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半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的潔凈車間要求:半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和高精度恒溫恒濕生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān),而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此,集成電路的高速發(fā)展,不對空氣中控制粒子的尺寸有很高的要求,而且也需進(jìn)一步控制粒子束;同時(shí),對于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無塵車間的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求?;瘖y品、食品生產(chǎn)的潔凈車間要求:現(xiàn)代化妝品中大多含有蛋白質(zhì)、維生素、氨基酸、植物萃取液等,這些組分為微生物的滋生、繁殖提供了有利條件。因此,微生物的污染是影響化妝品質(zhì)量的重要因素?;瘖y品生產(chǎn)過程中使用的潔凈室的控制對象主要塵粒、微生物,與藥品生產(chǎn)用的潔凈室要求類似。目前,化妝品生產(chǎn)用潔凈室的空氣潔凈度等級可參照藥品的GMP凈化規(guī)范進(jìn)行。凈化車間要合理布置凈化區(qū)內(nèi)水池和地漏的安裝位置,以免對藥品產(chǎn)生污染。杭州凈化車間施工工程
凈化工程施工需確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí),應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時(shí),位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí),應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火安全措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。杭州凈化車間施工工程凈化車間選擇施工材料首先必須使用防水石有板。
潔凈室凈化工程用處主要有以下三個(gè):空氣凈化車間潔凈室:現(xiàn)已制作完成并能夠投入運(yùn)用的凈化車間潔凈室(設(shè)備)。它具有一切有關(guān)的服務(wù)和功用。可是,在設(shè)備內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。靜態(tài)凈化車間潔凈室:各種功用完備、設(shè)定裝置穩(wěn)當(dāng),能夠依照設(shè)定運(yùn)用或正在運(yùn)用的凈化車間潔凈室(設(shè)備),可是設(shè)備內(nèi)沒有操作人員。動(dòng)態(tài)凈化車間潔凈室:處于正常運(yùn)用的凈化車間潔凈室,服務(wù)功用完善,有設(shè)備和人員;假如需求,可從事正常的作業(yè)。盡量減少建筑面積:有潔凈等級要求的車間,不投資較大,而且水、電、氣等經(jīng)常性費(fèi)用高。一般情況下,廠房的潔凈等級越高,投資、能耗和成本就越大。因此,在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,盡量減少潔凈廠房的建筑面積。嚴(yán)格控制人流物流:藥廠車間凈化應(yīng)設(shè)的人流、物流通道。人員應(yīng)按規(guī)定的凈化程序進(jìn)人,并應(yīng)嚴(yán)格控制人數(shù)。除了人員進(jìn)出藥廠車間凈化的規(guī)范管理外,原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序,方不至于影響潔凈室潔凈度。
凈化工程車間的合理布置:潔凈室內(nèi)設(shè)備布置盡量緊湊,以減少潔凈室的面積。潔凈室內(nèi)不安排窗戶或窗戶與潔凈室的間隔以封閉外走廊。潔凈室的門要求密閉,人、物進(jìn)出口處裝有氣閘。同級別潔凈室盡可能安排在一起。不同級別的潔凈室由低級向高級安排,彼此相連的房間的間應(yīng)設(shè)隔門,按潔凈等級設(shè)計(jì)相應(yīng)壓差,一般lOPa左右,門的開啟方向朝著潔凈度級別高的房間。潔凈室應(yīng)保持正壓,潔凈室的空間按潔凈摩等級的高低依次相連,并有相應(yīng)的壓差以防止低級潔凈室的空氣逆流到高級潔凈室??諝鉂崈艏墑e不同的相鄰房間的凈壓差應(yīng)大于SPa,潔凈室(區(qū))與室外大氣的凈壓差應(yīng)大于lOPa,門的開啟方向朝著潔凈度級別高的房間。在對凈化工程施工進(jìn)行總圖設(shè)計(jì)、平面布置、剖面設(shè)計(jì)時(shí),充分考慮場地的合理利用和滿足工藝生產(chǎn)的要求。
凈化車間應(yīng)配備哪些消防滅火設(shè)施?氣體管道的安全措施,潔凈車間氣體管道的干管,應(yīng)鋪設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi),當(dāng)與水、電線管共架時(shí),應(yīng)設(shè)置在其上方。與潔凈車間不相干的管道不可穿過。氣體管道應(yīng)按不一樣的介質(zhì)設(shè)明顯的標(biāo)識(shí)。各類氣瓶庫應(yīng)集中化設(shè)置在潔凈車間外。當(dāng)天用氣量不超過1瓶時(shí),氣瓶可設(shè)置在潔凈車間內(nèi),但一定要采取不積塵和易于清潔的措施。可燃?xì)怏w報(bào)警裝置和事故排風(fēng)裝置,可燃?xì)怏w易燃易爆,危險(xiǎn)性大,很有可能發(fā)生燃燒事故,并且導(dǎo)致安全事故時(shí)波及面廣,危害性大,導(dǎo)致的財(cái)產(chǎn)損失比較嚴(yán)重。凈化車間屬于公共場所是必須要做消防工程的。杭州凈化車間施工工程
凈化車間的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測試項(xiàng)目。杭州凈化車間施工工程
潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定,并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定:應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí),應(yīng)位于頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè),或全年小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔,人流、物流不穿越或少穿越的地段。對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇,應(yīng)實(shí)際測定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響,并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的近距離宜大于50m。潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道,也可沿廠房的兩個(gè)長邊設(shè)置消防車道。潔凈廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化。可鋪植草坪,不應(yīng)種植對生產(chǎn)有害的植物,并不得妨礙消防作業(yè)。杭州凈化車間施工工程
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