根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移,能夠達到亞微米級的高精度。通信光譜共焦位移傳感器定做
本實用新型涉及光電精密測量領(lǐng)域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,對產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進行高效率、高精度的檢測,將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術(shù)手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學(xué)式為主)兩類。非接觸式光學(xué)測量具有如下優(yōu)點:無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。通信光譜共焦位移傳感器定做光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。
將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個白色LED 向光纖和射出白色光W。應(yīng)當(dāng)注意,可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個光纖射出的光學(xué)系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導(dǎo)入的白色光W導(dǎo)出至與No.1光學(xué)頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導(dǎo)入的測量光進行分支,并且將其導(dǎo)出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學(xué)頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。
光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。 光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。它可以實現(xiàn)對材料的微觀結(jié)構(gòu)進行高精度測量,對于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。
激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理,通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段,并可以通過與計算機及應(yīng)用軟件配合實現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實時處理,為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點,廣泛應(yīng)用于微位移測量領(lǐng)域。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測設(shè)備中,國內(nèi)所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。天津銷售光譜共焦位移傳感器
該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。通信光譜共焦位移傳感器定做
本實用新型提供一種光譜共焦位移傳感器,包括光源耦合器,入射光纖,光譜共焦位移傳感探頭,接收光纖,光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。1.一種光譜共焦位移傳感器,其特征在于,包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光;入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光;光譜共焦位移傳感探頭,所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端,所述光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導(dǎo)的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,并對被測物體的反射光進行傳導(dǎo);通信光譜共焦位移傳感器定做