原裝光譜共焦應(yīng)用案例

來源: 發(fā)布時間:2024-03-05

基于光譜共焦技術(shù)的手機(jī)曲面外殼輪廓測量,是一種利用光譜共焦技術(shù)對手機(jī)曲面外殼輪廓進(jìn)行非接觸式測量的方法。該技術(shù)主要通過在光譜共焦顯微鏡中利用激光在手機(jī)曲面外殼上聚焦產(chǎn)生的共聚焦點,實現(xiàn)對表面高度的快速、準(zhǔn)確測量。通過采集不同波長的反射光譜信息,結(jié)合光譜共焦技術(shù)提高空間分辨率,可以測量出手機(jī)曲面外殼上不同位置的高度值,得到完整的三維輪廓圖。相比傳統(tǒng)的機(jī)械測量和影像測量方法,基于光譜共焦技術(shù)的手機(jī)曲面外殼輪廓測量具有非接觸、快速、高精度、高分辨率和方便可靠等優(yōu)勢,可以適用于手機(jī)外殼、香水瓶等曲面形狀復(fù)雜的產(chǎn)品的測量和質(zhì)量控制。光譜共焦位移傳感器的測量精度和穩(wěn)定性受到光源、光譜儀和探測器等因素的影響。原裝光譜共焦應(yīng)用案例

物體的表面形貌可以通過測量距離來確定,光譜共焦傳感器可以用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對象包含不同類型的材料時,盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射率并變得可見。系統(tǒng)會創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像,只要檢測到信號強(qiáng)度的變化。除了距離測量外,還可以使用信號強(qiáng)度進(jìn)行測量,這可以實現(xiàn)對精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化。通過保持曝光時間不變,可以獲得有關(guān)表面評估的附加信息,而這在距離測量時是不可能的。智能光譜共焦找哪里光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)亞微米級別的位移和形變測量,具有高精度和高分辨率的特點。

因為共焦測量方法具有高精度的三維成像能力,所以它已被用于表面輪廓和三維結(jié)構(gòu)的精密測量。本文分析了白光共焦光譜的基本原理,建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測量校準(zhǔn)模型,并基于白光共焦光譜和精密旋轉(zhuǎn)軸系,開發(fā)了透明靶丸內(nèi)、外表面圓周輪廓的納米級精度測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密位置確定方法。使用白光共焦光譜測量靶丸殼層內(nèi)表面輪廓數(shù)據(jù)時,其測量精度受到多個因素的影響,如白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率和靶丸內(nèi)外表面輪廓的直接測量數(shù)據(jù)。

光譜共焦測量原理是使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。每個波長都有一定的偏差(特定距離)進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測量。通過共焦孔徑反射到目標(biāo)表面的光會被光譜儀檢測并處理。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用光譜共焦原理進(jìn)行測量。共焦測量提供納米級分辨率,并且?guī)缀跖c目標(biāo)材料分開運行。傳感器的測量范圍內(nèi)有一個非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁的表面,以及測量窄孔、小間隙和空腔。它通過對物體表面反射光的光譜分析,實現(xiàn)對物體表面位移變化的測量。

光譜共焦測量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準(zhǔn)確測量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見光聚焦點。當(dāng)待測物體放置在檢測范圍內(nèi)時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來,產(chǎn)生波峰信號。其他波長將失去對焦。使用干涉儀的校準(zhǔn)信息可以計算待測物體的位置,并創(chuàng)建對應(yīng)于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學(xué)信號的不同光譜成分,因此是傳感器的關(guān)鍵部件,其設(shè)計方案非常重要。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進(jìn)行精確測量,對于研究材料的性能具有重要意義;線陣光譜共焦常見問題

光譜共焦技術(shù)在醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用;原裝光譜共焦應(yīng)用案例

采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進(jìn)行了考核,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。結(jié)果得出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線中可以看出,在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),兩種方法的測量結(jié)果一致性較好,當(dāng)模數(shù)大于100時,白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù),這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級,同時,受環(huán)境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右。原裝光譜共焦應(yīng)用案例