被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關(guān)系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關(guān)系后進行分析,通過光譜波峰反推出被測物體的位移,實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程;因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。光譜共焦技術(shù)可以消除光學像差和色差的影響,提高測量精度。新品光譜共焦位移傳感器定做價格
根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口被設置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變得與所述預定基準軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口設置在相對于所述預定基準軸相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口設置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。品牌光譜共焦位移傳感器零售價格光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測,對于研究材料的力學行為具有重要意義。
光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件,提示組件包括有:發(fā)光件,發(fā)光件設置在光源耦合器中;導光光纖,所述導光光纖的一端連接在光源耦合器中,且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導光光纖用于傳導發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進一步,入射光纖,接收光纖,導光光纖外表面套設有保護套,所述保護套一端固定設置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是:本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源,多色光源在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應關(guān)系;
機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組,光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣,通過光線轉(zhuǎn)向鏡組使光線實現(xiàn)掉頭轉(zhuǎn)向,從而充分利用上下空間,使原有的水平光路變換為上下光路,使光譜儀的長度變短,有利于光譜儀小型化和便攜化。該傳感器可被應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。
被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關(guān)系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關(guān)系后進行分析,通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程,通過光譜共焦工作原理,避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度和抗振動等優(yōu)點。浦東新區(qū)防護光譜共焦位移傳感器
光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實現(xiàn)測量。新品光譜共焦位移傳感器定做價格
本實用新型目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術(shù)方案,采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。為了解決上述技術(shù)問題,本實用新型采用如下技術(shù)方案:光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個number one卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連。新品光譜共焦位移傳感器定做價格