干燥效果是衡量立式甩干機(jī)非常為關(guān)鍵的指標(biāo)之一。通常以晶圓表面的殘留液體量和顆粒附著數(shù)量來(lái)評(píng)估。先進(jìn)的甩干機(jī)要求能夠?qū)⒕A表面的液體殘留控制在極低的水平,例如每平方厘米晶圓表面的殘留液滴體積小于數(shù)納升,甚至更低。同時(shí),在干燥后晶圓表面新增的顆粒數(shù)量必須嚴(yán)格控制在...
早期涂膠顯影機(jī)操作依賴大量人工,從晶圓上料、涂膠參數(shù)設(shè)置、顯影流程監(jiān)控到下料,每個(gè)環(huán)節(jié)都需要人工細(xì)致操作,不僅效率低下,而且人為因素極易引發(fā)工藝偏差,影響產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性。如今,自動(dòng)化技術(shù)深度融入涂膠顯影機(jī),設(shè)備從晶圓上料開(kāi)始,整個(gè)涂膠、顯影、烘烤、下料流程均可...
臥式甩干機(jī)基于離心力原理工作。當(dāng)裝有晶圓的轉(zhuǎn)鼓開(kāi)始高速旋轉(zhuǎn)時(shí),晶圓表面殘留的液體(如清洗液、刻蝕液等)在離心力作用下被甩離晶圓表面。離心力的大小由轉(zhuǎn)鼓轉(zhuǎn)速和晶圓到旋轉(zhuǎn)中心的距離決定,根據(jù)公式2(其中是離心力,是液體質(zhì)量,是角速度,是旋轉(zhuǎn)半徑),通過(guò)精確控制轉(zhuǎn)鼓...
半導(dǎo)體涂膠機(jī)的工作原理深深扎根于流體動(dòng)力學(xué)的肥沃土壤。光刻膠,作為一種擁有獨(dú)特流變特性的粘性流體,其在涂膠機(jī)內(nèi)部的流動(dòng)軌跡遵循牛頓粘性定律及非牛頓流體力學(xué)交織而成的“行動(dòng)指南”。在供膠系統(tǒng)這座“原料輸送堡壘”中,光刻膠仿若被珍藏的“液態(tài)瑰寶”,通常棲身于密封且...
環(huán)保理念日益深入人心的當(dāng)下,激光打標(biāo)機(jī)憑借xian zhu 的環(huán)保優(yōu)勢(shì),成為眾多企業(yè)的理想選擇。激光打標(biāo)機(jī)采用非接觸式加工,無(wú)需使用油墨、溶劑等化學(xué)耗材,從根源上杜絕了傳統(tǒng)打標(biāo)方式因耗材產(chǎn)生的環(huán)境污染問(wèn)題。傳統(tǒng)油墨打標(biāo)過(guò)程中,揮發(fā)的有機(jī)溶劑會(huì)污染空氣,廢棄的油...
激光打標(biāo)機(jī)是工業(yè)標(biāo)記的精 zhun 利器,利用激光束的高能量密度在材料表面進(jìn)行精確標(biāo)記。通過(guò)精確控制激光的參數(shù),如功率、脈沖頻率等,可實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材料的高精度標(biāo)記。該設(shè)備由激光源,產(chǎn)生高能量激光;光束傳輸與聚焦系統(tǒng),將激光準(zhǔn)確聚焦到材料表面;打標(biāo)控制系統(tǒng),設(shè)置打...
汽車制造是一個(gè)高度精密且注重質(zhì)量追溯的行業(yè),激光打標(biāo)機(jī)在其中扮演著關(guān)鍵角色。從汽車發(fā)動(dòng)機(jī)、變速箱等he xin 部件,到各類小型零部件,激光打標(biāo)機(jī)都能實(shí)現(xiàn)精 zhun 打標(biāo)。在發(fā)動(dòng)機(jī)缸體上,激光打標(biāo)機(jī)刻蝕的wei yi識(shí)別碼,是發(fā)動(dòng)機(jī)全生命周期的身份標(biāo)識(shí)。無(wú)論...
激光打標(biāo)機(jī)是一種利用高能量密度的激光束在各種材料表面進(jìn)行yong 久性標(biāo)記的設(shè)備。其原理基于激光的熱效應(yīng)或光化學(xué)效應(yīng),當(dāng)激光束聚焦到材料表面,瞬間產(chǎn)生高溫,使材料表面發(fā)生物理或化學(xué)變化,形成清晰、持久的標(biāo)記。激光打標(biāo)機(jī)結(jié)構(gòu)主要包括激光發(fā)生器、光學(xué)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)...
噴涂涂布宛如半導(dǎo)體涂膠機(jī)家族中的“靈動(dòng)精靈”,在一些特定半導(dǎo)體應(yīng)用場(chǎng)景中展現(xiàn)獨(dú)特魅力,發(fā)揮著別具一格的作用。它借助霧化裝置這一“魔法噴霧器”,將光刻膠幻化成微小如“精靈粉末”的霧滴,再通過(guò)設(shè)計(jì)精妙的噴頭以噴霧形式噴射到晶圓表面,仿若一場(chǎng)夢(mèng)幻的“仙霧灑落”。噴涂...
穩(wěn)定性是衡量激光打標(biāo)機(jī)性能優(yōu)劣的關(guān)鍵指標(biāo)之一,直接關(guān)系到生產(chǎn)的連續(xù)性和產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。在硬件設(shè)計(jì)上,you zhi的激光打標(biāo)機(jī)采用了高可靠性的he xin 部件。激光發(fā)生器作為設(shè)備的he xin ,選用了經(jīng)過(guò)嚴(yán)格篩選和測(cè)試的品牌產(chǎn)品,其內(nèi)部的光學(xué)諧振腔結(jié)構(gòu)穩(wěn)...
二手涂膠顯影機(jī)市場(chǎng)在行業(yè)中占據(jù)一定份額。對(duì)于一些預(yù)算有限的中小企業(yè)或處于發(fā)展初期的半導(dǎo)體制造企業(yè)而言,二手設(shè)備是頗具性價(jià)比的選擇。二手設(shè)備市場(chǎng)價(jià)格相對(duì)較低,通常只有新設(shè)備價(jià)格的 30% - 70%,能夠有效降低企業(yè)設(shè)備采購(gòu)成本。不過(guò),二手設(shè)備在性能、穩(wěn)定性與剩...
激光打標(biāo)機(jī)作為標(biāo)記領(lǐng)域的技術(shù)先鋒,利用激光的特性實(shí)現(xiàn)材料表面的yong 久性標(biāo)記。通過(guò)調(diào)節(jié)激光的功率、脈沖頻率等參數(shù),可適應(yīng)不同材料和標(biāo)記需求。它主要由激光產(chǎn)生單元,產(chǎn)生高能量密度的激光;光束整形與聚焦單元,使激光束達(dá)到比較好打標(biāo)效果;打標(biāo)控制單元,負(fù)責(zé)打標(biāo)過(guò)...
在智能化時(shí)代,臥式晶圓甩干機(jī)緊跟時(shí)代步伐,采用智能操控系統(tǒng),為企業(yè)提升生產(chǎn)效率。操作人員只需通過(guò)觸摸屏輸入甩干參數(shù),設(shè)備即可自動(dòng)完成甩干操作,操作簡(jiǎn)單便捷。智能記憶功能可保存多種甩干方案,方便下次調(diào)用,減少了參數(shù)設(shè)置的時(shí)間和誤差。遠(yuǎn)程監(jiān)控功能是智能操控系統(tǒng)的一...
在功率半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,涂膠顯影機(jī)是實(shí)現(xiàn)高性能器件生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備,對(duì)提升功率半導(dǎo)體的性能和可靠性意義重大。以絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)制造為例,IGBT廣泛應(yīng)用于新能源汽車、智能電網(wǎng)等領(lǐng)域,其制造工藝復(fù)雜且要求嚴(yán)格。在芯片的光刻工序前,涂膠顯影機(jī)需將光刻膠均...
激光打標(biāo)機(jī)是標(biāo)記技術(shù)革新的重要力量,利用激光束的高能量密度在材料表面進(jìn)行標(biāo)記。當(dāng)激光束照射到材料表面,瞬間的高溫使材料表面發(fā)生物理或化學(xué)變化,形成所需標(biāo)記。它的結(jié)構(gòu)包含激光發(fā)生器,產(chǎn)生不同功率的激光;光學(xué)系統(tǒng),包括聚焦透鏡、反射鏡等,調(diào)整激光束的傳播路徑和聚焦...
在競(jìng)爭(zhēng)激烈的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng),產(chǎn)品質(zhì)量是基礎(chǔ),客戶服務(wù)則是我們贏得市場(chǎng)的關(guān)鍵。從您選擇我們的晶圓甩干機(jī)那一刻起,quan 方位 、一站式的服務(wù)體系即刻為您啟動(dòng)。售前,專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)會(huì)深入了解您的生產(chǎn)需求,為您提供個(gè)性化的設(shè)備選型建議,確保您選擇到適合自身生產(chǎn)規(guī)模...
長(zhǎng)期以來(lái),涂膠顯影機(jī)市場(chǎng)被國(guó)外企業(yè),尤其是日本東京電子高度壟斷,國(guó)內(nèi)企業(yè)發(fā)展面臨諸多困境,he xin 技術(shù)受制于人,市場(chǎng)份額極小。近年來(lái),隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求日益迫切,以及國(guó)家政策大力扶持,國(guó)內(nèi)企業(yè)紛紛加大研發(fā)投入,全力攻克技術(shù)難題。以芯源微為dai ...
追求高效與品質(zhì),是半導(dǎo)體制造行業(yè)的永恒主題,凡華半導(dǎo)體生產(chǎn)的 晶圓甩干機(jī)正是這一理念的完美踐行者。其具備 zhuo yue 的甩干效率,先進(jìn)的離心系統(tǒng)能在短時(shí)間內(nèi)將晶圓表面的水分及雜質(zhì)徹底qing chu ,da da 縮短生產(chǎn)周期。同時(shí),設(shè)備采用高精度的制造...
涂膠顯影機(jī)工作原理涂膠:將光刻膠從儲(chǔ)液罐中抽出,通過(guò)噴嘴以一定壓力和速度噴出,與硅片表面接觸,形成一層均勻的光刻膠膜。光刻膠的粘度、厚度和均勻性等因素對(duì)涂膠質(zhì)量至關(guān)重要。曝光:把硅片放置在掩模版下方,使光刻膠與掩模版上的圖案對(duì)準(zhǔn),然后通過(guò)紫外線光源對(duì)硅片上的光...
噴涂涂布宛如半導(dǎo)體涂膠機(jī)家族中的“靈動(dòng)精靈”,在一些特定半導(dǎo)體應(yīng)用場(chǎng)景中展現(xiàn)獨(dú)特魅力,發(fā)揮著別具一格的作用。它借助霧化裝置這一“魔法噴霧器”,將光刻膠幻化成微小如“精靈粉末”的霧滴,再通過(guò)設(shè)計(jì)精妙的噴頭以噴霧形式噴射到晶圓表面,仿若一場(chǎng)夢(mèng)幻的“仙霧灑落”。噴涂...
在半導(dǎo)體制造中,晶圓甩干機(jī)是確保質(zhì)量的關(guān)鍵干燥設(shè)備。它通過(guò)離心力原理,將晶圓表面液體快速去除。當(dāng)晶圓在甩干機(jī)內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)時(shí),液體在離心力作用下從晶圓表面甩出。甩干機(jī)的旋轉(zhuǎn)部件設(shè)計(jì)精良,采用特殊材料提高其耐磨性和穩(wěn)定性。驅(qū)動(dòng)電機(jī)具備強(qiáng)大的動(dòng)力輸出和精確的調(diào)速功能,...
在芯片制造過(guò)程中,晶圓需要經(jīng)過(guò)多次清洗工序,如在光刻前去除晶圓表面的顆粒雜質(zhì)、有機(jī)污染物和金屬離子等,以及在刻蝕后去除刻蝕液殘留等。每次清洗完成后,晶圓表面會(huì)附著大量的清洗液,如果不能及時(shí)、徹底地干燥,這些殘留的清洗液會(huì)在后續(xù)工藝中引發(fā)諸多嚴(yán)重問(wèn)題。例如,在光...
甩干機(jī)的工作原理主要基于物理學(xué)中的離心力原理。當(dāng)晶圓被置于甩干機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸上,并以高速旋轉(zhuǎn)時(shí),晶圓及其表面附著的水分、化學(xué)溶液等會(huì)受到向外的離心力作用。這個(gè)離心力的大小與旋轉(zhuǎn)速度的平方成正比,與旋轉(zhuǎn)半徑成正比。因此,隨著旋轉(zhuǎn)速度的增加,離心力也會(huì)急劇增大。具體來(lái)...
在倡導(dǎo)綠色發(fā)展的時(shí)代背景下,激光打標(biāo)機(jī)的環(huán)保優(yōu)勢(shì)使其在眾多打標(biāo)設(shè)備中脫穎而出。傳統(tǒng)打標(biāo)方式,如油墨印刷打標(biāo),會(huì)產(chǎn)生大量的油墨廢棄物和揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs),這些不僅對(duì)環(huán)境造成污染,還可能危害操作人員的健康。而機(jī)械打標(biāo)則會(huì)產(chǎn)生噪聲污染和機(jī)械磨損碎屑。激光打...
當(dāng)激光打標(biāo)機(jī)打標(biāo)出現(xiàn)重影時(shí),會(huì)讓標(biāo)記變得模糊不清,嚴(yán)重影響產(chǎn)品的標(biāo)識(shí)質(zhì)量。首先要檢查的是掃描振鏡的工作狀態(tài)。掃描振鏡在長(zhǎng)期使用后,可能會(huì)出現(xiàn)電機(jī)扭矩不足、鏡片松動(dòng)等問(wèn)題。電機(jī)扭矩不足會(huì)導(dǎo)致振鏡在快速掃描時(shí)響應(yīng)速度跟不上,使得激光束在不該出現(xiàn)的位置留下痕跡,從而...
半導(dǎo)體制造工藝復(fù)雜多樣,對(duì)晶圓甩干機(jī)的功能要求也日益多樣化。臥式晶圓甩干機(jī)憑借其多功能集成的特點(diǎn),滿足了不同企業(yè)和工藝的需求。除了高效的甩干功能外,還可根據(jù)客戶需求,集成清洗、烘干、檢測(cè)等多種功能,實(shí)現(xiàn)一站式加工。多種甩干模式可供選擇,適用于不同尺寸、材質(zhì)的晶...
涂膠工序圓滿收官后,晶圓順勢(shì)邁入曝光的 “光影舞臺(tái)”,在紫外光或特定波長(zhǎng)光線的聚焦照射下,光刻膠內(nèi)部分子瞬間被 ji huo ,發(fā)生奇妙的光化學(xué)反應(yīng),將掩膜版上精細(xì)復(fù)雜的電路圖案完美 “克隆” 至光刻膠層。緊接著,顯影工序粉墨登場(chǎng),恰似一位技藝高超的 “雕刻師...
激光打標(biāo)機(jī)的穩(wěn)定性是保障生產(chǎn)持續(xù)、高效進(jìn)行的關(guān)鍵因素,其在多方面展現(xiàn)出zhuo yue 的穩(wěn)定性能。在硬件設(shè)計(jì)上,采用you zhi 的he xin 部件。激光發(fā)生器作為he xin ,選用gao 品質(zhì)的增益介質(zhì)和精密的泵浦源,確保激光輸出功率穩(wěn)定,波動(dòng)極小,...
半導(dǎo)體芯片制造宛如一場(chǎng)精細(xì)入微、環(huán)環(huán)相扣的高科技“交響樂(lè)”,眾多復(fù)雜工藝協(xié)同奏響創(chuàng)新的旋律。光刻、刻蝕、摻雜、薄膜沉積等關(guān)鍵環(huán)節(jié)各司其職,而涂膠環(huán)節(jié)恰似其中一段承上啟下的關(guān)鍵樂(lè)章,奏響在光刻工藝的開(kāi)篇序曲。在芯片制造的前期籌備階段,晶圓歷經(jīng)清洗、氧化、化學(xué)機(jī)械...
新興應(yīng)用領(lǐng)域的崛起為涂膠顯影機(jī)市場(chǎng)帶來(lái)廣闊增長(zhǎng)空間。在人工智能領(lǐng)域,用于訓(xùn)練和推理的高性能計(jì)算芯片需求大增,這類芯片制造對(duì)涂膠顯影精度要求極高,以實(shí)現(xiàn)高密度、高性能的芯片設(shè)計(jì)。物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展使得各類傳感器芯片需求爆發(fā),涂膠顯影機(jī)在 MEMS 傳感器芯片制造中發(fā)揮...