發(fā)明人檢查失效的原因，發(fā)現(xiàn)讀點失效為讀“0”失效，并且進(jìn)一步研究發(fā)現(xiàn)閃存參考單元的輸出電流iref在48小時的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間有偏移，具體偏移量經(jīng)測試統(tǒng)計在4μa以內(nèi)，而且iref1＜iref0，即48小時后iref往電流變小的方向偏移。閃存測試中，若iref＞i，則讀出“0”(即閃存讀“0”操作時，iref＞i)。閃存判斷讀“0”的具體操作過程為：將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經(jīng)由讀出放大器進(jìn)行比對判斷。當(dāng)差值變?nèi)醯接勺x出放大器無法進(jìn)行識別時，讀“0”失效。當(dāng)htol可靠性驗證經(jīng)過***時間點例如48小時后，由于閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移即iref變小，如此一來，閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值變小，超出讀出放大器識別范圍，于是讀“0”失效。測試發(fā)現(xiàn)經(jīng)48小時閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移后，進(jìn)一步做htol測試，閃存參考單元的輸出電流iref在第三時間點例如168小時,第四時間點例如500小時,第五時間點例如1000小時測試均不會進(jìn)一步偏移。上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng)，通過監(jiān)測數(shù)據(jù)，可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,節(jié)省更多時間、FA成本。虹口區(qū)有哪些HTOL測試機(jī)
HTOL的注意要點高溫工作壽命的測試條件主要遵循JESD22-A108進(jìn)行，除了給器件合適的偏置與負(fù)載外，主要包括溫度應(yīng)力和電壓應(yīng)力，這兩者都屬于加速因子。合理設(shè)置溫度應(yīng)力和電壓應(yīng)力，以便在合理的時間和成本下完成壽命評估。對于硅基產(chǎn)品，溫度應(yīng)力一般設(shè)置在結(jié)溫>=125℃，GaAs等其它耐高溫材料則可以設(shè)置更高的溫度，具體根據(jù)加速要求而定。但無論哪種材料，均需要結(jié)溫小于材料的極限工作溫度或者熱關(guān)斷（thermalshutdown）溫度。HTOL硬件的散熱設(shè)計有利于加速因子的提高，這樣可以節(jié)省試驗時間。電壓應(yīng)力一般采用最高工作電壓進(jìn)行，如果需要提高加速度，則可以采用更高的電壓進(jìn)行試驗，但是無論電壓應(yīng)力還是溫度應(yīng)力都不允許器件處于過電應(yīng)力的狀態(tài)。 浦東新區(qū)HTOL測試機(jī)怎么樣上海頂策科技有限公司可靠性測試部，提供HTOL方案設(shè)計制作。
進(jìn)一步的，對所述閃存參考單元進(jìn)行編譯，包括：在所述源極上施加***編程電壓，在所述漏極上施加第二編程電壓，在所述控制柵上施加第三編程電壓，在所述襯底上施加第四編程電壓；其中，所述***編程電壓小于所述第二編程電壓；所述第二編程電壓小于所述第三編程電壓。進(jìn)一步的，所述***編程電壓的范圍為～0v,所述第二編程電壓的范圍為～，所述第三編程電壓的范圍為8v～10v,所述第四編程電壓的范圍為～-1v。進(jìn)一步的，編譯過程中的脈沖寬度為100μs～150μs。進(jìn)一步的，對所述閃存參考單元進(jìn)行擦除，包括：將所述源極和漏極均懸空，在所述控制柵上施加***擦除電壓，在所述襯底上施加第二擦除電壓；其中，所述***擦除電壓為負(fù)電壓，所述第二擦除電壓為正電壓。進(jìn)一步的，所述***擦除電壓的范圍為-10v～-8v，所述第二擦除電壓的范圍為8v～10v。進(jìn)一步的，擦除過程中的脈沖寬度為10ms～20ms。進(jìn)一步的，對所述閃存參考單元進(jìn)行編譯和擦除，循環(huán)次數(shù)為10次～20次。進(jìn)一步的，對所述閃存進(jìn)行htol測試包括：對所述閃存依次進(jìn)行***時間點讀點、第二時間點讀點、第三時間點讀點至第n時間點讀點。
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