機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣,通過光線轉向鏡組使光線實現掉頭轉向,從而充分利用上下空間,使原有的水平光路變換為上下光路,使光譜儀的長度變短,有利于光譜儀小型化和便攜化。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,能夠達到亞微米級的高精度。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家
多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。因此,可以容易地設計分光器。分光器可以包括設置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設置在包括線方向和預定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設計分光器。在針對多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,多個受光區(qū)域可以與分別對應于多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應,其中,該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。南通小型光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優(yōu)點。
光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件,提示組件包括有:發(fā)光件,發(fā)光件設置在光源耦合器中;導光光纖,所述導光光纖的一端連接在光源耦合器中,且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上,所述導光光纖用于傳導發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進一步,入射光纖,接收光纖,導光光纖外表面套設有保護套,所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。采用上述方案的有益效果是:本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過光源耦合器產生多色光源,多色光源在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內,通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產生對應關系;
本實施例中在探頭殼體的內壁上一體成型設置有鏡座,反光鏡粘接固定設置在所述鏡座上,所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設置。通過鏡座對反光鏡形成穩(wěn)定支撐,使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°,便于對光線進行反射,使被測物體反射的光線經半透半反光學鏡后轉折90°,到達反光鏡,反光鏡對其轉折90°,使光線順利進入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組,準直鏡組固定設置在靠近多色光光源的一側,用于多色光的準直;色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側,用于將多色光分別色散和聚焦,使不同波長的光的焦點沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學鏡射出的光線到達色散鏡頭,先通過準直鏡組對多色光進行準直,使出射光線變成為軸向平行光,軸向平行光到達色散聚焦鏡組,從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度,各焦點高度按照波長的順序,沿軸向依次排列。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。
通過配置線傳感器和光學系統等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點測量。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭。利用本技術,可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點的同時測量。根據本發(fā)明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學頭中的各光學頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光。使從多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束。基于線傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。根據本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點測量。應當注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。本地光譜共焦位移傳感器制造公司
光譜共焦技術消除了光學像差和色差的影響,提高了測量精度。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家
發(fā)光件和導光光纖的入光端之間,固定設置有濾光片,濾光片固定設置在發(fā)光件和導光光纖之間,濾光片用于過濾紅外線,以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔,連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部,且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接;這樣,通過沉孔的設置,在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓,避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖,從而影響影響導光光纖,或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家