置參考光路，形成與測量光路間的干涉條紋，因此其相位信息包含兩個部分，分別是由參考平面和測量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內(nèi)...

第三視覺定位包括分別布置在多自由度鍵合頭 300和貼裝臺單元401上的激光位移傳感器360、403，它們相互配合并用于對鍵合頭所拾取芯片和基板各自相對于XY平面的傾角進行精確測量及定位；第四視覺定位系統(tǒng)包括布置在多自由度鍵合頭上并由相機351和平面鏡352共同...

干涉測量法[9-10]是基于光的干涉原理實現(xiàn)對薄膜厚度測量的光學(xué)方法 ，是一種高精度的測量技術(shù)。采用光學(xué)干涉原理的測量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，穩(wěn)定性好，抗干擾能力強，使用范圍廣等優(yōu)點。對于大多數(shù)的干涉測量任務(wù)，都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條...

表面粗糙度測量方法具體流程如下 :(1)待測工件定位。將待測工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測量機測量平臺上，調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測針測量其空間位置和姿態(tài)，為按測量工藝要求確定測量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測量機測量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭，驅(qū)動探頭運動至工件測量位置...

光譜共焦測量技術(shù)由于其具有測量精度高、測量速度快、可以實現(xiàn)非接觸測量的獨特優(yōu)勢而被大量應(yīng)用于工業(yè)級測量。讓我們先來看一下光譜共焦技術(shù)的起源和光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計量測試中的成熟典型應(yīng)用。共焦顯微術(shù)的概念首先是由美國的 Minsky 于 1955年提出, 其...

激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用范圍廣。在太陽能光伏領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對太陽能電池板進行高精度的位移測量，以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對風(fēng)力發(fā)電機葉片的位移進行測量，以確定葉片的形變和振動情況，從而提高...

高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度 。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級的位移測量，對于晶圓表面微小變化的檢測具有極大的優(yōu)勢。在半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓的表面質(zhì)量對于芯片的制造具有至關(guān)重要的影響，因此需要一種能夠jing'q精確測量晶圓表面位移的傳感器來保證芯片的質(zhì)量。其次...

表面粗糙度測量方法具體流程如下 :(1)待測工件定位。將待測工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測量機測量平臺上，調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測針測量其空間位置和姿態(tài)，為按測量工藝要求確定測量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測量機測量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭，驅(qū)動探頭運動至工件測量位置...