光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來的技術,在測量過程中無需軸向掃描,直接由波長對應軸向距離信息,因此可以大幅提高測量速度?;诠庾V共焦技術的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器,精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高,因此迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,大量應用于精密定位、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領域。本文介紹了光譜共焦技術的原理,并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用。同時,對共焦技術在未來精密測量的進一步應用進行了探討,并展望了其發(fā)展前景。光譜共焦技術可以解決以往傳感器和測量系統(tǒng)精度與視場不能兼容的問題。國產(chǎn)光譜共焦產(chǎn)品原理
具有1 mm縱向色差的超色差攝像鏡頭,擁有0.4436的圖象室內空間NA和0.991的線形相關系數(shù)R2。這個構造達到了原始設計要求,表現(xiàn)出了光學性能。在實現(xiàn)線性散射方面,有一些關鍵條件需要考慮,并且可以采用不同的優(yōu)化方法來完善設計。首先,線性散射的完成條件是確保攝像鏡頭的各光譜成分具有相同的焦點位置,以減少色差。為了滿足這一條件,需要采用精確的光學元件制造和裝配,以確保不同波長的光線匯聚在同一焦點上。此外,使用特殊的透鏡設計和涂層技術也可以減小縱向色差。在優(yōu)化設計方面,一類方法是采用非球面透鏡,以更好地校正色差,提高圖象質量。另一類方法包括使用折射率不同的材料組合,以控制光線的傳播和散射。此外,可以通過改進透鏡的曲率半徑、增加光圈葉片數(shù)量和設計更復雜的光學系統(tǒng)來進一步提高性能??偨Y而言,這項研究強調了高線性縱向色差和高圖象室內空間NA在超色差攝像鏡頭設計中的重要性。這個設計方案展示了光學工程的進步,表明光譜共焦位移傳感器的商品化生產(chǎn)制造將朝著高線性縱向色差、高圖象室內空間NA的趨勢發(fā)展,從而提供更精確和高性能的成像設備,滿足了不同領域的需求。高速光譜共焦詳情光譜共焦技術有著較大的應用前景。
光譜共焦傳感器結合了高精度和高速度的現(xiàn)代技術,在工業(yè) 4.0 的高要求下,這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須進行高速測量并提供高精度結果,以確??煽康馁|量保證。由于光學測量技術是非接觸式的,它們在生產(chǎn)和檢測過程中變得越來越重要,可以單獨應用于目標材料分開和表面特性。這是在“實時”生產(chǎn)過程中的一個主要優(yōu)勢,尤其是當目標位于難以接近的區(qū)域時,觸覺測量技術正在發(fā)揮其極限。共焦色差測量技術提供突破性的技術,高精度和高速度,并且可以用于距離測量、透明材料的多層厚度測量、強度評估以及鉆孔和凹槽內的測量。測量過程是無磨損的、非接觸式的,并且實際上與表面特性無關。由于測量光斑尺寸很小,即使是非常小的物體也能被檢測到。因此,共焦色度測量技術適用于在線質量控制。
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續(xù)的焦點組,每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回來的光再經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此,只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上,單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦技術可以對材料表面和內部進行非接觸式的檢測和分析。
隨著科技的不斷進步,手機已經(jīng)成為我們日常生活中不可或缺的一部分。然而,隨著手機功能的不斷擴展和提升,手機零部件的質量和精度要求也越來越高。為了滿足這一需求,高精度光譜共焦傳感器被引入到手機零部件檢測中,為手機制造業(yè)提供了一種全新的解決方案。高精度光譜共焦傳感器是一種先進的光學檢測設備,它能夠實現(xiàn)在微米級別的精確測量,同時具有高速、高分辨率和高靈敏度的特點。這使得它在手機零部件檢測方面具有獨特的優(yōu)勢。首先,高精度光譜共焦傳感器能夠實現(xiàn)對手機零部件表面缺陷的高精度檢測,包括微小的劃痕、凹陷和顆粒等。其次,它還能夠對手機零部件的材料成分進行準確分析,確保手機零部件的質量符合要求。另外,高精度光譜共焦傳感器還能夠實現(xiàn)對手機零部件的尺寸和形狀的精確測量,確保手機零部件的精度和穩(wěn)定性。在實際應用中,高精度光譜共焦傳感器在手機零部件檢測中的應用主要包括以下幾個方面。首先,它可以用于對手機屏幕玻璃表面缺陷的檢測,如微小的劃痕和瑕疵。其次,可以用于對手機電池的材料成分和內部結構進行分析,確保電池的性能和安全性。另外,它還可以用于對手機金屬外殼的表面進行檢測,確保外殼的光滑度和一致性。光譜共焦技術主要來自共焦顯微術,早期由美國學者Minsky提出。非接觸式光譜共焦位移計
光譜共焦技術在材料科學領域可以用于材料表面和內部的成像和分析。國產(chǎn)光譜共焦產(chǎn)品原理
三坐標測量機是加工現(xiàn)場常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測設備,其具有通用性強,精確可靠等優(yōu)點。本文面向一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度在線測量的方法,利用工業(yè)現(xiàn)場常用的三坐標測量機平臺執(zhí)行輪廓掃描,并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標,根據(jù)空間坐標關系,將測量掃描區(qū)域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓,經(jīng)高斯濾波處理得到測量對象的表面粗糙度信息。國產(chǎn)光譜共焦產(chǎn)品原理