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發(fā)明人檢查失效的原因，發(fā)現(xiàn)讀點失效為讀“0”失效，并且進一步研究發(fā)現(xiàn)閃存參考單元的輸出電流iref在48小時的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間有偏移，具體偏移量經(jīng)測試統(tǒng)計在4μa以內(nèi)，而且iref1＜iref0，即48小時后iref往電流變小的方向偏移。閃存測試中，若iref＞i，則讀出“0”(即閃存讀“0”操作時，iref＞i)。閃存判斷讀“0”的具體操作過程為：將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經(jīng)由讀出放大器進行比對判斷。當(dāng)差值變?nèi)醯接勺x出放大器無法進行識別時，讀“0”失效。當(dāng)htol可靠性驗證經(jīng)過***時間點例如48小時后，由于閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移即iref變小，如此一來，閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值變小，超出讀出放大器識別范圍，于是讀“0”失效。測試發(fā)現(xiàn)經(jīng)48小時閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移后，進一步做htol測試，閃存參考單元的輸出電流iref在第三時間點例如168小時,第四時間點例如500小時,第五時間點例如1000小時測試均不會進一步偏移。嘉定區(qū)HTOL測試機上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng)，有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄，讓報告更有說服力，下游客戶更放心。
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導(dǎo)致偏移量發(fā)生的原因是在htol可靠性驗證過程中閃存參考單元會有空穴丟失，而丟失的空穴是在制作閃存的生產(chǎn)工藝過程中捕獲(引入)的，短期內(nèi)無法消除。而閃存產(chǎn)品從工程樣品(es，engineeringsample)到客戶樣品(cs，customersample)的時間不容延期。從測試端找出解決方案非常迫在眉睫。本發(fā)明實施例的閃存htol測試方法對所述閃存參考單元循環(huán)進行編譯和擦除，以在所述閃存參考單元中引入電子；對所述閃存進行htol測試，所述引入電子在所述htol測試過程中存在丟失，以對htol測試過程中所述空穴的丟失形成補償。TH801智能老化系統(tǒng)，實時監(jiān)測并記錄每顆芯片電壓，電流，頻率，寄存器狀態(tài)等數(shù)據(jù)。
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