技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明提供了一種閃存htol測(cè)試方法，以解決閃存htol測(cè)試中讀點(diǎn)失效的問(wèn)題。本發(fā)明提供的閃存htol測(cè)試方法，包括：提供待測(cè)閃存，所述閃存包括閃存參考單元和閃存陣列單元；所述閃存參考單元中捕獲有空穴；對(duì)所述閃存參考單元循環(huán)進(jìn)行編譯和擦除，以在所述閃存參考單元中引入電子；對(duì)所述閃存進(jìn)行htol測(cè)試，所述引入電子在所述htol測(cè)試過(guò)程中部分丟失，以對(duì)htol測(cè)試過(guò)程中所述空穴的丟失形成補(bǔ)償。進(jìn)一步的，所述閃存參考單元包括襯底、位于所述襯底中的導(dǎo)電溝道、位于所述導(dǎo)電溝道兩側(cè)的源極和漏極，位于所述導(dǎo)電溝道上方的柵極單元，所述柵極單元從下到上依次包括隧穿氧化層、浮柵、柵間介質(zhì)層以及控制柵，所述柵極單元的兩側(cè)分布有側(cè)墻。 TH801智能老化系統(tǒng)，設(shè)備體積小，重量輕，功耗小，節(jié)能環(huán)保，干凈整潔，操作簡(jiǎn)單，易于上手。閔行區(qū)國(guó)產(chǎn)HTOL測(cè)試機(jī)
蓋模擬，數(shù)字，混合信號(hào)，SOC，RF等各類(lèi)芯片的可靠性方案設(shè)計(jì)，原理圖設(shè)計(jì)，PCBlayout加工制作，老化程序開(kāi)發(fā)調(diào)試，可靠性測(cè)試試驗(yàn)，出具可靠性報(bào)告等一條龍服務(wù)。自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測(cè)技術(shù)，通過(guò)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并介入分析，大幅提高HTOL效率，節(jié)省更多時(shí)間、FA成本，讓HTOL問(wèn)題更容易分析，更有追溯性，讓報(bào)告更有說(shuō)服力，下游客戶更放心。20年以上的豐富測(cè)試技術(shù)積累及運(yùn)營(yíng)經(jīng)驗(yàn)，擁有多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利及軟件著作權(quán)，自成立以來(lái)，已經(jīng)為超過(guò)500家半導(dǎo)體公司提供高質(zhì)量，高效率，低成本，一條龍測(cè)試解決方案！虹口區(qū)HTOL測(cè)試機(jī)性能TH801智能老化系統(tǒng)，實(shí)時(shí)參數(shù)正態(tài)分布圖，散點(diǎn)圖等分析數(shù)據(jù)，有利于分析芯片性能參數(shù)。
提供可靠性測(cè)試整體解決方案：可靠性設(shè)備，HTOL/LTOL、雙85、HAST等幾十項(xiàng)可靠性測(cè)試方案制定，PCB設(shè)計(jì)制作，測(cè)試試驗(yàn)，滿足各類(lèi)芯片可靠性測(cè)試需求。涵蓋模擬，數(shù)字，混合信號(hào)，SOC，RF等各類(lèi)芯片的可靠性方案設(shè)計(jì)，原理圖設(shè)計(jì)，PCBlayout加工制作，老化程序開(kāi)發(fā)調(diào)試，可靠性測(cè)試實(shí)驗(yàn)，出具可靠性報(bào)告等一條龍服務(wù)。20年以上的豐富測(cè)試技術(shù)積累及運(yùn)營(yíng)經(jīng)驗(yàn)，擁有多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利及軟件著作權(quán)，自成立以來(lái)，已經(jīng)為超過(guò)500家半導(dǎo)體公司提供高質(zhì)量，高效率，低成本，一條龍的上等測(cè)試解決方案！
本發(fā)明實(shí)施例的閃存參考單元經(jīng)過(guò)編譯和擦除循環(huán)后再進(jìn)行htol測(cè)試的輸出電流iref分布圖。閃存參考單元進(jìn)行編譯和擦除循環(huán)后，htol測(cè)試過(guò)程中。閃存參考單元的輸出電流iref在48小時(shí)的測(cè)試值iref1與在初始的測(cè)試值iref0之間偏移量減小，實(shí)際驗(yàn)證多個(gè)型號(hào)的閃存產(chǎn)品采用本實(shí)施例的方法后，htol可靠性驗(yàn)證通過(guò)，而且測(cè)試可靠，使閃存產(chǎn)品較短時(shí)間內(nèi)進(jìn)入客戶樣品量產(chǎn)階段。綜上所述，本發(fā)明所提供的一種閃存htol測(cè)試方法，對(duì)閃存參考單元進(jìn)行編譯和擦除循環(huán)后，再進(jìn)行閃存htol可靠性驗(yàn)證，編譯和擦除循環(huán)會(huì)在閃存參考單元中引入電子，引入的電子在閃存htol可靠性驗(yàn)證過(guò)程存在丟失，進(jìn)而對(duì)空穴在htol測(cè)試過(guò)程中的丟失形成補(bǔ)償，降低了閃存參考單元的輸出電流iref的偏移量，從而使閃存htol讀“0”通過(guò)，解決了閃存htol測(cè)試中讀點(diǎn)失效的問(wèn)題，提高閃存質(zhì)量。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些改動(dòng)和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動(dòng)和變動(dòng)在內(nèi)。上海頂策科技自主研發(fā)實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測(cè)技術(shù)，可靈活配置芯片工作狀態(tài)，并施加信號(hào)，非常方便HTOL Setup。
進(jìn)一步的，對(duì)所述閃存參考單元進(jìn)行編譯，包括：在所述源極上施加***編程電壓，在所述漏極上施加第二編程電壓，在所述控制柵上施加第三編程電壓，在所述襯底上施加第四編程電壓；其中，所述***編程電壓小于所述第二編程電壓；所述第二編程電壓小于所述第三編程電壓。進(jìn)一步的，所述***編程電壓的范圍為～0v,所述第二編程電壓的范圍為～，所述第三編程電壓的范圍為8v～10v,所述第四編程電壓的范圍為～-1v。進(jìn)一步的，編譯過(guò)程中的脈沖寬度為100μs～150μs。進(jìn)一步的，對(duì)所述閃存參考單元進(jìn)行擦除，包括：將所述源極和漏極均懸空，在所述控制柵上施加***擦除電壓，在所述襯底上施加第二擦除電壓；其中，所述***擦除電壓為負(fù)電壓，所述第二擦除電壓為正電壓。進(jìn)一步的，所述***擦除電壓的范圍為-10v～-8v，所述第二擦除電壓的范圍為8v～10v。進(jìn)一步的，擦除過(guò)程中的脈沖寬度為10ms～20ms。進(jìn)一步的，對(duì)所述閃存參考單元進(jìn)行編譯和擦除，循環(huán)次數(shù)為10次～20次。進(jìn)一步的，對(duì)所述閃存進(jìn)行htol測(cè)試包括：對(duì)所述閃存依次進(jìn)行***時(shí)間點(diǎn)讀點(diǎn)、第二時(shí)間點(diǎn)讀點(diǎn)、第三時(shí)間點(diǎn)讀點(diǎn)至第n時(shí)間點(diǎn)讀點(diǎn)。
TH801智能老化系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并記錄環(huán)境溫度，確保芯片處于正常HTOL狀態(tài)，保證HTOL測(cè)試質(zhì)量。黃浦區(qū)HTOL測(cè)試機(jī)推薦廠家
上海頂策科技有限公司提供芯片可靠性測(cè)試一條龍解決方案。閔行區(qū)國(guó)產(chǎn)HTOL測(cè)試機(jī)
上海頂策科技有限公司，提供可靠性測(cè)試整體解決方案，包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設(shè)備，以及測(cè)試方案制定，PCB設(shè)計(jì)制作，測(cè)試試驗(yàn)，滿足各類(lèi)芯片可靠性測(cè)試需求。自主研發(fā)TH801智能一體化HTOL測(cè)試機(jī)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并記錄環(huán)境溫度，以及每顆芯片電壓，電流，頻率，寄存器狀態(tài)等數(shù)據(jù)，確保芯片處于正常HTOL狀態(tài)，保證HTOL測(cè)試質(zhì)量。通過(guò)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并介入分析，大幅提高HTOL效率，節(jié)省更多時(shí)間、FA成本。全程數(shù)據(jù)記錄，讓HTOL問(wèn)題更容易分析，更有追溯性；有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄，讓報(bào)告更有說(shuō)服力，下游客戶更放心。閔行區(qū)國(guó)產(chǎn)HTOL測(cè)試機(jī)
上海頂策科技有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo)，有組織有體系的公司，堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明，攜手共畫(huà)藍(lán)圖，在上海市等地區(qū)的儀器儀表行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來(lái)公司能成為*****，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息，斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**上海頂策科技供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌，共創(chuàng)佳績(jī)，一直以來(lái)，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針，員工精誠(chéng)努力，協(xié)同奮取，以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng)，我們一直在路上！