本發(fā)明實(shí)施例的閃存參考單元未經(jīng)過編譯和擦除的電荷分布示意圖；發(fā)明實(shí)施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除后的電荷分布示意圖。圖8為本發(fā)明實(shí)施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)后再進(jìn)行htol測(cè)試的輸出電流iref分布圖。其中，具體標(biāo)號(hào)如下：100-襯底；101-源極；102-漏極；103-隧穿氧化層；104-浮柵；105-柵間介質(zhì)層；106-控制柵；107-側(cè)墻；具體實(shí)施方式本發(fā)明提供一種閃存htol測(cè)試方法，以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精細(xì)的比例，*用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。圖1為本發(fā)明實(shí)施例的閃存htol測(cè)試方法流程圖，TH801智能老化系統(tǒng)，實(shí)時(shí)參數(shù)正態(tài)分布圖，散點(diǎn)圖等分析數(shù)據(jù)，有利于分析芯片性能參數(shù)。一體化HTOL測(cè)試機(jī)性能
集成電路動(dòng)態(tài)老化設(shè)備，20年發(fā)展歷史，自主研發(fā)TH801智能一體化HTOL測(cè)試機(jī)，擁有多項(xiàng)發(fā)明專利及軟件著作權(quán)，可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅提高HTOL效率。上海頂策科技有限公司，自成立以來已經(jīng)為超過500家半導(dǎo)體公司提供高質(zhì)量，高效率，低成本，一條龍測(cè)試解決方案！涵蓋模擬，數(shù)字，混合信號(hào)，SOC，RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計(jì)，原理圖設(shè)計(jì)，PCBlayout加工制作，老化程序開發(fā)調(diào)試，可靠性測(cè)試實(shí)驗(yàn)，出具可靠性報(bào)告等一條龍服務(wù)。黃浦區(qū)有哪些HTOL測(cè)試機(jī)TH801智能老化系統(tǒng)，全程HTOL數(shù)據(jù)記錄，讓質(zhì)量報(bào)告更有說服力，下游客戶更放心。
可靠性測(cè)試設(shè)備，可靠性測(cè)試整體解決方案，HTOL測(cè)試爐，上海頂策科技TH801智能一體化老化測(cè)試機(jī)。自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測(cè)技術(shù)，通過監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅提高HTOL效率，節(jié)省更多時(shí)間、FA成本，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性，讓報(bào)告更有說服力，下游客戶更放心。20年以上的豐富測(cè)試技術(shù)積累及運(yùn)營(yíng)經(jīng)驗(yàn)，擁有多項(xiàng)發(fā)明專利及軟件著作權(quán)，自成立以來，已經(jīng)為超過500家半導(dǎo)體公司提供高質(zhì)量，高效率，低成本，一條龍測(cè)試解決方案！
高溫工作壽命實(shí)驗(yàn)（Hightemperatureoperatinglifetest:HTOL）測(cè)試目的：芯片處于高溫條件下，加入動(dòng)態(tài)信號(hào)，并長(zhǎng)時(shí)間工作，以評(píng)估其使用壽命，并確定其可靠性。測(cè)試條件：結(jié)溫(Tj)≧125℃，電壓Vcc≧Vccmax，測(cè)試時(shí)間：1000hrs樣品數(shù)：77ea/lot,3lots測(cè)試讀點(diǎn)：168、500、1000hrs參考規(guī)范：、JESD22-A108JESD22-A108B：Temperature,Bias,andOperatingLifeJESD85：METHODSFORCALCULATINGFAILURERATESINUNITSOFFITSJESD47K：Stress-Test-DrivenQualificationofIntegratedCircuitsJESD74：EarlyLifeFailureRateCalculationProcedureforSemiconductorComponents芯片工作壽命試驗(yàn)、老化試驗(yàn)(OperatingLifeTest)，為利用溫度、電壓加速方式，在短時(shí)間試驗(yàn)內(nèi)，預(yù)估芯片在長(zhǎng)時(shí)間可工作下的壽命時(shí)間(生命周期預(yù)估)。BI(Burn-in)/ELFR(EarlyLifeFailureRate)：評(píng)估早夭階段的故障率或藉由BI手法降低出貨的早夭率-DPPM(DefectPartsPer-Million)，針對(duì)失效模式中的InfantMortality，一般測(cè)試低于48小時(shí)，車規(guī)級(jí)芯片需要100%BI測(cè)試。HTOL(HighTemperatureOperatingLife)：評(píng)估可使用期的壽命時(shí)間-FIT/MTTF，針對(duì)失效模式中的Wearout，一般需要測(cè)試1000小時(shí)，屬于抽樣測(cè)試。 TH801智能老化系統(tǒng)，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)異常自動(dòng)報(bào)警，實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，可以整體降低30~50%的成本。
智能一體化HTOL測(cè)試機(jī)，可靠性測(cè)試整體解決方案，自主研發(fā)可實(shí)時(shí)監(jiān)控每顆芯片狀態(tài)的高溫老化測(cè)試爐，通過監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，可以實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性。上海頂策科技有限公司，提供可靠性測(cè)試整體解決方案，包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設(shè)備，以及測(cè)試方案制定，PCB設(shè)計(jì)制作，測(cè)試實(shí)驗(yàn)，滿足各類芯片可靠性測(cè)試需求。有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄，保證HTOL測(cè)試質(zhì)量，讓報(bào)告更有說服力，下游客戶更放心。上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng)，可靈活配置芯片工作狀態(tài)，并施加信號(hào)，非常方便HTOL Setup。黃浦區(qū)有哪些HTOL測(cè)試機(jī)
上海頂策科技的HTOL測(cè)試機(jī)TH801，自有發(fā)明專利的智能HTOL系統(tǒng)，自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測(cè)技術(shù)。一體化HTOL測(cè)試機(jī)性能
自有發(fā)明專利的智能HTOL系統(tǒng)，自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測(cè)技術(shù)，可靈活配置芯片工作狀態(tài)，并施加信號(hào)，非常方便HTOLSetup，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并記錄環(huán)境溫度，以及每顆芯片電壓，電流，頻率，寄存器狀態(tài)等數(shù)據(jù)，確保芯片處于正常HTOL狀態(tài)，保證HTOL測(cè)試質(zhì)量，通過監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅度提高HTOL效率，節(jié)省更多時(shí)間、FA成本，全程數(shù)據(jù)記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性，有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄，讓報(bào)告更有說服力，下游客戶更放心。一體化HTOL測(cè)試機(jī)性能
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