那么IC在使用期的壽命測試中的HTOL是什么呢?使用期的壽命測試又包含高溫工作壽命(HTOL)和低溫工作壽命(LTOL),對于亞微米級尺寸的器件,熱載流子效應對于器件壽命有著***的影響,低溫工作時相對比較苛刻,所以像存儲器、處理器等納米級別工藝的產(chǎn)品通常需要進行低溫工作壽命測試。而對于。進行HTOL(HighTemperatureOperationLife)測試的目的就是為了確定長時間的電氣偏差和溫度對器件的影響,評估器件在超熱和超電壓情況下一段時間的耐久力,也就是在正常工作的壽命期間潛在的固有故障被加速,這樣就可以在相對比較短的時間內模擬出產(chǎn)品的正常使用壽命。HTOL是在產(chǎn)品放行和批量生產(chǎn)前進行評估,對應浴缸曲線曲線的UsefulLife期,通常是抽樣進行的。此外,HTOL還可以用于可靠性監(jiān)控以及對存在潛在缺陷的產(chǎn)品進行風險評估。 上海頂策科技有限公司智能一體化HTOL測試機TH801通過監(jiān)測數(shù)據(jù),可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,大幅提高效率。長寧區(qū)HTOL測試機品牌排行榜
閃存參考單元包括:襯底100,位于所述襯底中的導電溝道、位于所述導電溝道兩側的源極101和漏極102,位于導電溝道上方的柵極單元,所述柵極單元從下到上依次包括隧穿氧化層103、浮柵104、柵間介質層105以及控制柵106,所述柵極單元的兩側分布有側墻107。柵間介質層105例如可以為依次層疊的氧化硅層、氮化硅層和氧化硅層的多層結構,即為ono結構。具體的,閃存在其生產(chǎn)工藝過程中易在閃存參考單元的隧穿氧化層103中捕獲(引入)空**3為本發(fā)明實施例的對閃存參考單元進行編譯示意圖,如圖3所示,對所述閃存參考單元進行編譯,包括:在所述源極101上施加***編程電壓vb1,在所述漏極102上施加第二編程電壓vb2,在所述控制柵106上施加第三編程電壓vb3,在所述襯底100上施加第四編程電壓vb4;其中,所述***編程電壓vb1小于所述第二編程電壓vb2;所述第二編程電壓vb2小于所述第三編程電壓vb3。所述***編程電壓的范圍為~0v,所述第二編程電壓的范圍為~,所述第三編程電壓vb3的范圍為8v~10v,所述第四編程電壓vb4的范圍為~-1v,編譯過程中的脈沖寬度為100μs~150μs。編譯通過熱電子注入的方式對所述浮柵104中注入電子。靜安區(qū)HTOL測試機專賣店上海頂策科技有限公司可靠性測試服務,有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄,讓報告更有說服力,下游客戶更放心。
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HTOL的注意要點高溫工作壽命的測試條件主要遵循JESD22-A108進行,除了給器件合適的偏置與負載外,主要包括溫度應力和電壓應力,這兩者都屬于加速因子。合理設置溫度應力和電壓應力,以便在合理的時間和成本下完成壽命評估。對于硅基產(chǎn)品,溫度應力一般設置在結溫>=125℃,GaAs等其它耐高溫材料則可以設置更高的溫度,具體根據(jù)加速要求而定。但無論哪種材料,均需要結溫小于材料的極限工作溫度或者熱關斷(thermalshutdown)溫度。HTOL硬件的散熱設計有利于加速因子的提高,這樣可以節(jié)省試驗時間。電壓應力一般采用最高工作電壓進行,如果需要提高加速度,則可以采用更高的電壓進行試驗,但是無論電壓應力還是溫度應力都不允許器件處于過電應力的狀態(tài)。 長寧區(qū)HTOL測試機品牌排行榜
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