分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準線紋尺,后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。三、應用激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。工業(yè)園區(qū)新款雙頻激光干涉儀哪家強機床與加工設備:應用于...
經(jīng)M2反射的光三次穿過G2分光板,而經(jīng)M1反射的光通過G2分光板只一次。G1補償板的設置是為了消除這種不對稱。在使用單色光源時,可以利用空氣光程來補償,不一定要補償板;但在復色光源時,由于玻璃和空氣的色散不同,補償板則是不可或缺的。如果要觀察白光的干涉條紋,臂基本上完全對稱,也就是兩相干光的光程差要非常小,這時候可以看到彩色條紋;假若M1或M2有略微的傾斜,就可以得到等厚的交線處(d=0)的干涉條紋為中心對稱的彩色直條紋,**條紋由于半波損失為暗條紋。邁克爾遜和愛德華·威廉姆斯·莫雷使用這種干涉儀于1887年進行了***的邁克耳遜-莫雷實驗,并證實了以太的不存在。它通常用于高精度的位移、振動、...
機床與加工設備:應用于數(shù)控機床、磨床、鏜床、加工中心等設備的定位系統(tǒng)校準及誤差修正,以提升加工精度。集成電路制造:支持半導體光刻技術的工件臺的精密定位。物理實驗:測量位移、速度、加速度等動力學參數(shù)。在線監(jiān)測控制:在大規(guī)模集成電路加工設備、精密機床中實現(xiàn)誤差的在線測量,以提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。檢測儀器校準:用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強環(huán)境適應力、高實時動態(tài)測速以及廣泛的應用領域,在精密制造、科研創(chuàng)新以及標準化檢測等方面發(fā)揮著關鍵作用。光束分割:通過分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測量光束。常熟通用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)折射...
邁克爾遜干涉儀,是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作,為研究“以太”漂移而設計制造出來的精密光學儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀,可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量,若觀察到干涉條紋移動一條,便是M2的動臂移動量為λ/2,等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術中,如在光譜線精細結(jié)構(gòu)的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理,研制出多種**干涉儀。 [1]激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。太倉銷售雙頻激光干涉儀五星服務激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原...
環(huán)境適應力強:雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大,即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)使用,也可在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進行標定。實時動態(tài)測速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至達到十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。三、應用領域幾何量精密測量:用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時,既支持幾十米大量程的檢測(如大型機械),也可對手表零件等微米級運動進行測量。干涉儀的應用包括測量微小位移、折射率、波長、材料的光學特性等。吳中區(qū)本地雙頻激光干涉儀五星服務5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分...
激光干涉儀是一種高精度的測量工具,以下是對其的詳細介紹:一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。其工作原理基于干涉原理,即當兩束波重疊并結(jié)合時,會產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中,激光束被分為兩路,一路經(jīng)固定反射鏡反射,另一路經(jīng)可動反射鏡反射,兩束光重新匯合時產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化被轉(zhuǎn)換為電信號,進而計算出位移量。光束分割:通過分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測量光束。張家港耐用雙頻激光干涉儀單價激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向...
干涉圖樣分析:通過觀察干涉條紋的變化,可以獲取關于物**移、形狀、厚度等信息。激光干涉儀廣泛應用于精密測量、材料科學、光學研究、工程檢測等領域。常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩**涉儀和激光位移傳感器等。由于其高精度和高靈敏度,激光干涉儀在科學研究和工業(yè)應用中都具有重要的地位。干涉儀是一種用于測量光波或其他波動現(xiàn)象的儀器,利用干涉原理來分析波的特性。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時相互疊加,形成新的波形的現(xiàn)象。干涉儀廣泛應用于物理學、工程學、光學等領域。在科學研究和工業(yè)檢測中,干涉儀是一種非常重要的工具。相城區(qū)耐用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹折射率測定兩光束的幾何路程保持不變,介質(zhì)折射率變...
檢驗光學元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡,平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡,可根據(jù)干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變,從而評估透鏡的波像差。引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson, 1994) [4]。 激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯(lián)科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的(Gertsenshtein和Pustovoit 1962) [5]。 1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休...
分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準線紋尺,后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。三、應用邁克爾遜干涉儀:由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明,主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。相城區(qū)安裝雙頻激光干涉儀...
基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設計,通過對比被測平面與標準參照鏡的干涉條紋變化,實現(xiàn)光學元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標準參照鏡面形精度通常達到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑:Φ60mm(典型型號) [3-4]對準方式:兩點對準系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性:小型化設計、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍:根據(jù)型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學制造:檢測平面鏡、棱鏡等光學元件表面面型2.質(zhì)量檢測:評估光學材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實驗:實驗室環(huán)境下進行精密光學計量分析隨著激光技術和數(shù)據(jù)處理技術的發(fā)展,雙頻激光干涉儀的應用范圍和測...
8、激光干涉儀的光源——激光,具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。2、在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。當兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后,經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。張家港通用雙頻激光干涉儀設備廠家經(jīng)M2反射的光三次穿過G2分光板,而經(jīng)M1反射的光通過G2分光板只一次...
這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計數(shù)器計數(shù)后,由電子計算機進行當量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。利用相應附件,還可進行高精度直線度測量、平面度...
但是這種單頻的激光儀并非完美,它的一個根本弱點就是受環(huán)境影響嚴重,在測試環(huán)境惡劣,測量距離較長時,這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時,光電接收器會輸出信號,如果信號超過了計數(shù)器的觸發(fā)電平則就會被記錄下來,而如果激光束強度發(fā)生變化,就有可能使光電信號低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而使計數(shù)器停止計數(shù),使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流,機床油霧,切削屑對光束的影響,結(jié)果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等。昆山附近雙頻激光干涉儀維保8、激光干涉儀的光...
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀)法布里-干涉儀:由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發(fā)明,主要用于高精度的光譜分析。昆山定制雙頻激光干涉儀維保邁克爾遜干涉儀的*****應...
邁克爾遜干涉儀的*****應用即是它在邁克爾遜-莫雷實驗中對以太風觀測中所得到的零結(jié)果,這朵十九世紀末經(jīng)典物理學天空中的烏云為狹義相對論的基本假設提供了實驗依據(jù)。除此之外,由于激光干涉儀能夠非常精確地測量干涉中的光程差,在當今的引力波探測中邁克爾遜干涉儀以及其他種類的干涉儀都得到了相當廣泛的應用。激光干涉引力波天文臺(LIGO)等諸多地面激光干涉引力波探測器的基本原理就是通過邁克爾遜干涉儀來測量由引力波引起的激光的光程變化,而在計劃中的激光干涉空間天線(LISA)中,應用邁克爾遜干涉儀原理的基本構(gòu)想也已經(jīng)被提出。邁克爾遜干涉儀還被應用于尋找太陽系外行星的探測中,雖然在這種探測中馬赫-曾特干涉儀...
激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器,主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級,采用半導體激光器(635nm)作為光源,具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點,適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產(chǎn)能力,其中G150M、G200M及60-LP等型號產(chǎn)品采用標準化測量口徑設計,可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年,相關企業(yè)產(chǎn)品已服務國內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。...
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量,也可以對手表零件等微小運動進行精密測量,既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量,也可以用于特殊場合,諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以擴展;太倉新款雙頻激光干涉儀單價基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設計,通...
邁克爾遜干涉儀,是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作,為研究“以太”漂移而設計制造出來的精密光學儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀,可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量,若觀察到干涉條紋移動一條,便是M2的動臂移動量為λ/2,等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術中,如在光譜線精細結(jié)構(gòu)的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理,研制出多種**干涉儀。 [1]實時測量:可以實現(xiàn)實時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集,適合動態(tài)測量。昆山耐用雙頻激光干涉儀銷售廠激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利...
非接觸式測量:激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀,這對于測量易碎或精細的物體非常有用。多功能性:激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作??垢蓴_能力強:雙頻激光干涉儀對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。五、注意事項與維護注意事項:儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。在移動儀器時,應托住底座以防止導軌變形。光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放以防止發(fā)霉。它通過多次反射在兩個平面鏡之間形成干涉。吳中區(qū)定制雙頻激光干涉儀哪家強按照干涉光來源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類, 其差異在于...
環(huán)境適應力強:雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大,即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)使用,也可在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進行標定。實時動態(tài)測速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至達到十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。三、應用領域幾何量精密測量:用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時,既支持幾十米大量程的檢測(如大型機械),也可對手表零件等微米級運動進行測量。激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。相城區(qū)安裝雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)邁克爾遜干涉儀的*****應用即是它在邁克爾遜-莫雷...
這種無規(guī)則的變化較難通過觸發(fā)電平的自動調(diào)整來補償,因而限制了單頻干涉儀的應用范圍,只有設法用交流測量系統(tǒng)代替直流測量系統(tǒng)才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點,它是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器,所不同者,一方面是當可動棱鏡不動時,前者的干涉信號是介于**亮和**暗之間的某個直流光平,而后者的干涉信號是一個頻率約為1.5MHz的交流信號;抗干擾能力強:由于使用了兩種不同頻率的激光,干涉儀對環(huán)境噪聲和振動的抗干擾能力較強。張家港通用雙頻激光干涉儀五星服務雙頻激...
(3)數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結(jié)果。(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩涉儀和激光位...
5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況,合理恰當?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,保持其不失油。1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動 時,應托住底座,以防導軌變形。 2、光學零件不用時,應存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和**混合液輕拭。3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應用T5精密儀表油潤滑。常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩涉儀和激光位移...
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量,也可以對手表零件等微小運動進行精密測量,既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量,也可以用于特殊場合,諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。相城區(qū)附近雙頻激光干涉儀哪家好工程測量:用于高精度的長度測量和地形測量。波譜分析:用于分...
激光干涉儀具有廣泛的應用領域,包括但不限于:科學研究:用于檢測引力波、測量微小位移和振動等。工業(yè)制造:用于精密機械加工、質(zhì)量控制和機床校準等。在機床校準中,激光干涉儀能夠測量機床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床的動態(tài)特性。計量學:用于長度標準的校準。通信:用于光纖傳感和信號處理。四、主要特點高精度:激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級的測量精度,非常適合各種高精度測量應用。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應用于傳感器、通信等領域。吳江區(qū)本地雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)實時測量:可以實現(xiàn)實時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集,適合動態(tài)測量。廣泛應用:廣泛應用于...
激光干涉儀是一種高精度的測量工具,以下是對其的詳細介紹:一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。其工作原理基于干涉原理,即當兩束波重疊并結(jié)合時,會產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中,激光束被分為兩路,一路經(jīng)固定反射鏡反射,另一路經(jīng)可動反射鏡反射,兩束光重新匯合時產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化被轉(zhuǎn)換為電信號,進而計算出位移量。高精度:雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級別的測量精度,適用于微小位移的檢測。姑蘇區(qū)銷售雙頻激光干涉儀設備廠家光源:提供相干光,通常是激光,因為激光具有高度的相干性,能夠產(chǎn)生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器:將光...
邁克爾遜干涉儀的*****應用即是它在邁克爾遜-莫雷實驗中對以太風觀測中所得到的零結(jié)果,這朵十九世紀末經(jīng)典物理學天空中的烏云為狹義相對論的基本假設提供了實驗依據(jù)。除此之外,由于激光干涉儀能夠非常精確地測量干涉中的光程差,在當今的引力波探測中邁克爾遜干涉儀以及其他種類的干涉儀都得到了相當廣泛的應用。激光干涉引力波天文臺(LIGO)等諸多地面激光干涉引力波探測器的基本原理就是通過邁克爾遜干涉儀來測量由引力波引起的激光的光程變化,而在計劃中的激光干涉空間天線(LISA)中,應用邁克爾遜干涉儀原理的基本構(gòu)想也已經(jīng)被提出。邁克爾遜干涉儀還被應用于尋找太陽系外行星的探測中,雖然在這種探測中馬赫-曾特干涉儀...
5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況,合理恰當?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,保持其不失油。1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動 時,應托住底座,以防導軌變形。 2、光學零件不用時,應存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和**混合液輕拭。3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應用T5精密儀表油潤滑。雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差...
光源:提供相干光,通常是激光,因為激光具有高度的相干性,能夠產(chǎn)生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器:將光束分成兩部分,通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡:調(diào)節(jié)光程差,確保兩束光在干涉屏(或檢測器)上相遇時具有合適的相位差。干涉屏(或檢測器):顯示干涉結(jié)果,或?qū)⒏缮婧蟮墓馐D(zhuǎn)換為電信號進行進一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進行分類,常見的分類方法包括:按結(jié)構(gòu)區(qū)分:分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中,干涉的波通過同一路徑傳播,如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等;而多路徑干涉儀中,干涉的波通過不同的路徑傳播,如邁克爾遜干涉儀。激光發(fā)射:激光器發(fā)出單色光束。江蘇安裝雙頻激光干涉...
分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準線紋尺,后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。三、應用起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中?;⑶饏^(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇常見...