光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內(nèi)部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智它的精度可以達到納米級別，適用于各種需要高精度位移測量的領域。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器定做價格
將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個白色LED 向光纖和射出白色光W。應當注意,可以適當?shù)卦O計發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個光纖射出的光學系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導入的白色光W導出至與No.1光學頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導入的測量光進行分支,并且將其導出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。本地光譜共焦位移傳感器定做光譜共焦技術可以消除光學像差和色差的影響，提高測量精度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，所述色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，所述準直鏡組設置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光光源的準直；所述色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。
本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖，光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設置有光路通道、限位槽和透光孔，光路通道上從左往右依次設置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組，具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進行測量。
隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應運而生。超精密的位移傳感器精度可達到微納米級別;傳統(tǒng)的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當被測物體為弱剛性或是輕軟材料時,接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實現(xiàn)自動化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關注。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測量原理是激光光源打在被測物體表面,反射的光經(jīng)過收光鏡簡,在光電探測器CCD上成像通過算法標定可以推算出被測物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過兩束光源產(chǎn)生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測物的位移量測量信息,此種方案結(jié)構(gòu)復雜,成本相對較高;傳統(tǒng)的激光三角法光路容易出現(xiàn)遮擋,導致接收反射光困難,對透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測量。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測，對于研究材料的力學行為具有重要意義。標準光譜共焦位移傳感器市場價格
該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，例如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器定做價格
此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點所反射的可見光會聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設置在聚焦于測量點上且被測量點反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個可見光束中的在聚焦位置P處被測量點反射的可見光作為測量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測物體0反射的RGB這三個顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測量點。因此,使被測量點反射的綠色光G會聚到光纖處。結(jié)果,綠色光G的反射光作為測量光經(jīng)由光纖射出。這樣射出的測量光的波長和光軸上的測量點的位置處于一對一關系。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器定做價格