閃存HTOL測試方法與流程本發(fā)明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種閃存htol測試方法。背景技術：閃存(flashmemory)是一種非易失性的存儲器，其具有即使斷電存儲數(shù)據(jù)也不會丟失而能夠長期保存的特點。故近年來閃存的發(fā)展十分迅速，并且具有高集成度、高存儲速度和高可靠性的閃存存儲器被廣泛應用于包括電腦、手機、服務器等電子產(chǎn)品及設備中。在半導體技術領域中，htol(hightemperatureoperatinglifetest，高溫操作生命期試驗)用于評估半導體器件在超熱和超電壓情況下一段時間的耐久力。對于閃存的可靠性而言，在數(shù)萬次的循環(huán)之后的htol是一個主要指數(shù)。通常而言，閃存產(chǎn)品需要在10000次的循環(huán)之后，通過1000小時的htol測試。閃存htol實際測試中存在若干小時后閃存測試讀點(例如讀“0”)失效，亟需解決閃存htol測試中讀點失效的問題。上海頂策科技有限公司可靠性測試部，提供HTOL方案設計制作。一體化HTOL測試機排行榜
芯片HTOL測試需求，高質量、高效率、低成本HTOL測試方案，包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設備，以及測試方案制定，PCB設計制作，測試試驗，滿足各類芯片可靠性測試需求。上海頂策科技有限公司，自研TH801智能一體化HTOL測試機，實現(xiàn)實時單顆監(jiān)控技術，通過監(jiān)測數(shù)據(jù)，可以實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅提高HTOL效率。20年以上得豐富測試技術積累及運營經(jīng)驗，上海頂策科技有限公司自成立以來，已經(jīng)為超過500家半導體公司提供高質量，高效率，低成本，一條龍測試解決方案！江蘇HTOL測試機大概費用TH801智能老化系統(tǒng)，監(jiān)測數(shù)據(jù)異常自動報警，實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，可以整體降低30~50%的成本。
第二時間點讀點、第三時間點讀點至第n時間點讀點。在每個時間點讀點過程為：將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經(jīng)由讀出放大器進行比對判斷，若iref＜i，則閃存讀出“1”；若iref＞i，則閃存讀出“0”。具體的，在閃存(例如norflash)產(chǎn)品htol可靠性驗證的階段的測試流程例如依次為：初始(***時間點)讀點、48小時(第二時間點)讀點、168小時(第三時間點)讀點、500小時(第四時間點)讀點、1000小時(第n時間點)讀點。本發(fā)明實施例的閃存參考單元未經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)而直接進行htol測試時，發(fā)現(xiàn)閃存htol可靠性驗證在48小時(hrs)讀點失效。
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進一步的，對所述閃存參考單元進行編譯，包括：在所述源極上施加***編程電壓，在所述漏極上施加第二編程電壓，在所述控制柵上施加第三編程電壓，在所述襯底上施加第四編程電壓；其中，所述***編程電壓小于所述第二編程電壓；所述第二編程電壓小于所述第三編程電壓。進一步的，所述***編程電壓的范圍為～0v,所述第二編程電壓的范圍為～，所述第三編程電壓的范圍為8v～10v,所述第四編程電壓的范圍為～-1v。進一步的，編譯過程中的脈沖寬度為100μs～150μs。進一步的，對所述閃存參考單元進行擦除，包括：將所述源極和漏極均懸空，在所述控制柵上施加***擦除電壓，在所述襯底上施加第二擦除電壓；其中，所述***擦除電壓為負電壓，所述第二擦除電壓為正電壓。進一步的，所述***擦除電壓的范圍為-10v～-8v，所述第二擦除電壓的范圍為8v～10v。進一步的，擦除過程中的脈沖寬度為10ms～20ms。進一步的，對所述閃存參考單元進行編譯和擦除，循環(huán)次數(shù)為10次～20次。進一步的，對所述閃存進行htol測試包括：對所述閃存依次進行***時間點讀點、第二時間點讀點、第三時間點讀點至第n時間點讀點。
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3.試驗方法標準試驗方法備注JESD22-A108F-20171.應力持續(xù)時間應符合要求，在必要時進行測量；2.如果制造商提供了驗證數(shù)據(jù)，不需要在偏置下進行冷卻。中斷偏置1min，不應認為消除了偏置。1.測量所用時間不應納入器件試驗時間；2.偏置指電源對引腳施加的電壓。，一般在老化結束96h內進行；2.在消除偏置之前，器件在室溫下冷卻到穩(wěn)定狀態(tài)的10℃以內。如果應力消失，則試驗時間延長。GJB548B-2015方法：1.四種標準都保證了器件高溫工作時間的完整性。————————————————版權聲明：本文為CSDN博主「月丶匈」的原創(chuàng)文章，遵循，轉載請附上原文出處鏈接及本聲明。原文鏈接：。 一體化HTOL測試機排行榜
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