本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變窄，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變寬，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄)，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測量的準(zhǔn)確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形，將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低，也不會影響測量精度；不僅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬，所以光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響；此外，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設(shè)計難度，節(jié)省制造和維護成本；激光位移傳感器可精確非接觸測量被測物體的位置、位移等變化。楊浦區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢
所述微調(diào)裝置2包括一蝸輪蝸桿機構(gòu)21、一電子測量儀22以及一微調(diào)平臺23；所述微調(diào)平臺23設(shè)于所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11上端的尾部，所述微調(diào)平臺23的末端向上設(shè)有一延伸部231；所述蝸輪蝸桿機構(gòu)21設(shè)于所述微調(diào)平臺23的前端；所述電子測量儀22的一端抵接于所述延伸部231，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機構(gòu)21。所述蝸輪蝸桿機構(gòu)21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調(diào)節(jié)把手212；所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接，另一端與所述電子測量儀22抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手212與所述蝸輪固接；當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212時通過所述蝸輪聯(lián)動所述橫向蝸桿211進行橫向位移。徐匯區(qū)激光位移傳感器制作廠家它還可以用于測量材料的膨脹和收縮，以研究其熱學(xué)性質(zhì)。
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動化及易于與計算機相結(jié)合等特點的激光位移檢測技術(shù)在自動檢測、機器人視覺、計算機輔助設(shè)計與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標(biāo)物體的距離，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對任何對象物進行高精密度的位移測定，例如可以對微細工件、粗面工件的高度進行測定，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺運動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠鏡終端的拼接CCD相機為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)，對拼接CCD相機平面平整度進行檢測。
非接觸式激光平面檢測采用的是集光、機電一體化的測量設(shè)備系統(tǒng)，系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測量的新型位移檢測裝置，具有分辨率高，線性度高和穩(wěn)定性好等特點，可實現(xiàn)對對象物的高精度、高可靠性的測量。本文中定性檢測試驗較好地反映出對象物平面實際起伏情況，定量檢測試驗結(jié)果達到了儀器的理論精度為6μm范圍內(nèi)的要求。該系統(tǒng)能滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)和科學(xué)研究的需要，具有廣闊的應(yīng)用前景。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)激光位移傳感器可以用于測量機械零件的尺寸和形狀。
在一個實施例中，激光位移傳感器通過調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離，在空間頻率為62.5lp/mm處，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS為量程內(nèi)被測點在S方向的MTF值，MTFT為量程內(nèi)被測點在T方向的MTF值，曲線1為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏離的MTFT值，曲線2為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏移的MTFS值；曲線3為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值；曲線4為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值；曲線5為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值；曲線6為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值(其中，在弧矢方向內(nèi)，向光軸以里偏離為正，向光軸以外偏離為負)。在一具體實施例中，在空間頻率為62.5lp/mm處，量程內(nèi)被測點的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。類似地，在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下，同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。激光位移傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例。蕪湖激光位移傳感器定做價格
光譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測量儀器，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的表面形貌測量。楊浦區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢
根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進行解析時，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS≥0.5，MTFT<0.05；如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFT≥0.5，MTFS<0.05。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進一步包括：反光元件，所述反光元件設(shè)置在所述成像物鏡的出射光路上，所述成像物鏡的出射光經(jīng)所述反光元件反射后，入射到所述感光元件。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進一步包括：帶通濾光片，設(shè)置于所述成像物鏡的入射光路上。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進一步包括：聚焦透鏡，設(shè)置于所述激光器的出射光路上。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的激光位移傳感器，其特征在于，所述感光元件為線陣感光元件，所述線陣感光元件的多個感光單元沿直線排列，該直線的延伸方向為所述多個感光單元的主要排列方向。楊浦區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢