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在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號公報文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng),因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。惠山區(qū)寫字樓商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州學(xué)校商鋪搬運(yùn)
、第二移送部44a、44b具備能夠沿與、第二行駛部41a、41b的行駛方向正交的方向伸縮的臂部48、和設(shè)置于臂部48的前端并保持物品2的保持部49。保持部49通過把持物品2的凸緣部2a而將物品2懸掛保持。保持部49例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部49a的卡盤,使爪部49a侵入至物品2的凸緣部的下方,使保持部49上升,由此將物品2懸掛保持。在、第二移送部44a、44b接收物品2時,將臂部48伸長而使保持部49配置于物品2的上方,在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使、第二升降臺43a、43b上升,由此利用保持部49將物品2提起。接著,、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48,由此將保持有物品2的保持部49配置于、第二升降臺43a、43b的下方。此外,、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結(jié)構(gòu)。例如,也可以是保持部49載置物品2的結(jié)構(gòu),也可以是保持部49把持且保持物品2的側(cè)面的結(jié)構(gòu)。、第二升降驅(qū)動部45a、45b例如使用升降機(jī)等,沿著、第二桅桿42a、42b使、第二升降臺43a、43b升降。、第二升降驅(qū)動部45a、45b具備懸掛部件45a和驅(qū)動部45b。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等,、第二升降臺43a、43b通過該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛。江蘇長途商鋪搬運(yùn)報價新吳區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
圖7~圖9是表示通過高架搬運(yùn)車50搬運(yùn)物品2時的移動路徑的一個例子的圖。在圖7~圖9中示出從第二保管區(qū)域sa2開始以保管區(qū)域sa1或者裝置區(qū)域ta1為下一個搬運(yùn)目的地的物品2被第二起重機(jī)40b載置于第二交接端口30b的例子。例如,如圖7所示,在物品2被載置于在第二保管區(qū)域sa2的+y側(cè)端部和-x側(cè)配置的第二交接端口30b的情況下,控制裝置60(參照圖1)針對高架搬運(yùn)車50進(jìn)行指示以將第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的物品2搬運(yùn)至保管區(qū)域sa1的交接端口30a。高架搬運(yùn)車50沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動至第二交接端口30b,使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向突出,并驅(qū)動升降驅(qū)動部54使保持部53下降,由此通過保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外,高架搬運(yùn)車50根據(jù)來自控制裝置60等的信息,獲取以下信息:接收到的物品2的搬運(yùn)目的地是在保管區(qū)域sa1的+y側(cè)端部和+x側(cè)配置的交接端口30a。此外,第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12內(nèi),例如沿與順時針相同方向環(huán)繞行駛。其結(jié)果是,能夠減少第二起重機(jī)40b與高架搬運(yùn)車50產(chǎn)生干擾的時刻、和高架搬運(yùn)車50彼此產(chǎn)生干擾的時刻。另外。
另一個終端通過工業(yè)總線接入到其他非移動設(shè)備的控制系統(tǒng)或者子網(wǎng)絡(luò)中,從而實現(xiàn)搬運(yùn)設(shè)備與整個網(wǎng)絡(luò)的無線通訊互聯(lián)。值得一提的是,由于光的直線傳播的特點(diǎn),紅外通訊需要兩端必須一直在一條直線上,否則會發(fā)生數(shù)據(jù)終端。因此紅外通訊不適合設(shè)備有拐彎運(yùn)行的設(shè)備上。物理信息傳遞離散搬運(yùn)設(shè)備在運(yùn)行過程中與其他設(shè)施進(jìn)行數(shù)據(jù)交互式的數(shù)據(jù)內(nèi)容有大有小,有些交互內(nèi)容可能只是一些狀態(tài)量0或1。比如搬運(yùn)機(jī)器人需要通過某道門之前,需要給門傳遞一條開門的請求數(shù)據(jù),這一數(shù)據(jù)就是簡單的狀態(tài)量0或者1。由于數(shù)據(jù)量非常小,實際應(yīng)用中,可以采用物理觸發(fā)的方式來傳遞狀態(tài)量,比如在門之前的某個位置安裝類似于光電開關(guān)之類的傳感器,并將傳感器的信號接入門的控制系統(tǒng)內(nèi)。每次搬運(yùn)機(jī)器人到達(dá)此處開關(guān)位置時,由自身物理上來觸發(fā)開關(guān),這樣間接傳遞了開門的請求數(shù)據(jù)。另外一些應(yīng)用場景下,也可以通過物理的方式傳遞更多的數(shù)據(jù),而這些數(shù)據(jù)如果是固定不變的,就更加容易實現(xiàn)物理傳遞。比如AGV在運(yùn)行中進(jìn)過一個第三方的信息采集站,信息采集站需要采集當(dāng)前AGV的標(biāo)識,即當(dāng)前通過的AGV是編號為幾的信息。此情形下,可以通過在AGV上貼附條碼或者二維碼的標(biāo)簽。新吳區(qū)短途商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
如圖10所示,保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外,針對該保管部220(或者交接端口230),、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。但是,在該結(jié)構(gòu)中,高架搬運(yùn)車50無法針對裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接。另一方面,、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外,如圖10所示,也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個保管部320,并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對保管架80的保管部320,、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,針對保管架80的上表面80a的交接端口330,、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2。此外,在圖10中,示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子,但也可以代替該結(jié)構(gòu)。錫山區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州學(xué)校商鋪搬運(yùn)
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這兩種方案中的路徑并不相同,因此方案1和方案2雖然都已經(jīng)遍歷了所有的上游和下游,但是用的時間確實大相徑庭的。事實上,如果我們開始出發(fā)點(diǎn)不是B1點(diǎn),而是B2點(diǎn),此時又會有另外兩種方案3和方案4,路徑也與上述的不同,自然用的時間也不同。我們可以按照先按方案1從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),然后按照方案3從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1點(diǎn),然后再按照方案2從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),后按照方案4從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1。以上通過4次不同的復(fù)合搬運(yùn)作業(yè),完成了4次不同的遍歷方式,涵蓋了所有的上下游的搬運(yùn)方案,如果4中搬運(yùn)方案出現(xiàn)的概率平均,并且4中方案的搬運(yùn)周期分別為T1、T2、3、T4,則可以得到從上游到下游的總周期時間為:T1+T2+T3+T4。可以得到總的平均效率為:E=2*I*4*3600/(T1+T2+T3+T4);注:以上將2對2的所有的搬運(yùn)方案當(dāng)做一個循環(huán)時間來作為搬運(yùn)周期,其中的搬運(yùn)路徑總共計算了16次(其中有若干重復(fù)),而實際中很多情況下,上游下游的數(shù)量要比2多的多,如果按照上邊的計算流程來估算效率,計算的工作量非常大。如果有m個上游點(diǎn),有n個下游點(diǎn),從某個下游點(diǎn)將每個上游點(diǎn)以此搬運(yùn)到所有的n點(diǎn),總共的搬運(yùn)方案有n*m!。徐州學(xué)校商鋪搬運(yùn)