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在半導(dǎo)體制造工廠(chǎng)等制造工廠(chǎng)中,配置有保管收納半導(dǎo)體晶圓的foup或者收納中間掩膜的中間掩膜盒等物品的存儲(chǔ)庫(kù)。存儲(chǔ)庫(kù)具備用于在多個(gè)保管架與交接口之間移載物品的起重機(jī)。作為該起重機(jī)公知有在被配置于頂棚的軌道上行駛的懸掛式起重機(jī),為了提高物品的移載效率,提出了兩種懸掛式起重機(jī)在共用的軌道上行駛的構(gòu)成(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:國(guó)際公開(kāi)第2016/178347號(hào)對(duì)于文獻(xiàn)1所記載的存儲(chǔ)庫(kù),兩種懸掛式起重機(jī)雖在共用的軌道上行駛,但其行駛范圍被限制在配置了存儲(chǔ)庫(kù)的一個(gè)存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)。因此,在使該懸掛式起重機(jī)向其它的存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域移動(dòng)時(shí),或者為了維護(hù)而使懸掛式起重機(jī)向維護(hù)區(qū)域移動(dòng)時(shí),需要從軌道取下并搬運(yùn)懸掛式起重機(jī)。但是,從軌道取下懸掛式起重機(jī)的作業(yè)麻煩且費(fèi)事,作業(yè)者的負(fù)擔(dān)大。并且,由于使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備搬運(yùn)已取下的懸掛式起重機(jī),所以不僅成本提高,而且存在搬運(yùn)也需要時(shí)間這樣的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明目的是提供一種能夠容易地使懸掛式起重機(jī)在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)與規(guī)定區(qū)域之間移動(dòng)而不使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:被配置于存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)的存儲(chǔ)庫(kù)。錫山區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。徐州貨車(chē)商鋪搬運(yùn)價(jià)錢(qián)
以規(guī)定的速度使升降臺(tái)33下降或者上升。另外,驅(qū)動(dòng)部35b被控制裝置80等控制,將升降臺(tái)33保持在目標(biāo)的高度。升降驅(qū)動(dòng)部35雖被設(shè)置于上部支承體37(起重機(jī)用行駛部31),但并不限于該結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動(dòng)部35例如也可被設(shè)置于升降臺(tái)33。作為升降驅(qū)動(dòng)部35被設(shè)置于升降臺(tái)33的構(gòu)成例如,也可以將從上部支承體37吊掛下來(lái)的帶狀物或者線(xiàn)材等通過(guò)搭載于升降臺(tái)33的升降機(jī)等進(jìn)行卷繞或抽出而使升降臺(tái)33升降。另外,也可將驅(qū)動(dòng)小齒輪的電動(dòng)馬達(dá)等搭載于升降臺(tái)33,將該小齒輪嚙合的齒條形成于桅桿32,驅(qū)動(dòng)電動(dòng)馬達(dá)等使小齒輪旋轉(zhuǎn),由此使升降臺(tái)33升降。如圖1~圖3所示,高架搬運(yùn)車(chē)軌道40被配置于存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a外。高架搬運(yùn)車(chē)軌道40沿著處理裝置tl的裝載端口lp設(shè)置,延伸到存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b。高架搬運(yùn)車(chē)軌道40除了懸掛式起重機(jī)30的載入時(shí)都被設(shè)置于在高架搬運(yùn)車(chē)50的運(yùn)轉(zhuǎn)中允許作業(yè)者的通行的作業(yè)者通路10g的上方。另外,懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)用行駛部31能夠在高架搬運(yùn)車(chē)軌道40行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠使在作業(yè)者的進(jìn)入被禁止的作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域10f內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)的懸掛式起重機(jī)30、經(jīng)由被設(shè)置于作業(yè)者的通行被允許的作業(yè)者通路10g上的高架搬運(yùn)車(chē)軌道40而適當(dāng)?shù)匾苿?dòng)。錫山區(qū)寫(xiě)字樓商鋪搬運(yùn)公司電話(huà)濱湖區(qū)專(zhuān)業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。
穿梭車(chē)、提升機(jī)、堆垛機(jī)、機(jī)器人等。1.離散式搬運(yùn)的效率由離散式搬運(yùn)的特點(diǎn),可以得知,離散式搬運(yùn)系統(tǒng)的整體效率由如下幾個(gè)方面的因素決定:搬運(yùn)設(shè)備的速度v搬運(yùn)設(shè)備的單次承載量l搬運(yùn)設(shè)備的數(shù)量n離散式搬運(yùn)系統(tǒng)的整體效率正比于v,l,n。其中搬運(yùn)設(shè)備的數(shù)量較為特殊,與v和l不同的是,v和l只關(guān)乎單個(gè)搬運(yùn)設(shè)備自身的參數(shù),而n隨著數(shù)量的變化帶來(lái)的效率低變化并非也直接是n倍的變化,因?yàn)樵O(shè)備與設(shè)備之間會(huì)互現(xiàn)制約和印象,設(shè)備在運(yùn)行期間都會(huì)占用一定的公共資源,比如通道、收貨接駁權(quán)利,送貨接駁權(quán)利等等,因此n個(gè)設(shè)備的整體效率會(huì)小于n倍。設(shè)備與設(shè)備之間的制約往往會(huì)帶來(lái)等待,搬運(yùn)設(shè)備繞行等等的影響。2.離散搬運(yùn)效率的計(jì)算A點(diǎn)到B點(diǎn)離散搬運(yùn)效率對(duì)于離散搬運(yùn)系統(tǒng)的效率計(jì)算,簡(jiǎn)單直觀(guān)的方法是讓搬運(yùn)設(shè)備連續(xù)不停的搬運(yùn),將物料從A點(diǎn)搬運(yùn)到B點(diǎn)。在B點(diǎn)觀(guān)察并數(shù)數(shù),可以在一定的時(shí)間T內(nèi)數(shù)總共到被搬運(yùn)到B點(diǎn)有多少個(gè)物料單元。時(shí)間T取的越長(zhǎng),效率評(píng)價(jià)越客觀(guān)。比如在8個(gè)工時(shí)內(nèi),從工位A點(diǎn)搬運(yùn)到達(dá)倉(cāng)庫(kù)有800個(gè)料箱,那入庫(kù)的平均效率可以計(jì)算得出100個(gè)料箱/小時(shí)。而大部分情況下,我們無(wú)法按照像上邊的情形供我們?nèi)ガF(xiàn)場(chǎng)真的去數(shù)數(shù)。
如圖10所示,保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外,針對(duì)該保管部220(或者交接端口230),、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車(chē)50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。但是,在該結(jié)構(gòu)中,高架搬運(yùn)車(chē)50無(wú)法針對(duì)裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接。另一方面,、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對(duì)裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外,如圖10所示,也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個(gè)保管部320,并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對(duì)保管架80的保管部320,、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,針對(duì)保管架80的上表面80a的交接端口330,、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車(chē)50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2。此外,在圖10中,示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子,但也可以代替該結(jié)構(gòu)。惠山區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。
可以區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道是環(huán)繞軌道,起重機(jī)和高架搬運(yùn)車(chē)在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛,第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車(chē)在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛。另外,可以交接端口和第二交接端口配置于保管部和第二保管部各自的上層。另外,本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)方法是如下搬運(yùn)系統(tǒng)的搬運(yùn)方法,上述搬運(yùn)系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置;區(qū)段間頂棚軌道,其將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié);保管部和第二保管部,它們?cè)趨^(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層,并用于保管物品;交接端口和第二交接端口,它們?cè)O(shè)置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方;起重機(jī),其具備沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的行駛部、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導(dǎo)而升降的移送部;第二起重機(jī),其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部;以及高架搬運(yùn)車(chē)。濱湖區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。江陰專(zhuān)業(yè)商鋪搬運(yùn)公司哪家好
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通常沿著存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a內(nèi)的起重機(jī)軌道20行駛并且在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a內(nèi)在保管部11與交接口12之間移載物品的懸掛式起重機(jī)30,根據(jù)需要能夠經(jīng)由以及第二連結(jié)軌道60a、60b以及高架搬運(yùn)車(chē)軌道40而移動(dòng)到存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a外的規(guī)定區(qū)域(存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b)。根據(jù)該結(jié)構(gòu),不使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備就能夠容易且不花費(fèi)時(shí)間地使懸掛式起重機(jī)30在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a內(nèi)與規(guī)定區(qū)域(存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b)之間移動(dòng)。其結(jié)果是,不需要從軌道取下懸掛式起重機(jī)30這樣的麻煩的作業(yè),并且也不需要用于搬運(yùn)已被取下的懸掛式起重機(jī)30的特殊的搬運(yùn)設(shè)備,所以能夠抑制成本的增加。在上述實(shí)施方式中,以規(guī)定區(qū)域是其它存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明,但并不限于該結(jié)構(gòu)。圖11以及圖12是表示規(guī)定區(qū)域的其它例子的圖。在以下的說(shuō)明中,對(duì)于上述實(shí)施方式相同或者等同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的符號(hào)并省略或者簡(jiǎn)化說(shuō)明。如圖11所示,規(guī)定區(qū)域也可是維護(hù)區(qū)域10c。維護(hù)區(qū)域10c具有起重機(jī)軌道20c、以及多個(gè)維護(hù)裝置mn。多個(gè)維護(hù)裝置mn沿著起重機(jī)軌道20c配置。在該結(jié)構(gòu)中,在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向維護(hù)區(qū)域10c移動(dòng)的情況下,與上述實(shí)施方式相同。徐州貨車(chē)商鋪搬運(yùn)價(jià)錢(qián)
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