北京本地光譜共焦位移傳感器

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面，探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光源的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測(cè)物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。光譜儀包括有機(jī)殼，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對(duì)反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量。北京本地光譜共焦位移傳感器

易于想到的是，發(fā)光件還可設(shè)置為發(fā)射多色光，如當(dāng)被測(cè)物體放置在efficient測(cè)量區(qū)域但不是best位置時(shí)，發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設(shè)置有導(dǎo)光光纖，導(dǎo)光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中，preference的連接方式為導(dǎo)光光纖的入光端正對(duì)發(fā)光件的發(fā)光面，探頭殼體上開設(shè)有插槽，導(dǎo)光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，導(dǎo)光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導(dǎo)到探頭殼體的側(cè)壁，從而實(shí)現(xiàn)提示光從探頭殼體的側(cè)壁上發(fā)出，當(dāng)手握探頭殼體進(jìn)行位置測(cè)量時(shí)，方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光，通過指示光的不同顏色，從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài)。湖州認(rèn)可光譜共焦位移傳感器該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。

機(jī)殼設(shè)置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，感光元件位于機(jī)殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉(zhuǎn)向鏡組使光線實(shí)現(xiàn)掉頭轉(zhuǎn)向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長(zhǎng)度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。

被測(cè)物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)光譜共焦測(cè)量位移的過程，通過光譜共焦工作原理，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測(cè)試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。

本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接，探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體，用于對(duì)探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù)，易于想到的是，探頭殼體可設(shè)置為方形，多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方；半透半反光學(xué)鏡對(duì)通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實(shí)現(xiàn)一半透射而一半反射，而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測(cè)物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上，半透半反光學(xué)鏡對(duì)反射光進(jìn)行一半透射，一半反射；光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。常州光譜共焦位移傳感器設(shè)備生產(chǎn)

該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、半導(dǎo)體制造和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性。北京本地光譜共焦位移傳感器

進(jìn)一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，反光鏡用于反射半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進(jìn)一步，半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。北京本地光譜共焦位移傳感器