本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變窄，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變長(zhǎng)(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變寬，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄)，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測(cè)量的準(zhǔn)確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個(gè)感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形，將矩形長(zhǎng)邊或直線的延伸方向上的MTF降低，也不會(huì)影響測(cè)量精度；不僅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬，所以光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對(duì)使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來(lái)的不良影響；此外，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無(wú)需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度，節(jié)省制造和維護(hù)成本；激光位移傳感器可精確非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化。楊浦區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢(shì)
所述微調(diào)裝置2包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21、一電子測(cè)量?jī)x22以及一微調(diào)平臺(tái)23；所述微調(diào)平臺(tái)23設(shè)于所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11上端的尾部，所述微調(diào)平臺(tái)23的末端向上設(shè)有一延伸部231；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21設(shè)于所述微調(diào)平臺(tái)23的前端；所述電子測(cè)量?jī)x22的一端抵接于所述延伸部231，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21。所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調(diào)節(jié)把手212；所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接，另一端與所述電子測(cè)量?jī)x22抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手212與所述蝸輪固接；當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212時(shí)通過(guò)所述蝸輪聯(lián)動(dòng)所述橫向蝸桿211進(jìn)行橫向位移。徐匯區(qū)激光位移傳感器制作廠家它還可以用于測(cè)量材料的膨脹和收縮，以研究其熱學(xué)性質(zhì)。
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動(dòng)化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測(cè)技術(shù)在自動(dòng)檢測(cè)、機(jī)器人視覺(jué)、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測(cè)技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測(cè)技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)來(lái)檢測(cè)對(duì)象物平面平整度。位移傳感器用來(lái)測(cè)量目標(biāo)物體的距離，按與對(duì)象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動(dòng)電壓等形式的接觸式與使用磁場(chǎng)、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn)，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對(duì)任何對(duì)象物進(jìn)行高精密度的位移測(cè)定，例如可以對(duì)微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測(cè)定，還可以測(cè)量電路板上的焊錫以及測(cè)定透明體的表面和厚度。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動(dòng)平移臺(tái)。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)，對(duì)拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測(cè)。
非接觸式激光平面檢測(cè)采用的是集光、機(jī)電一體化的測(cè)量設(shè)備系統(tǒng)，系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測(cè)量的新型位移檢測(cè)裝置，具有分辨率高，線性度高和穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)對(duì)象物的高精度、高可靠性的測(cè)量。本文中定性檢測(cè)試驗(yàn)較好地反映出對(duì)象物平面實(shí)際起伏情況，定量檢測(cè)試驗(yàn)結(jié)果達(dá)到了儀器的理論精度為6μm范圍內(nèi)的要求。該系統(tǒng)能滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)和科學(xué)研究的需要，具有廣闊的應(yīng)用前景。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)激光位移傳感器可以用于測(cè)量機(jī)械零件的尺寸和形狀。
在一個(gè)實(shí)施例中，激光位移傳感器通過(guò)調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離，在空間頻率為62.5lp/mm處，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在S方向的MTF值，MTFT為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在T方向的MTF值，曲線1為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒(méi)有偏離的MTFT值，曲線2為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒(méi)有偏移的MTFS值；曲線3為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFT值；曲線4為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFS值；曲線5為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFT值；曲線6為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFS值(其中，在弧矢方向內(nèi)，向光軸以里偏離為正，向光軸以外偏離為負(fù))。在一具體實(shí)施例中，在空間頻率為62.5lp/mm處，量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。類似地，在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下，同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。激光位移傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例。蕪湖激光位移傳感器定做價(jià)格
光譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的表面形貌測(cè)量。楊浦區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢(shì)
根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS≥0.5，MTFT<0.05；如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFT≥0.5，MTFS<0.05。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進(jìn)一步包括：反光元件，所述反光元件設(shè)置在所述成像物鏡的出射光路上，所述成像物鏡的出射光經(jīng)所述反光元件反射后，入射到所述感光元件。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進(jìn)一步包括：帶通濾光片，設(shè)置于所述成像物鏡的入射光路上。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進(jìn)一步包括：聚焦透鏡，設(shè)置于所述激光器的出射光路上。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的激光位移傳感器，其特征在于，所述感光元件為線陣感光元件，所述線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿直線排列，該直線的延伸方向?yàn)樗龆鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。楊浦區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢(shì)