光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來測量待測物體上的兩個(gè)測量點(diǎn)的位置。換句話說,可以同時(shí)對作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測量對象的兩個(gè)測量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測量的情況,并且可以同時(shí)測量兩個(gè)不同的待測物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點(diǎn)和的位置相對應(yīng)的波長光。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。溫州光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦
本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接，探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體，用于對探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù)，易于想到的是，探頭殼體可設(shè)置為方形，多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方；半透半反光學(xué)鏡對通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實(shí)現(xiàn)一半透射而一半反射，而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上，半透半反光學(xué)鏡對反射光進(jìn)行一半透射，一半反射；通信光譜共焦位移傳感器推薦廠家光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。
接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光；光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接；半透半反光學(xué)鏡，所述半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，所述反光鏡固定設(shè)置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。
根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口被設(shè)置成從所述多個(gè)光入射口入射的所述多個(gè)測量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測量。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀包括有機(jī)殼，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組，所述準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響，提高測量精度。湖州光譜共焦位移傳感器量大從優(yōu)
光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實(shí)現(xiàn)測量。溫州光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦
如圖1至圖3所示,為本實(shí)用新型光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖2、光譜共焦透鏡組3、共焦小孔6和光譜儀5組成,鹵素?zé)艄庠?連接Y型光纖2,鹵素?zé)艄庠?的光譜波段范圍為360nm~2500nm,光譜儀5通過共焦小孔6連接Y型光纖2-端,型光纖2另一端連接光譜共焦透鏡組3,光譜共焦透鏡組3包括盒蓋、盒體7、兩個(gè)雙凸球面鏡9、套筒12和一個(gè)彎月透鏡11,盒體7內(nèi)設(shè)置有光路通道8、限位槽13和透光孔10,光路通道8位于限位槽13和透光孔10之間,光路通道8上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的一號(hào)卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡9分別限位在兩個(gè)一號(hào)卡槽內(nèi),兩個(gè)雙凸球面鏡9的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設(shè)置,兩個(gè)雙凸球面鏡9之間的間距為2.5~5.5mm,彎月透鏡11限位在第二卡槽內(nèi),位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm,Y型光纖2通過SMA905插頭4與盒體7相連,套簡12限位在限位槽13內(nèi),且與限位槽13相匹配,套筒12上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔。溫州光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦