3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動(dòng)。北京潔凈工作臺(tái)潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)C.1.1檢測(cè)目的檢測(cè)的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾...

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。江蘇過濾器潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品...

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層...

7.4.5干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定；3冷凍水進(jìn)水溫度，宜高于潔凈室（區(qū))內(nèi)空氣的**溫度；4應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機(jī)組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1%；2整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強(qiáng)度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露；3布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運(yùn)行和維修；當(dāng)多套空氣處理機(jī)組為同一潔凈室（區(qū))服務(wù)時(shí)，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機(jī)組；送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行...

9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運(yùn)行時(shí)間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量，經(jīng)常手動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)為使風(fēng)機(jī)空載啟動(dòng)，首先將風(fēng)機(jī)出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機(jī)啟動(dòng)后，由于風(fēng)閥上承受壓力很大，打開十分困難。當(dāng)采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機(jī)的變頻調(diào)速裝置后，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時(shí)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)無風(fēng)或超溫時(shí)，電加熱器繼續(xù)送電加熱會(huì)造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi)，本條強(qiáng)制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姷缺Ｗo(hù)裝置。斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，...

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當(dāng)潔凈廠房設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時(shí)應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺(tái)；4當(dāng)?shù)孛娌捎没顒?dòng)地板時(shí)，活動(dòng)地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10...

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存和分配室時(shí)，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。嚴(yán)寒及寒...

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對(duì)于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。生物安全柜潔凈室檢測(cè)誠信推薦D.3.2靜壓差測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜...

（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對(duì)無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對(duì)有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內(nèi)空氣會(huì)很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。（3）潔凈廠房是個(gè)相對(duì)的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充，有害氣體不能排出，對(duì)工作人員的健康是不利的。凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施。氣流潔凈室檢測(cè)...

7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵，對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格，如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高、管理要求嚴(yán)格，因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求，冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等），以便重點(diǎn)保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng)，也利于管理和節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè)，如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級(jí)換代快，生產(chǎn)工藝變化多。因此，在管道設(shè)計(jì)中應(yīng)留有充分的余量。不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。上海過濾器潔凈室檢測(cè)目的9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體...

C.1.1檢測(cè)目的檢測(cè)的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時(shí)的效率檢測(cè)混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測(cè)試。此項(xiàng)檢測(cè)用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測(cè)過程檢測(cè)中，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個(gè)過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測(cè)是在新建潔凈室調(diào)試時(shí)，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測(cè)時(shí)，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。應(yīng)...

D.3.7噪聲檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1～1.5m,距墻應(yīng)大于3m；檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn)。D.3.8照度測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū)）內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。2照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室（區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。3照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25m2設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn)。單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整...

D.3.10自凈時(shí)間檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī)，定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N。）。然后開機(jī)...

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程...

7.4.5干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定；3冷凍水進(jìn)水溫度，宜高于潔凈室（區(qū))內(nèi)空氣的**溫度；4應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機(jī)組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1%；2整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強(qiáng)度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露；3布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運(yùn)行和維修；當(dāng)多套空氣處理機(jī)組為同一潔凈室（區(qū))服務(wù)時(shí)，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機(jī)組；送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行...

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存和分配室時(shí)，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。潔凈室維...

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時(shí)，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對(duì)周圍振源的振動(dòng)影響作出評(píng)價(jià)，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè)。周圍振源對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響，是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此，應(yīng)立足于實(shí)測(cè)。過去有的工廠，由于建廠前沒有對(duì)周圍各類振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測(cè)，建成后發(fā)現(xiàn)對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來很大困難，這說明實(shí)測(cè)振源振動(dòng)影響是非常必要的。單向流潔凈室靠送風(fēng)氣流“活塞”般的擠壓作用，迅速把室內(nèi)污染排出...

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對(duì)于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。浙江照度潔凈室檢測(cè)目的9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運(yùn)行...

D.3.5氣流流型的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測(cè)，宜采用氣流目測(cè)法。2氣流目測(cè)法有示蹤線法、示蹤劑注人法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。4示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在**度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)***流目測(cè)，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室(...

12.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測(cè)，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí)，...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進(jìn)行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進(jìn)行必要的操作處置而可能引起火災(zāi)、和中毒等事故，本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進(jìn)行各項(xiàng)活動(dòng)和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應(yīng)低于正常照明照度標(biāo)準(zhǔn)的1/10。消防控制室、應(yīng)急發(fā)電機(jī)室、配電室及電話機(jī)房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復(fù)設(shè)置，節(jié)省投資，并對(duì)提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動(dòng)。安徽噪...

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室（區(qū)）面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū)）送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理...

近年來，國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級(jí)用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時(shí)變動(dòng)而引起停電事故頻繁發(fā)生，造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計(jì)中也很重要。從工藝性質(zhì)來看，潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作，需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。........應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。安徽國內(nèi)潔凈室檢測(cè)報(bào)告7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵，對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格，如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工...

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。一般情況下，凈化...

5.3.9空氣潔凈度等級(jí)要求較高的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外，還靠上下馬槽和板之間的嚴(yán)密結(jié)合，使?jié)崈羰倚纬梢粋€(gè)完整的匣體。板壁之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封，它的作用是防止灰塵在停機(jī)時(shí)從此進(jìn)人室內(nèi)，同時(shí)使?jié)崈羰以谡９ぷ鲿r(shí)易于保持正壓，減少能量的損耗。此外，潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙，一定要***密封。目前國內(nèi)使用的密封方法很多，如液槽密封、機(jī)械壓墊密封等，但必須做到涂抹或填嵌方便，操作簡單，而且還要考慮更換高效過濾器時(shí)方便拆裝?？傊瑳]有經(jīng)過高效...

10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時(shí)，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。浙江生物安全柜潔凈室檢測(cè)流程C.1.1檢測(cè)目的檢測(cè)的目的是確認(rèn)過...

D.3.10自凈時(shí)間檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī)，定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N。）。然后開機(jī)...

7.4.2風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用；2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)氣流流型的要求布置，3終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；5應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時(shí)，外殼強(qiáng)度應(yīng)滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級(jí)的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩；2層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用；3終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的，潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求，這是理所當(dāng)然的。安...

近年來，國內(nèi)設(shè)計(jì)、建造的潔凈廠房，一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級(jí)確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)，還有一些潔凈廠房雖然沒有對(duì)潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級(jí)要求，但室內(nèi)采用高效空氣過濾送風(fēng)系統(tǒng)，或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引人更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此，本次修訂時(shí)對(duì)潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈區(qū)1級(jí)~2級(jí)和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)不宜低于8級(jí)”的規(guī)定取消，修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對(duì)空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi)：“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室（區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)確定”。不...

B.1自凈檢測(cè)是測(cè)定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測(cè)*對(duì)非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用，因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān)，而單向流系統(tǒng)中，污染被受控氣流置換，自凈時(shí)間只受位置和距離的影響。自凈檢測(cè)應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時(shí)進(jìn)行。潔凈度ISO8級(jí)和ISO9級(jí)的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測(cè)。檢測(cè)若使用人工氣溶膠，應(yīng)防止氣溶膠對(duì)設(shè)施的殘留污染。B.2自凈性能的評(píng)估方法有100：1自凈時(shí)間或潔凈度恢復(fù)率。100：1自凈時(shí)間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時(shí)間。100：1...