隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動化及易于與計算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測技術(shù)在自動檢測、機(jī)器人視覺、計算機(jī)輔助設(shè)計與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標(biāo)物體的距離，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn)，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對任何對象物進(jìn)行高精密度的位移測定，例如可以對微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測定，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)，對拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測。它具有高精度、高靈敏度和快速響應(yīng)的特點(diǎn)，適用于各種應(yīng)用領(lǐng)域。安徽激光位移傳感器量大從優(yōu)
圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下，被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-2.1mm，IMA：1.627，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：0.0000，0.0000mm為物點(diǎn)在弧矢方向無偏離，在子午方向無偏離，IMA：-0.243，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-0.243mm。圖3c是被測物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：2.1000，0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無偏離，虹口區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢高精度激光位移傳感器可以用于測量材料的壓縮和伸展性能。
在一個實施例中，激光位移傳感器通過調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離，在空間頻率為62.5lp/mm處，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS為量程內(nèi)被測點(diǎn)在S方向的MTF值，MTFT為量程內(nèi)被測點(diǎn)在T方向的MTF值，曲線1為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒有偏離的MTFT值，曲線2為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒有偏移的MTFS值；曲線3為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值；曲線4為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值；曲線5為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值；曲線6為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值(其中，在弧矢方向內(nèi)，向光軸以里偏離為正，向光軸以外偏離為負(fù))。在一具體實施例中，在空間頻率為62.5lp/mm處，量程內(nèi)被測點(diǎn)的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。類似地，在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下，同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。
公開號為CN1 05138193A的中國發(fā)明專利申請公開一種用于光學(xué)觸摸屏的攝像模組及其鏡頭，具體而言，該專利申請采用拉高成像物鏡T方向的MTF值、壓低S方向的調(diào)質(zhì)傳遞函數(shù)(MTF)值，來提高光學(xué)觸摸屏裝置的靈敏性能。因此，該patent對于如何提高光學(xué)觸摸屏的靈敏性能，提出了解決方案。但是，激光位移傳感器不同于光學(xué)觸摸屏，隨著激光位移傳感器的使用，很可能會因為振動、機(jī)械變形等原因，使得激光器發(fā)出的光斑無法正確投向傳感器，進(jìn)而導(dǎo)致無法進(jìn)行準(zhǔn)確檢測、甚至完全無法進(jìn)行測量的問題。而對于激光位移傳感器所面臨的設(shè)計難度高、易受振動和機(jī)械變形影響的問題，上述patent無能為力。[0007]針對上述問題，目前尚未提出有效的解決方案。相比于傳統(tǒng)的接觸式傳感器，激光位移傳感器不會對被測物體造成任何損傷或干擾，適用于對敏感物體進(jìn)行測量。
從理論分析和實際狀況來看，不管是哪種被測的道路表面，也無論其材料、顏色、反射率、表面粗糙度等是否均勻，它對檢測結(jié)果造成的影響主要表現(xiàn)在:表面激光散射點(diǎn)經(jīng)過光學(xué)成像鏡頭成像后，其像點(diǎn)的大小、形狀、光強(qiáng)嚴(yán)格來講是隨機(jī)變化的，成像的光斑并不均勻?qū)ΨQ。在激光位移傳感器中，像面上像點(diǎn)光斑的不對稱分布是影響激光位移傳感器精度的主要因素。此外，影響傳統(tǒng)類型激光位移傳感器檢測精度的另一個重要因素是該傳感器中的光電接收芯片的光電特性。當(dāng)激光位移傳感器的接收芯片采用CCD(光電耦合器件)芯片時，由于常用的CCD芯片在光照很強(qiáng)時，會產(chǎn)生飽和拖尾現(xiàn)象，并由此直接造成像點(diǎn)光斑的極大不對稱，這對檢測結(jié)果會產(chǎn)生極大影響，嚴(yán)重降低檢測精度。高精度激光位移傳感器采用激光技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)非常精確的位移測量。江西激光位移傳感器規(guī)格尺寸齊全
它具有較長的使用壽命，能夠長時間穩(wěn)定地運(yùn)行。安徽激光位移傳感器量大從優(yōu)
所述微調(diào)裝置2包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21、一電子測量儀22以及一微調(diào)平臺23；所述微調(diào)平臺23設(shè)于所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11上端的尾部，所述微調(diào)平臺23的末端向上設(shè)有一延伸部231；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21設(shè)于所述微調(diào)平臺23的前端；所述電子測量儀22的一端抵接于所述延伸部231，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21。所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調(diào)節(jié)把手212；所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接，另一端與所述電子測量儀22抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手212與所述蝸輪固接；當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212時通過所述蝸輪聯(lián)動所述橫向蝸桿211進(jìn)行橫向位移。安徽激光位移傳感器量大從優(yōu)