從圖2的鏡頭圖可以看出，第二塊透鏡的半徑很小，主要是為了保證系統(tǒng)在整個工作范圍內(nèi)得到相對均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小，maximum為0.4mm，在靠近透鏡的一邊，minimun為0.08mm，在55mm處。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光經(jīng)過物體散射回去的，因此整形系統(tǒng)得到的光斑不能太小;同時為了保證精度要求，光斑也不能太大，上面的結(jié)果能夠滿足需求。得到好的出射光斑以后，如何接收物體表面的散射光并使其精確成像，是確保激光位移傳感器精度的關(guān)鍵問題。在直入射式三角法測量中，物體沿激光入射方向移動，物面并不垂直于成像光軸。那么在透鏡成像過程中(如圖1)，由幾何成像公式可證明： tanα/tanβ=d1/d',即為理想成像的Scheimpflug條件[5]。要想達(dá)到理想的成像效果，光電探測器需依此條件放置。激光位移傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用案例。蘇州激光位移傳感器答疑解惑
圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下，被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm為物點在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-2.1mm，IMA：1.627，0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：0.0000，0.0000mm為物點在弧矢方向無偏離，在子午方向無偏離，IMA：-0.243，0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-0.243mm。圖3c是被測物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：2.1000，0.0000mm為物點在子午方向無偏離，江蘇激光位移傳感器行情激光技術(shù)的應(yīng)用使得這種傳感器具有高分辨率和高靈敏度，能夠滿足各種精密測量需求。
如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器；所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上，所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。aaaaaaaaa
激光位移傳感器根據(jù)入射光角度的不同可分為直入射式和斜入射式兩種[1]，本設(shè)計采用的是直入射式，其光路結(jié)構(gòu)如圖1所示。整套光路可以分為兩部分，即整形系統(tǒng)和接收系統(tǒng)[2]。左邊部分是光束整形系統(tǒng)，其作用是將激光器發(fā)出的光束匯聚在工作范圍內(nèi)，使匯聚的光斑盡量小而均勻。光源為半導(dǎo)體激光器(LD)，它經(jīng)整形系統(tǒng)在測量范圍50±10mm內(nèi)形成均勻的光斑。后面則是光束接收系統(tǒng)，它將物體表面的漫反射光匯聚到光敏探測器上，使其精確成像。圖中α為被測面與成像透鏡光軸夾角，β為光敏探測器與光軸的夾角，do和di分別表示物距和像距。此外，它們通常具有用戶友好的界面和操作方式，使得使用者能夠輕松地進行測量和數(shù)據(jù)分析。
值得一提的是，針對成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)，拉高S方向的MTF值，降低T方向MTF值的實現(xiàn)方式可以包含以下兩種：(方式1)成像物鏡6自身的S方向MTF值高，而T方向的MTF值低；(方式2)在成像物鏡6的T和S方向的MTF值接近時，在成像物鏡前或后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(例如，可以是平板玻璃等)，配合微調(diào)成像物鏡6與感光元件7之間的相對距離即像距，以達(dá)到S方向MTF值高，而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平y(tǒng)h激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進行測量的傳感器。楊浦區(qū)激光位移傳感器答疑解惑
它可以實時監(jiān)測物體的變形情況，提供及時的預(yù)警和反饋。蘇州激光位移傳感器答疑解惑
激光位移傳感器的測量精度容易受到被測物體表面特征的影響，為了減小測量誤差，在整形鏡設(shè)計中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測量范圍內(nèi)實現(xiàn)光斑小且均勻。針對傳感頭小型化設(shè)計的要求，半導(dǎo)體激光器體積小、重量輕的優(yōu)點正好符合這一要求，但其光束質(zhì)量并不理想，需要對其進行光束整形。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對稱:快軸發(fā)散角較大，半角的典型值為30～40°，光束呈高斯分布，發(fā)光范圍的半寬度為0.6～0.8μm，慢軸發(fā)散角的半角典型值為3～6°，光束分布不規(guī)則，發(fā)光范圍半寬度為50～100μm。因此，在不允許能量損失的情況下，要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573；但由于光束的快軸能量呈高斯分布，通常取半寬度(FWHM)為20°，此時NA=0.342。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些，但考慮到工藝問題，不宜過小，選定為2.5mm。為了便于設(shè)計，將系統(tǒng)倒置，整個系統(tǒng)的主要要求為:工作波長為785±10nm，像方NA=0.342，像距l(xiāng)′=2.5mm，物距l(xiāng)=40～60mm，焦距f=3～4mm。蘇州激光位移傳感器答疑解惑