客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準檢查所需的時間?,F在,我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現已經通過測試和驗證 。光譜共焦技術可以對生物和材料的微觀結構進行分析。小型光譜共焦測距
光譜共焦傳感器使用復色光作為光源 ,可以實現微米級精度的漫反射或鏡反射被測物體測量功能。此外,光譜共焦位移傳感器還可以實現對透明物體的單向厚度測量,其光源和接收光鏡為同軸結構,避免光路遮擋,適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內部結構測量。在測量透明物體的位移時,由于被測物體的上下兩個表面都會反射,傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的,可能會引起一定誤差。本文分析了平行平板位移測量誤差的來源和影響因素。點光譜共焦廠家連續(xù)光位置測量方法可以實現光譜的位置測量。
光譜共焦技術將軸向距離與波長建立起一套編碼規(guī)則,是一種高精度、非接觸的光學測量技術?;诠庾V共焦技術的傳感器作為一種亞微米級、快速精確測量的傳感器,已經被大量應用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測量領域。展望其未來,隨著光譜共焦傳感技術的發(fā)展,必將在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量計量測試等領域得到更多的應用。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來 ,其無需軸向掃描,直接由波長對應軸向距離信息,從而大幅提高測量速度。
背景技術:光學測量與成像技術,通過光源、被測物體和探測器三點共,去除焦點以外的雜散光,得到比傳統寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力,通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結構信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技背景技術:光學測量與成像技術,通過光源、被測物體和探測器三點共,去除焦點以外的雜散光,得到比傳統寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力,通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結構信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技術已經廣泛應用于醫(yī)學、材料分析、工業(yè)探測及計量等各種不同的領域之中?,F有的光學測量術已經廣泛應用于醫(yī)學、材料分析、工業(yè)探測及計量等各種不同的領域之中?,F有的光學測量與成像技術主要激光成像,其功耗大、成本高,而且精度較差,難以勝任復雜異形表面(如曲面、弧面、凸凹溝槽等)的高精度、穩(wěn)定檢測或者成像的光譜共焦成像技術比激光成像具有更高的精度,而且能夠降低功耗和成本但現有的光譜共焦檢測設備大都是靜態(tài)檢測,檢測效率低,而且難以勝任復雜異形表面 。光譜共焦位移傳感器在微機電系統、生物醫(yī)學、材料科學等領域中有著廣泛的應用。
隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,人們對于工業(yè)生產測量的要求越來越高,希望能夠生產出具有精度高、適應性強、實時無損檢測等特性的位移傳感器,光譜共焦位移傳感器的出現,使問題得到了解決,它是一種非接觸式光電位移傳感器,測量精度可達亞微米級甚至于更高,對于雜光等干擾光線,傳感器并不敏感 ,具有較強的抵抗力,適應性強,且其在體積方面具有小型化的特點,因此應用前景十分大量。光學色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一,鏡頭組性能參數對位移傳感器的測量精度與分辨率起著決定性的作用。光譜共焦技術材料科學領域可以用于材料的性能測試和分析。自動測量內徑光譜共焦工廠
光譜共焦技術可以在工業(yè)生產中發(fā)揮重要作用。小型光譜共焦測距
本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度集成在線測量方法,適用于一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求。該方法利用三坐標測量機平臺對零件進行輪廓掃描,并記錄測量掃描位置的空間橫坐標,然后根據空間坐標關系,將微觀高度信息和采樣點組合成微觀輪廓,通過高斯濾波和評價得到表面粗糙度信息。三坐標測量機具有通用性強、精度可靠,自動化程度高等優(yōu)點,這種方法可以實現在線測量 ,提高測量效率和精度。 小型光譜共焦測距