寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-17

激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理,通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段,并可以通過與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)處理,為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測量特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于微位移測量領(lǐng)域。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測設(shè)備中,國內(nèi)所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進(jìn)口。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量的準(zhǔn)確性。寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)

寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè),光譜共焦位移傳感器

通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以被設(shè)置成從 多個(gè)光入射口入射的 多個(gè)測量光束各自的光軸變得與 預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。因此,可以容易地將各測量光束射出至多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱的位置處。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處。通過將多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于作為基準(zhǔn)軸的起點(diǎn)的虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。什么樣光譜共焦位移傳感器行情它利用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移,具有亞微米級(jí)的高精度。

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通過配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個(gè)光束。通過多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束?;诰€傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測量對(duì)象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面,探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組,準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè),用于多色光源的準(zhǔn)直;色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè),用于將多色光分別聚焦,并產(chǎn)生軸向色散。光譜儀包括有機(jī)殼,固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對(duì)反射光進(jìn)行色散的棱鏡組,固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組,感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術(shù),具有廣闊的應(yīng)用前景。

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光纖連接至殼體部的后端的大致centre所設(shè)置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內(nèi)部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設(shè)置的照射面向著待測物體上的測量點(diǎn)照射。物鏡是針對(duì)光譜傳感器所設(shè)計(jì)的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學(xué)頭的光會(huì)聚于光軸上的各自與波長入相對(duì)應(yīng)的聚焦位置P處。因此,在本實(shí)施例中,白色光中所包括的多個(gè)可見光東由物鏡會(huì)聚于與波長入相對(duì)應(yīng)的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測量,對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器定做價(jià)格

光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度的測量,對(duì)于研究材料的振動(dòng)特性具有重要意義。寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)

遠(yuǎn)距離測量:可遠(yuǎn)離被測物體進(jìn)行掃描測量。 測量效率高:不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動(dòng)等進(jìn)行逐點(diǎn)測量,可高速掃描測量。測量精度高:光斑可聚焦到很小,進(jìn)而可探測一般機(jī)械測頭難以探測的部位。 其中,光學(xué)測量以三角測量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源,但使用激光進(jìn)行三角測量時(shí),照射到物體表面的激光會(huì)呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,而且被測物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會(huì)影響的光斑的分布,從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難,導(dǎo)致三角法測量誤差比較大,在測量光潔度高的物體表面時(shí)這些缺陷更為明顯,為了更加精細(xì)、更加穩(wěn)定的測量位移,需要采用新型位移測量技術(shù)。因此,現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)