精密、超精密加工技術是提高機電產品性能、質量、工作壽命和可靠性,以及節(jié)材節(jié)能的重要途徑。如:提高汽缸和活塞的加工精度,就可提高汽車發(fā)動機的效率和馬力,減少油耗;提高滾動軸承的滾動體和滾道的加工精度,就可提高軸承的轉速,減少振動和噪聲;提高磁盤加工的平面度,從而減少它與磁頭間的間隙,就可提高磁盤的存儲量;提高半導體器件的刻線精度(減少線寬,增加密度)就可提高微電子芯片的集成度。工業(yè)發(fā)達國家的一般工廠已能穩(wěn)定掌握3 μm的加工精度(我國為5 μm)。同此,通常稱低于此值的加工為普通精度加工,而高于此值的加工則稱之為高精度加工。不改變基材成分的激光超精密加工應用有激光淬火(相變硬化)、激光清洗、激光...
超精密加工技術在制造業(yè)中的應用,主要包括以下幾個方面:1.光學元件加工:如鏡頭、反射鏡等,要求表面粗糙度極低,形狀精度高。2.電子器件加工:如硬盤驅動器的磁頭、微型傳感器等,對尺寸和形狀精度有極高要求。3.生物醫(yī)療領域:如微型醫(yī)療器械、人工關節(jié)等,需要高精度加工以滿足嚴格的生物兼容性要求。4.航空航天領域:如衛(wèi)星部件、發(fā)動機葉片等,需要承受極端環(huán)境,對材料加工精度有嚴格要求。5.新材料研發(fā):如超導材料、納米材料等,加工過程中需保持材料的特殊性能。超精密加工技術對設備、材料和工藝都有極高的要求,是推動行業(yè)發(fā)展的關鍵技術之一。超精密激光加工是可以高速制造精密零件的加工技術,它可以減少工業(yè)廢物,同時...
激光鉆孔是一種非接觸式孔加工工藝,使用高度集中的光束在從金屬到非金屬和聚合物等各種材料上鉆孔。利用高功率激光脈沖或擺動鉆孔技術,激光鉆孔可以穿透較薄或較厚的材料。激光鉆孔系統(tǒng)既能進行點射鉆孔,也能進行即時鉆孔,以減少對系統(tǒng)運動的干擾。激光鉆孔具有高度精確性和可重復性,幾乎能鉆出任何形狀和尺寸的孔,直徑小至幾微米,分辨率較高。作為一種非接觸式工藝,激光鉆孔是制造深度直徑比超過10:1的低錐度、高剖面比孔的方法之一。根據(jù)材料特性,激光鉆孔每秒可鉆數(shù)百甚至數(shù)千個孔。激光超精密加工的對象范圍很寬,包括幾乎所有的金屬材料和非金屬材料,適于材料的打孔、焊接、表面改性等。飛秒激光超精密吸附板超精密精密機械精...
飛秒激光技術在超精密加工領域的應用,如微機械加工、微電子制造等,其重點在于利用飛秒激光的高能量密度和精確控制能力,實現(xiàn)對材料的精細加工。超精密加工技術是指加工精度達到亞微米甚至納米級別的制造技術,主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學加工等方法。這些技術廣泛應用于光學元件、航空航天、精密模具、半導體和醫(yī)療器械等領域,能夠滿足高精度、高表面質量的產品需求。超精密鉆孔技術是一種高精度加工方法,能夠實現(xiàn)微米級甚至亞微米級的加工精度。該技術廣泛應用于電子、光學、精密儀器等領域,主要用于加工微型孔、異形孔等復雜結構。其加工設備通常包括數(shù)控機床、激光鉆孔系統(tǒng)等,并采用特種刀具和特殊控制系統(tǒng)以確保加工質量。...
微泰使用激光加工超精密幾何產品??梢詫Ω鞣N材料(包括PCD、PCBN、陶瓷膜、硬質合金、不銹鋼、熱處理鋼和鉬)進行精細加工。在工業(yè)加工中,沒有激光,很難實現(xiàn)。然而,典型的激光加工機的加工質量主要取決于激光成形加工,而激光成形加工的精度只有±0.1mm。這是因為激光是以切割為主的行業(yè)。相比之下,微泰加工技術非常成熟,生產和供應精度高、質量高的激光加工產品。應用于PCD嵌件、斷屑漕、激光固定板、Ink-cup板、MLCC測包機分度盤。激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特別適合于超精密加工。激光精密加工質量的影響因素少,加工精度高。半導體超精密小孔超精密超精密加工技術在制造業(yè)中的應用,主要包括以下幾個...
我們說的微孔,大部分是用肉眼是看不到的,用放大鏡放大,用手機鏡頭放大都看不到,這是在2毫米見方上開的25個微孔,肉眼是看不到的,在顯微鏡下才能看到。這是在直徑1厘米的鋼板上開的一百多個微孔,肉眼隱約可見,對著亮光就可以清晰可見。韓國21世紀株式會社,利用自主自主技術,飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產各種超精密零部件。有三星電子,三星電機等諸多企業(yè)的業(yè)績,四百四十毫米平面方板,平坦度可以做到5微米以下,表面粗糙度RA達0.01微米以下,可以鉆5微米的孔,圓度可以達到95%以上,可以加工不同形狀和尺寸的微孔,MAX可處理八十萬個微孔,刀具方面,刀鋒...
精密加工聽起來很遙遠,其實與我們生活中非常貼近!像是前文有提到的航太、能源、醫(yī)療、半導體等產業(yè)都是因為有高精度的加工才能穩(wěn)定成長。接下來也將跟你分享我們過去如何透過精密加工技術來成就這4個領域。 防衛(wèi)產業(yè)偵查、爆破還是防御系統(tǒng),都是不可或缺的領域,而這些都必須要有高質量的精密加工,才能穩(wěn)定成就安全保衛(wèi)的環(huán)節(jié)。像是偵查系統(tǒng),就有光學感測、紅外線感測、雷達、無線電傳感器、聲學等技術支援,且需要在極端氣候如:沙漠、深海、極地地區(qū)保持良好的準確性,才能在緊要關頭時偵測到敵方的一舉一動。 能源產業(yè)不管是過往的天然氣、火力發(fā)電,到近年來盛行的綠色能源都與精密加工密不可分!比如說太陽能、風電設備等,就非常需...
超精密加工技術在多個領域具有廣泛的應用場景,以下是其主要的應用領域:1.光學和光電子學領域·精密光學元件制造:用于制造照相機鏡頭、透鏡、天文望遠鏡等精密光學元件。超精密加工技術能夠明顯提升光學元件的表面質量和精度,從而提高成像質量和光學性能?!す怆娖骷圃欤涸诠怆娮訉W領域,超精密加工技術還用于制造控制光電器件,如激光微加工和激光雕刻等,滿足高精度、高復雜度的加工需求。2.航空航天工業(yè)·發(fā)動機零部件制造:超精密加工技術能夠制造出發(fā)動機的精密零部件,如渦輪葉片、軸承等,這些零部件需要極高的精度和表面質量以保證發(fā)動機的性能和壽命。·航空結構件:在航空器的制造過程中,超精密加工技術也用于制造各種結構件...
飛秒激光技術在超精密加工領域的應用,如微機械加工、微電子制造等,其重點在于利用飛秒激光的高能量密度和精確控制能力,實現(xiàn)對材料的精細加工。超精密加工技術是指加工精度達到亞微米甚至納米級別的制造技術,主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學加工等方法。這些技術廣泛應用于光學元件、航空航天、精密模具、半導體和醫(yī)療器械等領域,能夠滿足高精度、高表面質量的產品需求。超精密鉆孔技術是一種高精度加工方法,能夠實現(xiàn)微米級甚至亞微米級的加工精度。該技術廣泛應用于電子、光學、精密儀器等領域,主要用于加工微型孔、異形孔等復雜結構。其加工設備通常包括數(shù)控機床、激光鉆孔系統(tǒng)等,并采用特種刀具和特殊控制系統(tǒng)以確保加工質量。...
微泰利用先進的飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產各種超精密零部件。用于半導體加工真空板薄膜真空板倒裝芯片工藝真空塊MLCC貼合用真空板薄膜芯片粘接工具,鏡頭模組組裝治具。超精密刀片特性,材料:碳化鎢、氧化鋯等。刀刃對稱性:低于3um,刀片厚度(t1):100um刀片邊緣粗糙度:Ra0.02um,刀刃厚度(t2):低于0.2um角度(0)精度:±0.3°刀刃直線度:低于5um。MLCC刀具方面,生產MLCC垂直刀片,MLCC輪刀,MLCC修剪刀片,其特點是1,刀刃鋒利。2,與現(xiàn)有產品相比,耐用性提高了50%。材料采用超細碳化鎢,具有1,高耐磨性。2...
微泰,利用自主自主技術,飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機,日本村田等很多企業(yè)的業(yè)績,是韓國三星主要供應商。主要生產:1,MLCC吸膜板,2,各種MLCC刀具,刀片。3,MLCC掩模板陣列遮罩板。4,測包機分度盤。5,各種MLCC設備精密零件。MLCC吸膜板,用于在MLCC疊層機和印刷機上,通過抽真空移動0.8微米的生陶瓷片。MLCC吸膜板與MLCC切割刀片在韓國,技術和質量方面有壓倒性優(yōu)勢,有問題請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰究偞鞰LCC刀具方面,生產MLCC垂直刀片,切割刀片,輪刀,修剪刀片,其特點...
超精密加工技術具有多個特點,這些特點使得它在高精度、高質量要求的制造領域中占據(jù)重要地位。以下是超精密加工的主要特點:1.高精度:超精密加工技術能夠實現(xiàn)極高的加工精度,通??梢赃_到微米級甚至納米級。這種高精度加工能力滿足了航空、航天、精密儀器等領域對高精度零件的需求。通過采用先進的加工設備和工藝方法,超精密加工能夠精確控制零件的尺寸精度和形位精度。2.高表面質量:超精密加工技術不僅關注零件的尺寸精度,還重視零件的表面質量。通過優(yōu)化加工參數(shù)和工藝方法,超精密加工能夠獲得具有極低表面粗糙度和高度一致性的零件表面。這種高表面質量的零件在光學、電子、醫(yī)療器械等領域具有應用。3.“進化”加工:在超精密加工...
微泰利用飛秒激光螺旋鉆孔技術生產各種精密零部件,使用激光進行微孔加工(可加工至Φ0.01mm)·可以改變微孔形狀(圓形、橢圓形、方形)·激光加工不同于一般鉆孔,因此孔位置始終保持不變,因為孔是在熱處理后加工的。納秒紅外激光器環(huán)鉆系統(tǒng)–功率:50W,脈沖能量:100uJ,頻率:100Hz飛秒綠光激光器先進的螺旋鉆孔系統(tǒng)–功率:5W,脈沖能量:13uJ,頻率:100Hz·孔徑至少為20μm·能夠加工MAX0.3?孔距·MLCC貼合真空板·能夠處理多達800,000個孔·各種形狀的洞·同一截面的不規(guī)則孔·可混合加工不規(guī)則尺寸。利用先進的飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒...
精密加工被定義為對細節(jié)的要求格外費心的工業(yè)技術,且需要掌握各種各樣的知識,像是測量、制造和控制等,才能準確操作。以下將用一張表格,讓你更快了解精密加工與粗加工的差別:粗加工粗加工也能稱為一般加工,與精密加工相比精度要求較不高,是普遍的加工方式,手法又可分為粗車、粗刨、粗銑、鉆、毛銼等,會留下明顯的加工痕跡,若要求美觀產品會需要額外打磨處理。粗加工的應用范圍廣,不僅在工業(yè)領域中基本的組裝零件會選擇,在民生消費如五金行等地方販售的螺絲、螺帽等也是粗加工的應用范圍。<延伸閱讀:車床加工怎么選?3大方向找到合適的合作伙伴!>精密加工精密加工是指在維持精細公差,并于工件上去除材料、精加工等過程。常見的有...
微泰提供半導體精密元件精密制造和供應機械設備(包括半導體生產設備、生物電池、新能源電池、航空航天和羅機器人)所需的所有精密部件和模型。根據(jù)客戶的需求,提出改進功能的想法和設計,以及生產、質量控制和檢測系統(tǒng)的高效集成基礎設施、材料和部件。通過與國內外設備制造商的合作,我們能夠以高速度、高質量和有競爭力的優(yōu)化成本提供客戶滿意的產品。尺寸:MCT5~6.5英寸。CNC6~10英寸,旋銑材料:AL5052,AL6061,AL7075,SUS304,SUS316,SUS630,Copper,Tungsten,Titanium,Monel,POM,PEEK。半導體精密元件特性:保持嚴格的公差,因此零件的制...
現(xiàn)有物理切削技術,接觸式加工,磨損基石,需要切削油,加工后需要清洗納秒激光加工有以下問題:細微裂紋,熔化-再凝固產生熱變形,表面物性發(fā)生變化,周圍會產生多個顆粒飛秒激光打磨:改善現(xiàn)有打磨技術的問題-熱影響極小,可以局部加工-不需要切削油和化學藥劑-細微裂紋極少化表面物理特性變化少,在不改變物性值的情況下,提高表面粗糙度。高功率激光打磨:測量高度→獲取高度數(shù)據(jù)→轉換成面數(shù)據(jù)→去除表面凸起中等功率,利用中等功率激光可以刻畫低功率時具有,清洗效果;拋光效果(也有去除微孔邊緣毛刺的效果)拋光后,[AOI(自動光學檢查)]對孔不良進行檢測(手動或自動)(光學相機掃描儀)材料的邊緣測量和修正材料位置誤差。...
精密磨削技術-電解在線砂輪修整技術(ELID)對于精密零件的加工生產,精密磨削技術是必不可少的。在半導體/LCD、MLCC和新能源電池等領域中,精密元件的使用率很高。常見的磨削技術的問題是,必須根據(jù)磨削后的弓形磨損量繼續(xù)修整,這給保持同等質量帶來了困難,因為表面狀況會發(fā)生細微變化。簡而言之,ELID磨削技術是一種在不斷修整的同時進行拋光的技術。微泰采用了高精度的磨削技術,這些技術都以ELID技術和專有技術為基礎,在這種技術中,我們生產的產品具有高精度、平坦度和高質量,這是很難生產的。真空板ELID磨削技術ELID磨削技術(真空板)。利用電解在線砂輪修整技術(ELID),提高真空吸附板、刀片的表...
在過去相當長一段時期,由于受到西方國家的禁運限制,我國進口國外超精密機床嚴重受限。但當1998年我國自己的數(shù)控超精密機床研制成功后,西方國家馬上對我國開禁,我國現(xiàn)在已經進口了多臺超精密機床。我國北京機床研究所、航空精密機械研究所(航空303)、哈爾濱工業(yè)大學、科技大學等單位現(xiàn)在已能生產若干種超精密數(shù)控金剛石機床。北京機床研究所是國內進行超精密加工技術研究的主要單位之一,研制出了多種不同類型的超精密機床、部件和相關的高精度測試儀器等,如精度達0.025μm的精密軸承、JCS—027超精密車床、JCS—031超精密銑床、JCS—035超精密車床、超精密車床數(shù)控系統(tǒng)、復印機感光鼓加工機床、紅外大功率...
激光鉆孔是一種非接觸式孔加工工藝,使用高度集中的光束在從金屬到非金屬和聚合物等各種材料上鉆孔。利用高功率激光脈沖或擺動鉆孔技術,激光鉆孔可以穿透較薄或較厚的材料。激光鉆孔系統(tǒng)既能進行點射鉆孔,也能進行即時鉆孔,以減少對系統(tǒng)運動的干擾。激光鉆孔具有高度精確性和可重復性,幾乎能鉆出任何形狀和尺寸的孔,直徑小至幾微米,分辨率較高。作為一種非接觸式工藝,激光鉆孔是制造深度直徑比超過10:1的低錐度、高剖面比孔的方法之一。根據(jù)材料特性,激光鉆孔每秒可鉆數(shù)百甚至數(shù)千個孔。超精密激光切割技術已經被應用于精密電子、裝飾、模具、手機數(shù)碼、鈑金和五金等行業(yè)。韓國加工超精密小孔超精密現(xiàn)有物理切削技術,接觸式加工,磨...
飛秒激光利用相對較短的激光脈沖,熱損傷很小,加工對象沒有物性變形層,表面平整,可以實現(xiàn)超精密微孔加工。微泰利用先進的飛秒激光高速螺旋鉆削技術,用掃描儀,可以在任何位置自由調整聚焦點,還可以調節(jié)激光束的入射角,從而實現(xiàn)錐度、直錐度可以進行倒錐度等,所需的微孔的幾何加工。本系統(tǒng)通過調整入射角和焦距,可以進行產業(yè)所需的各種形狀的加工,可以進行5um到200um的精密孔加工。此外,還可以進行MAX10度角的倒錐孔和三維加工。激光加工完成后,用微孔檢測系統(tǒng),將載入相應的坐標信息。通過視覺掃描,確認每個微孔的大小和位置信息,并將其識別合格還是不合格。收集完成后,按下返工按鈕即可進行再加工。本技術適用于,需...
超精密加工技術的特點及其應用超精密加工目前尚沒有統(tǒng)一的定義,在不同的歷史時期,不同的科學技術發(fā)展水平情況下,有不同的理解。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達到零點幾微米,表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術稱為超精密加工技術。超精密加工的重要手段包括①超精密切削,如超精密金剛石刀具鏡面車削、銷削和銑削等;②超精密磨削、研磨和拋光;③超精密微細加工(電子束、離子束、激光束加工以及微硅器件的加工、LIGA技術等)。激光超精密加工質量的影響因素少,加工精度高,在一般情況下均優(yōu)于其它傳統(tǒng)的加工方法。半導體超精密微孔超精密微泰利用飛秒激光螺旋鉆孔技術生產各種精密零部件,使用激光進行微孔加工(可加...
超精密加工的機理研究:包括微細加工機理研究;微觀表面完整性研究;在超精密范疇內的對各種材料(包括被加工材料和刀具磨具材料)的加工過程、現(xiàn)象、性能以及工藝參數(shù)進行提示性研究1。超精密加工的設備制造技術研究:如納米級超精密車床工程化研究;超精密磨床研究;關鍵基礎件,像軸系、導軌副、數(shù)控伺服系統(tǒng)、微位移裝置等研究;超精密機床總成制造技術研究1。超精密加工工具及刃磨技術研究:例如金剛石刀具及刃磨技術、金剛石微粉砂輪及其修整技術研究1。超精密測量技術和誤差補償技術研究:包含納米級基準與傳遞系統(tǒng)建立;納米級測量儀器研究;空間誤差補償技術研究;測量集成技術研究1當精密加工已無法達到更好的形狀精度、表面粗糙度...
激光鉆孔是一種非接觸式孔加工工藝,使用高度集中的光束在從金屬到非金屬和聚合物等各種材料上鉆孔。利用高功率激光脈沖或擺動鉆孔技術,激光鉆孔可以穿透較薄或較厚的材料。激光鉆孔系統(tǒng)既能進行點射鉆孔,也能進行即時鉆孔,以減少對系統(tǒng)運動的干擾。激光鉆孔具有高度精確性和可重復性,幾乎能鉆出任何形狀和尺寸的孔,直徑小至幾微米,分辨率較高。作為一種非接觸式工藝,激光鉆孔是制造深度直徑比超過10:1的低錐度、高剖面比孔的方法之一。根據(jù)材料特性,激光鉆孔每秒可鉆數(shù)百甚至數(shù)千個孔。不改變基材成分的激光超精密加工應用有激光淬火(相變硬化)、激光清洗、激光沖擊硬化和激光極化等。超精密超精密超精密加工技術市場是國家高技術...
我們說的微孔,大部分是用肉眼是看不到的,用放大鏡放大,用手機鏡頭放大都看不到,這是在2毫米見方上開的25個微孔,肉眼是看不到的,在顯微鏡下才能看到。這是在直徑1厘米的鋼板上開的一百多個微孔,肉眼隱約可見,對著亮光就可以清晰可見。韓國21世紀株式會社,利用自主自主技術,飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產各種超精密零部件。有三星電子,三星電機等諸多企業(yè)的業(yè)績,四百四十毫米平面方板,平坦度可以做到5微米以下,表面粗糙度RA達0.01微米以下,可以鉆5微米的孔,圓度可以達到95%以上,可以加工不同形狀和尺寸的微孔,MAX可處理八十萬個微孔,刀具方面,刀鋒...
刀片/刀具/(BLADE/CUTTER/KNIFE)微泰生產和供應用于MLCC的各種工業(yè)刀具,包括垂直刀片、刀輪刀具、修剪刀片和鏡頭刀具。我們擁有制造刀片的自主技術,并擁有使用飛秒激光的切割機邊緣校正技術,飛秒激光拋光技術,實現(xiàn)了無比鋒利和提高使用壽命。刀鋒(刀刃)的無凹痕、無缺陷的邊緣。通過自動化檢測設備進行管理,并以很高水平的光照度和直度進行管理。應用MLCC切割,相機模塊+垂直刀片,刀輪切割器,鏡頭澆注口修整刀片、透鏡切割器。特別是塑料鏡頭澆注口切割刀片占韓國市場90%以上。激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特別適合于超精密加工。激光精密加工質量的影響因素少,加工精度高。半導體超精密醫(yī)療器...
微泰,利用自主自主技術,飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機,日本村田等很多企業(yè)的業(yè)績,是韓國三星主要供應商。主要生產:1,MLCC吸膜板,2,各種MLCC刀具,刀片。3,MLCC掩模板陣列遮罩板。4,測包機分度盤。5,各種MLCC設備精密零件。MLCC吸膜板,用于在MLCC疊層機和印刷機上,通過抽真空移動0.8微米的生陶瓷片。MLCC吸膜板與MLCC切割刀片在韓國,技術和質量方面有壓倒性優(yōu)勢,有問題請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)保科技有限公司總代理MLCC刀具方面,生產MLCC垂直刀片,切割刀片,輪刀,修剪刀片,其特點...
微泰以30年的技術和經驗為基礎,生產各種Cutter刀片和Blade刀具。對于MLCC及Film、二次電池等各種生產現(xiàn)場的切割處理,所需的刀片類不是單純的切割,而是需要精密的進給度及切割邊緣的角度管理、先進的材料管理等,以避免對被切割物造成損傷。通常,Cutter類被稱為blade、cutter、knife、verticalblade、wheelcutter等多種名稱,關鍵技術刀刃部的管理技術是Cutter類的重點技術點。為此,微泰提供了可靠、可靠的高精度、好品質、長壽命的各種刀片。超薄,超鋒利的鏡頭切割器,光滑無毛邊地切割塑料鏡片的澆口,占韓國塑料鏡頭切割刀片90%以上的市場。超激光精密打孔...
20世紀60年代為了適應核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術的需要而發(fā)展起來的精度極高的一種加工技術。到80年代初,其加工尺寸精度已可達10納米(1納米=0.001微米)級,表面粗糙度達1納米,加工的小尺寸達 1微米,正在向納米級加工尺寸精度的目標前進。納米級的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超精密加工是處于發(fā)展中的跨學科綜合技術。20 世紀 50 年代至 80 年代為技術開創(chuàng)期。20 世紀 50 年代末,出于航天等技術發(fā)展的需要,美國率先發(fā)展了超精密加工技術,開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning...
通常,按加工精度劃分,機械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個階段。目前,精密加工是指加工精度為10~0.1μm,表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm,公差等級在IT5以上的加工技術。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一個相對概念,其間的界限將隨著加工技術的進步不斷變化,現(xiàn)在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字樣被緩慢地往下壓進底部,變成平滑表面看似現(xiàn)代科技的超精密加工,其實在上個世紀早已出現(xiàn)超精密加工的發(fā)展經歷了如下三個階段:(1)20世紀50年代至80年代為技術開創(chuàng)期出于航天、大規(guī)模集成電路、激光等技術發(fā)展的需要,美國率先發(fā)展了超精密加工技術,開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單...
超精密加工主要包括三個領域:超精密切削加工如金剛石刀具的超精密切削,可加工各種鏡面。它已成功地解決了用于激光核聚變系統(tǒng)和天體望遠鏡的大型拋物面鏡的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盤的涂層表面加工和大規(guī)模集成電路基片的加工。超精密特種加工如大規(guī)模集成電路芯片上的圖形是用電子束、離子束刻蝕的方法加工,線寬可達0.1μm。如用掃描隧道電子顯微鏡(STM)加工,線寬可達2~5nm。超精密加工是指亞微米級(尺寸誤差為0.3~0.03μm,表面粗糙度為Ra0.03~0.005μm)和納米級(精度誤差為0.03μm,表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術措施...