技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明提供了一種閃存htol測試方法，以解決閃存htol測試中讀點失效的問題。本發(fā)明提供的閃存htol測試方法，包括：提供待測閃存，所述閃存包括閃存參考單元和閃存陣列單元；所述閃存參考單元中捕獲有空穴；對所述閃存參考單元循環(huán)進行編譯和擦除，以在所述閃存參考單元中引入電子；對所述閃存進行htol測試，所述引入電子在所述htol測試過程中部分丟失，以對htol測試過程中所述空穴的丟失形成補償。進一步的，所述閃存參考單元包括襯底、位于所述襯底中的導(dǎo)電溝道、位于所述導(dǎo)電溝道兩側(cè)的源極和漏極，位于所述導(dǎo)電溝道上方的柵極單元，所述柵極單元從下到上依次包括隧穿氧化層、浮柵、柵間介質(zhì)層以及控制柵，所述柵極單元的兩側(cè)分布有側(cè)墻。 上海頂策科技有限公司智能一體化HTOL測試機TH801全程數(shù)據(jù)記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性。HTOL測試機多少錢
第二時間點讀點、第三時間點讀點至第n時間點讀點。在每個時間點讀點過程為：將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經(jīng)由讀出放大器進行比對判斷，若iref＜i，則閃存讀出“1”；若iref＞i，則閃存讀出“0”。具體的，在閃存(例如norflash)產(chǎn)品htol可靠性驗證的階段的測試流程例如依次為：初始(***時間點)讀點、48小時(第二時間點)讀點、168小時(第三時間點)讀點、500小時(第四時間點)讀點、1000小時(第n時間點)讀點。本發(fā)明實施例的閃存參考單元未經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)而直接進行htol測試時，發(fā)現(xiàn)閃存htol可靠性驗證在48小時(hrs)讀點失效。在線HTOL測試機設(shè)計上海頂策科技有限公司提供芯片可靠性測試一條龍解決方案。
AEC-Q1001.對于非易失性存儲器樣品，在HTOL之前進行預(yù)處理：等級0：150℃，1000h等級1：125℃，1000h等級2：105℃，1000h等級3：85℃，1000h2.各等級溫度對應(yīng)的時間是比較低要求，通過計算或測量獲取HTOL的Tj（結(jié)溫）；3.當(dāng)進行HTOL的器件Tj大于或等于最高工作溫度時的Tj，那么Tj可以代替Ta（環(huán)境溫度），但是要低于***比較大Tj；4.如果Tj被用來作為HTOL的條件，在Ta和1000h條件下的器件需要使用；(max)需要保證交直流參數(shù)?！鏅?quán)聲明：本文為CSDN博主「月丶匈」的原創(chuàng)文章，遵循，轉(zhuǎn)載請附上原文出處鏈接及本聲明。原文鏈接：。
包括：將所述源極101和漏極102均懸空，在所述控制柵106上施加***擦除電壓vc1，在所述襯底100上施加第二擦除電壓vc2；其中，所述***擦除電壓vc1為負(fù)電壓，所述第二擦除電壓vc2為正電壓。所述***擦除電壓vc1的范圍為-10v～-8v，本實施例中例如為-9v；所述第二擦除電壓vc2的范圍為8v～10v，本實施例中例如為9v；擦除過程中的脈沖寬度為10ms～20ms。本實施例中，閃存參考單元的擦除原理是基于fowler-nordheim隧穿(簡稱為fn隧穿)，通過在襯底100上施加正電壓，在控制柵106上施加負(fù)電壓，以在隧穿氧化層103中注入空穴，同時減少浮柵104中的電子。上海頂策科技有限公司自主研發(fā)智能一體化HTOL測試機TH801實時監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度。
4.失效判據(jù)標(biāo)準(zhǔn)失效判據(jù)備注JESD22-A108F-2017如果器件不符合采購文件要求，則認(rèn)為失效。：1.四種標(biāo)準(zhǔn)的失效判據(jù)都根據(jù)相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。————————————————版權(quán)聲明：本文為CSDN博主「月丶匈」的原創(chuàng)文章，遵循，轉(zhuǎn)載請附上原文出處鏈接及本聲明。原文鏈接：。4.失效判據(jù)標(biāo)準(zhǔn)失效判據(jù)備注JESD22-A108F-2017如果器件不符合采購文件要求，則認(rèn)為失效。：1.四種標(biāo)準(zhǔn)的失效判據(jù)都根據(jù)相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行?！鏅?quán)聲明：本文為CSDN博主「月丶匈」的原創(chuàng)文章，遵循，轉(zhuǎn)載請附上原文出處鏈接及本聲明。原文鏈接：。 TH801智能老化系統(tǒng)，方便靈活配置芯片狀態(tài)、施加信號，提高HTOLdebug及Setup效率。HTOL測試機多少錢
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