加工-測(cè)量-再加工-再測(cè)量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測(cè)不僅包括非球面表面形狀的檢測(cè)，還包括非球面中心偏差的測(cè)量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內(nèi)小于1μm。受現(xiàn)有冷加工工藝、車床運(yùn)動(dòng)誤差、磨削力變形及檢測(cè)誤差的限制，加工的非球面光學(xué)元件會(huì)產(chǎn)生一些質(zhì)量缺陷，無(wú)法保證跨尺度的產(chǎn)品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數(shù)滿足設(shè)計(jì)精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測(cè)信息進(jìn)行多誤差校正和補(bǔ)償加工。激光位移傳感器在市政檢測(cè)行業(yè)的應(yīng)用案例。無(wú)錫激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格
所述可伸縮導(dǎo)軌1包括一電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11、一No.1支撐件15、一第二支撐件16、一滑動(dòng)輪12、一伸縮制動(dòng)開關(guān)13以及一控制面板14；所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11包括一伺服電機(jī)(未圖示)、一雙直線導(dǎo)軌111以及一絲桿(未圖示)，所述絲桿設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111內(nèi)部，所述絲桿與所述雙直線導(dǎo)軌111動(dòng)聯(lián)接，所述伺服電機(jī)設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111的末端且與所述絲桿連接，所述伺服電機(jī)通過所述絲桿聯(lián)動(dòng)所述雙直線導(dǎo)軌111進(jìn)行伸縮；所述No.1支撐件15安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11固定端的底部，所述第二支撐件16安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11可伸縮端的底部；所述滑動(dòng)輪12設(shè)于所述第二支撐件16的底部，所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11可通過所述滑動(dòng)輪12進(jìn)行伸縮；所述伸縮制動(dòng)開關(guān)13設(shè)于所述第二支撐件16的側(cè)面，用于伸縮制動(dòng)的開啟與關(guān)閉；所述控制面板14與所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11電連接，所述控制面板14用于控制所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11的伸縮距離。虹口區(qū)激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格這種傳感器還可以用于測(cè)量建筑物的結(jié)構(gòu)變形，以確保其安全性。
在采用方式2的情況下，可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃)，配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時(shí)，可以在微米量級(jí)進(jìn)行調(diào)整。每次調(diào)整后，可以進(jìn)行MTF解析，在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時(shí)，停止調(diào)節(jié)。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件，則繼續(xù)進(jìn)行調(diào)整。此外，在圖1所示的實(shí)施例中，反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間，從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率，減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下，反光元件8可省略。在測(cè)量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來(lái)濾除或降低雜散光對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的影響。
本發(fā)明公開了一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件，在對(duì)成像物鏡和感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。本發(fā)明能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度，節(jié)省制造和維護(hù)成本，另外還有助于提高測(cè)量的準(zhǔn)確度，能夠更好地應(yīng)對(duì)使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來(lái)的不良影響。激光位移傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例。
值得一提的是，針對(duì)成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)，拉高S方向的MTF值，降低T方向MTF值的實(shí)現(xiàn)方式可以包含以下兩種：(方式1)成像物鏡6自身的S方向MTF值高，而T方向的MTF值低；(方式2)在成像物鏡6的T和S方向的MTF值接近時(shí)，在成像物鏡前或后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(例如，可以是平板玻璃等)，配合微調(diào)成像物鏡6與感光元件7之間的相對(duì)距離即像距，以達(dá)到S方向MTF值高，而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平y(tǒng)h高精度激光位移傳感器還可以用于科學(xué)研究和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。珠海激光位移傳感器24小時(shí)服務(wù)
激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中的應(yīng)用案例。無(wú)錫激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格
在激光位移傳感器中，激光束通過調(diào)整音叉透過高速上下移動(dòng)的物鏡，在受測(cè)對(duì)象物上聚集為一焦點(diǎn)，同時(shí)反射光也會(huì)在小孔位置合集為一點(diǎn)，并使受光元件受光，通過測(cè)定物鏡的具體的位置，從而準(zhǔn)確地測(cè)定目標(biāo)物離參考位置的距離，并不受材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響。圖4為感測(cè)頭的焦點(diǎn)分別為對(duì)準(zhǔn)和沒有對(duì)準(zhǔn)對(duì)象物時(shí)的情況。上位機(jī)與激光位移傳感器中的控制器之間通過RS 232串行口進(jìn)行通信，串口信號(hào)格式為：COMl口、波特率9 600、無(wú)奇偶校驗(yàn)、8位數(shù)據(jù)位、1位停止位，也可以通過手柄控制激光位移傳感器中的控制器采集數(shù)據(jù)。無(wú)錫激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格