光譜共焦位移傳感器原理，由光源、透鏡組、控制箱等組成。光源發(fā)出1束白光，透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光，然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)1個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品處于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí)，樣品表面將聚焦后的光反射回去。這些反射回來(lái)的光經(jīng)過(guò)與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過(guò)狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀。因此，只有焦點(diǎn)位置正好處于樣品表面的單色光才能聚焦在狹縫上。單色儀將該波長(zhǎng)的光分離出來(lái)，由控制箱中的光電組件識(shí)別并 得到樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測(cè)量要求。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。順義區(qū)光譜共焦產(chǎn)品基本性能要求
光譜共焦傳感器專為需要高精度的測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì)，通常是研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對(duì)高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測(cè)量外，這些傳感器還可用于測(cè)量深色、漫射材料，以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y(cè)量。傳感器還受益于較大的間隔距離（高達(dá) 100 毫米），從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性。此外，傳感器的傾斜角度已顯著增加，這在測(cè)量變化的表面特征時(shí)提供了更好的性能。山西光譜共焦定做光譜共焦技術(shù)可以在不破壞樣品的情況下進(jìn)行分析。
光譜共焦位移傳感器是一種基于光波長(zhǎng)偏移調(diào)制的非接觸式位移傳感器。它也是一種新型極高精密度、極高可靠性的光學(xué)位移傳感器，近些年對(duì)迅速、精確的非接觸式測(cè)量變得更加關(guān)鍵。光譜共焦位移傳感器不但可以精確測(cè)量偏移，還可用作圓直徑的精確測(cè)量，及其塑料薄膜的折光率和厚度的精確測(cè)量，在電子光學(xué)計(jì)量檢定、光化學(xué)反應(yīng)、生物醫(yī)學(xué)工程電子光學(xué)等領(lǐng)域具備大量應(yīng)用市場(chǎng)前景。光譜共焦位移傳感器的誕生歸功于共聚焦顯微鏡研究。它們工作中原理類似，都基于共焦原理。1955年，馬文·明斯基依據(jù)共焦原理研發(fā)出共焦光學(xué)顯微鏡。接著，Molesini等于1984年給出了光譜深層掃描儀原理，并將其用于表面輪廓儀。后來(lái)在1992年，Browne等人又把它運(yùn)用到共聚焦顯微鏡中，應(yīng)用特殊目鏡造成散射開(kāi)展高度測(cè)量，不用彩色掃描，提升了測(cè)量速度。a.Ruprecht等運(yùn)用透射分束制定了超色差鏡片，a.Miks探討了運(yùn)用與不一樣玻璃材質(zhì)連接的鏡片得到鏡頭焦距與波長(zhǎng)線性關(guān)系的辦法。除開(kāi)具有μm乃至納米技術(shù)屏幕分辨率以外，光譜共焦位移傳感器還具備對(duì)表層質(zhì)量要求低，容許更多的傾斜度和達(dá)到千HZ的輸出功率的優(yōu)勢(shì)。
隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，人們對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的要求越來(lái)越高，希望能夠生產(chǎn)出具有精度高、適應(yīng)性強(qiáng)、實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性的位移傳感器，光譜共焦位移傳感器的出現(xiàn)，使問(wèn)題得到了解決，它是一種非接觸式光電位移傳感器，測(cè)量精度可達(dá)亞微米級(jí)甚至于更高，對(duì)于雜光等干擾光線，傳感器并不敏感，具有較強(qiáng)的抵抗力，適應(yīng)性強(qiáng)，且其在體積方面具有小型化的特點(diǎn)，因此應(yīng)用前景十分大量。光學(xué)色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一，鏡頭組性能參數(shù)對(duì)位移傳感器的測(cè)量精度與分辨率起著決定性的作用。光譜共焦技術(shù)在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
隨著機(jī)械加工水平的不斷發(fā)展，各種的微小的復(fù)雜工件都需要進(jìn)行精密尺寸測(cè)量與輪廓測(cè)量，例如：小工件內(nèi)壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測(cè)量，對(duì)于某些精密光學(xué)元件可以進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量，避免在接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面，解決了傳統(tǒng)傳感器很難解決的測(cè)量難題。一些精密光學(xué)元件也需要進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量，以避免接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面。這些用傳統(tǒng)傳感器難以解決的測(cè)量難題，均可用光譜共焦傳感器搭建測(cè)量系統(tǒng)以解決。通過(guò)自行塔建的二維納米測(cè)量定位裝置，選用光譜其焦傳感器作為測(cè)頭，實(shí)現(xiàn)測(cè)量超精密零件的二維尺寸，滾針對(duì)渦輪盤輪廓度檢測(cè)的問(wèn)題，利用光譜共焦式位移傳感器使得渦輪盤輪廓度在線檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)能夠得以實(shí)現(xiàn)。與此同時(shí)，在進(jìn)行幾何量的整體測(cè)量過(guò)程中，還需要采取多種不同的方式對(duì)其結(jié)構(gòu)體系進(jìn)行優(yōu)化。從而讓幾何尺寸的測(cè)量更為準(zhǔn)確。光譜共焦技術(shù)可以解決以往傳感器和測(cè)量系統(tǒng)精度與視場(chǎng)不能兼容的問(wèn)題。山西光譜共焦定做
光譜共焦技術(shù)在電子制造領(lǐng)域可以用于電子元件的精度檢測(cè)和測(cè)量。順義區(qū)光譜共焦產(chǎn)品基本性能要求
由于光譜共焦傳感器對(duì)于不同的反射面反射回來(lái)的單色光的波長(zhǎng)不同，因此對(duì)于材料的厚度精密測(cè)量具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。光學(xué)玻璃、生物薄膜、平行平板等，兩個(gè)反射面都會(huì)反射不同波長(zhǎng)的單色光，進(jìn)而只需一個(gè)傳感器，即可推算出厚度，測(cè)量精度可達(dá)微米量級(jí)，且不損傷被測(cè)表面。利用光譜共焦位移傳感器測(cè)量透明材料厚度的應(yīng)用，計(jì)算了該系統(tǒng)的測(cè)量誤差范圍大概為 0.005mm。利用光譜共焦傳感器對(duì)平行平板的厚度以及光學(xué)鏡頭的中心厚度進(jìn)行測(cè)量的方法，并針對(duì)被測(cè)物體材料的色散對(duì)厚度測(cè)量精度的影響做了理論的分析。為了探究由流體跌落方式制備的薄膜厚度與跌落模式、雷諾數(shù)、底板的傾斜角度之間的關(guān)系，采用光譜共焦傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控制備后的薄膜厚度，利用對(duì)頂安裝的白光共焦傳感器組，實(shí)現(xiàn)了對(duì)厚度為 10—100μm 的金屬薄膜厚度及分布的精確測(cè)量，并進(jìn)行了測(cè)量不確定度分析，得到系統(tǒng)的測(cè)量不確定度為 0.12μm 左右。順義區(qū)光譜共焦產(chǎn)品基本性能要求