光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示，由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭進行色散，將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息，使用光譜儀進行光譜分解得出波長的變化信息，再反解得出被測位移。其中色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長和位移的一一映射 ，實現(xiàn)了波長和位移之間的編碼轉(zhuǎn)化。光譜儀則實現(xiàn)波長的測量及位移反解輸出。當(dāng)光譜信息突破小孔的限制，借助平面光柵、凹面反射鏡進行光線的衍射和匯聚，將反射出來的匯聚光照射在線陣CCD上進行光電轉(zhuǎn)換，借助光譜信號采集實現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換，?通過解碼得到位移信息。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量，對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。國內(nèi)光譜共焦生產(chǎn)商
物體的表面形貌可以基于距離的確定來進行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對象包含不同類型的材料（例如塑料和金屬）時，盡管距離值保持不變，但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射度并變得可見。在檢測到信號強度的變化后，系統(tǒng)會創(chuàng)建目標(biāo)及其精細結(jié)構(gòu)的精確圖像。 除了距離測量之外，另一種選擇是使用信號強度進行測量，這可以實現(xiàn)精細結(jié)構(gòu)的可視化 。通過恒定的曝光時間，可以獲得關(guān)于表面評估的附加信息，而這靠距離測量是不可能的。高頻光譜共焦供應(yīng)商光譜共焦透鏡組設(shè)計和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一；
靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸關(guān)鍵參數(shù)之一，需要進行精密檢測。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系，分析了靶丸內(nèi)表面輪廓測量的基本原理，并建立了相應(yīng)的白光共焦光譜測量方法。同時，作者還搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測量實驗裝置，并利用靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法，實現(xiàn)了靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測量，獲得了準(zhǔn)確的靶丸內(nèi)表面輪廓曲線。作者在實驗中驗證了測量結(jié)果的可靠性，并進行了不確定度分析，結(jié)果表明，白光共焦光譜能夠?qū)崿F(xiàn)靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測量 。
光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進行測量，提供有關(guān)負載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù)。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量，并且只需要使用一個傳感器從工件的一側(cè)進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器，因采用同軸光，所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高，體積小，且?guī)в斜憬莸臄?shù)據(jù)接口，因此很容易集成到在線生產(chǎn)和檢測設(shè)備中 實現(xiàn)線上檢測 。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度，該傳感器可以對震動物體進行測量，同時采用無觸碰設(shè)計，避免了測量過程中對震動物體的干擾，也可以對復(fù)雜區(qū)域進行詳細的測量和分析 。光譜共焦位移傳感器可以用于結(jié)構(gòu)的振動、變形和位移等參數(shù)的測量。
光譜共焦位移傳感器是基于共焦原理采用復(fù)色光為光源的傳感器，其測扯精度能夠達到nm量級，可用于表面呈漫反射或鏡反射的物體的測匱。此外，光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量。由于其在測量位 移方面具有高精度的特性，對千單層和多層透明物體，除準(zhǔn)確測量該物體的位移之外，還可以單方向測量其厚度。本文將光譜共焦位移傳感器應(yīng)用于位移測量中，通過實驗驗證光譜共焦測量系統(tǒng)能夠滿足高精度的位移測蜇要求 ，對今后將整個 小型化、產(chǎn)品化有著重要的意義。線性色散設(shè)計的光譜共焦測量技術(shù)是一種新型的測量方法。高頻光譜共焦定做
光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能。國內(nèi)光譜共焦生產(chǎn)商
基于光譜共焦技術(shù)的手機曲面外殼輪廓測量，是一種利用光譜共焦技術(shù)對手機曲面外殼輪廓進行非接觸式測量的方法。該技術(shù)主要通過在光譜共焦顯微鏡中利用激光在手機曲面外殼上聚焦產(chǎn)生的共聚焦點，實現(xiàn)對表面高度的快速、準(zhǔn)確測量 。通過采集不同波長的反射光譜信息，結(jié)合光譜共焦技術(shù)提高空間分辨率，可以測量出手機曲面外殼上不同位置的高度值，得到完整的三維輪廓圖。相比傳統(tǒng)的機械測量和影像測量方法，基于光譜共焦技術(shù)的手機曲面外殼輪廓測量具有非接觸、快速、高精度、高分辨率和方便可靠等優(yōu)勢，可以適用于手機外殼、香水瓶等曲面形狀復(fù)雜的產(chǎn)品的測量和質(zhì)量控制。國內(nèi)光譜共焦生產(chǎn)商