本發(fā)明公開了一種激光位移傳感器,包括激光器、成像物鏡以及感光元件,激光器用于射出激光束,由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件,在對(duì)成像物鏡和感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí),解析結(jié)果滿足以下條件:在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下,MTFS>MTFT;在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下,MTFT>MTFS;其中,MTFS為弧矢方向上的MTF值,MTFT為子午方向上的MTF值。本發(fā)明能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度,節(jié)省制造和維護(hù)成本,另外還有助于提高測(cè)量的準(zhǔn)確度,能夠更好地應(yīng)對(duì)使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來(lái)的不良影響。它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物體的位移變化,提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。長(zhǎng)寧區(qū)激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格
本發(fā)明涉及光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域,并且特別地,涉及一種激光位移傳感器;光學(xué)傳感器是依據(jù)光學(xué)原理進(jìn)行測(cè)量的儀器,這類傳感器有許多優(yōu)點(diǎn),例如,能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸和非破壞性測(cè)量、測(cè)量幾乎不受干擾、能夠?qū)崿F(xiàn)高速傳輸以及可遙測(cè)、遙控、可實(shí)時(shí)處理等優(yōu)點(diǎn)。光學(xué)傳感器包括很多類型,其中,以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器是一種利用激光為光源、將CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor,互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)或者CCD(Charge-coupledDevice,電荷耦合元件)傳感器作為接收器的精密測(cè)量?jī)x器。這種傳感器能夠在非接觸的情況下精確測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化,并且能夠被應(yīng)用于檢測(cè)物體的位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等幾何量的測(cè)量。長(zhǎng)寧區(qū)激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格此外,它們通常具有用戶友好的界面和操作方式,使得使用者能夠輕松地進(jìn)行測(cè)量和數(shù)據(jù)分析。
帶通濾光片,設(shè)置于成像物鏡的入射光路上。聚焦透鏡,設(shè)置于激光器的出射光路上??蛇x地,上述感光元件為線陣感光元件,線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿直線排列,該直線的延伸方向?yàn)槎鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。上述也可以是感光元件為面陣感光元件,面陣感光元件包括以矩形排列的多個(gè)感光單元,面陣感光元件的長(zhǎng)邊延伸方向?yàn)槎鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。此外,上述成像物鏡可以為單一鏡片,且成像物鏡的物側(cè)面和像側(cè)面皆為非球面;或者,成像物鏡為多個(gè)透鏡組成的透鏡組。
所述微調(diào)裝置2包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21、一電子測(cè)量?jī)x22以及一微調(diào)平臺(tái)23;所述微調(diào)平臺(tái)23設(shè)于所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11上端的尾部,所述微調(diào)平臺(tái)23的末端向上設(shè)有一延伸部231;所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21設(shè)于所述微調(diào)平臺(tái)23的前端;所述電子測(cè)量?jī)x22的一端抵接于所述延伸部231,另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21。所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調(diào)節(jié)把手212;所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接,另一端與所述電子測(cè)量?jī)x22抵接;所述位移調(diào)節(jié)把手212與所述蝸輪固接;當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212時(shí)通過(guò)所述蝸輪聯(lián)動(dòng)所述橫向蝸桿211進(jìn)行橫向位移。激光三角反射式測(cè)量原理基于簡(jiǎn)單的幾何關(guān)系。
所述電子測(cè)量?jī)x22包括一電子千分表221以及一千分表夾持裝置222,所述電子千分表221使得所述激光位移傳感器4的檢驗(yàn)精度極大提高;所述電子千分表221夾持在所述千分表夾持裝置222上,所述千分表夾持裝置222一端抵接于所述延伸部231,另一端抵接于所述橫向蝸桿211上,當(dāng)所述橫向蝸桿211進(jìn)行橫向位移時(shí),所述電子千分表221可以精確的測(cè)量位移量。所述傳感器夾持裝置3包括一縱向螺桿31以及一夾持器32;所述夾持器32套設(shè)在所述縱向螺桿31上,所述夾持器32可在所述縱向螺桿31上調(diào)節(jié)高度,所述激光位移傳感器4夾持在所述夾持器32上。相比于傳統(tǒng)的接觸式傳感器,激光位移傳感器不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成任何損傷或干擾,適用于對(duì)敏感物體進(jìn)行測(cè)量。閔行區(qū)激光位移傳感器供應(yīng)
它可以實(shí)時(shí)測(cè)量物體的位移,并提供高精度的測(cè)量結(jié)果。長(zhǎng)寧區(qū)激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格
非接觸式激光平面檢測(cè)采用的是集光、機(jī)電一體化的測(cè)量設(shè)備系統(tǒng),系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測(cè)量的新型位移檢測(cè)裝置,具有分辨率高,線性度高和穩(wěn)定性好等特點(diǎn),可實(shí)現(xiàn)對(duì)對(duì)象物的高精度、高可靠性的測(cè)量。本文中定性檢測(cè)試驗(yàn)較好地反映出對(duì)象物平面實(shí)際起伏情況,定量檢測(cè)試驗(yàn)結(jié)果達(dá)到了儀器的理論精度為6μm范圍內(nèi)的要求。該系統(tǒng)能滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)和科學(xué)研究的需要,具有廣闊的應(yīng)用前景。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)長(zhǎng)寧區(qū)激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格