長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-06-05

激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理,通過(guò)將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測(cè)物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,激光位移傳感器已成為非接觸測(cè)量領(lǐng)域的重要手段,并可以通過(guò)與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)處理,為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測(cè)量速度快、精度高、測(cè)量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測(cè)量特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于微位移測(cè)量領(lǐng)域。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測(cè)設(shè)備中,國(guó)內(nèi)所使用的激光非接觸測(cè)量?jī)x器幾乎主要依靠國(guó)外進(jìn)口。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測(cè)試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高

長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高,光譜共焦位移傳感器

當(dāng)光線射到半透半反膜上時(shí),一部分光線進(jìn)行透射到下三棱鏡上,一部分光線進(jìn)行反射,反射到背向所述反光鏡的一面,在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進(jìn)行涂黑處理從而成為啞光面,當(dāng)光被半透半反光學(xué)鏡反射到啞光面上時(shí),被啞光面吸收,因此可以減少整個(gè)系統(tǒng)的雜散光,提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小,因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小,因此可認(rèn)為,多色光從下三棱鏡射出時(shí),基本不發(fā)生位置偏移,從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合。這樣實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長(zhǎng)共光軸,而且不發(fā)生光軸偏移,有利于后續(xù)對(duì)多色光進(jìn)行色散和聚焦。閔行區(qū)認(rèn)可光譜共焦位移傳感器傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進(jìn)行測(cè)量。

長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高,光譜共焦位移傳感器

分光器包括線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)系統(tǒng)包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學(xué)系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過(guò)所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測(cè)量光束中的各個(gè)測(cè)量光束。 所述位置計(jì)算部基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進(jìn)行測(cè)量的多個(gè)光學(xué)頭。從光學(xué)頭各自射出的測(cè)量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域的各受光位置來(lái)計(jì)算多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量

將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個(gè)白色LED 向光纖和射出白色光W。應(yīng)當(dāng)注意,可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個(gè)光纖射出的光學(xué)系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導(dǎo)入的白色光W導(dǎo)出至與No.1光學(xué)頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導(dǎo)入的測(cè)量光進(jìn)行分支,并且將其導(dǎo)出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學(xué)頭射出的測(cè)量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。它可以測(cè)量物體微小的位移,精度高達(dá)亞微米級(jí)別。

長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高,光譜共焦位移傳感器

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面,接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測(cè)物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同,激光傳感器可分為點(diǎn)、線兩種。點(diǎn)激光位移傳感器在一個(gè)采樣周期內(nèi)只能獲得被測(cè)量的一維信息,使用時(shí)通常依托于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備,通過(guò)設(shè)備機(jī)械運(yùn)動(dòng)及傳感器同步掃描來(lái)獲取被測(cè)物體三維信息。因此,激光位移傳感器在精密測(cè)量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。。。它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量,對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。金華光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家

它可以測(cè)量物體的微小位移,精度可以達(dá)到亞微米級(jí)別。長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高

根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光入射口被設(shè)置成從所述多個(gè)光入射口入射的所述多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對(duì)應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高