首先對于藍(lán)寶石基板來說，它在成為一片合格的襯底之前大約經(jīng)歷了從切割、粗磨、精磨、以及拋光幾道工序。以2英寸藍(lán)寶石為例：1.切割：切割是從藍(lán)寶石晶棒通過線切割機(jī)切割成厚度在500um左右。在這項(xiàng)制程中，金剛石線鋸是主要的耗材，目前主要來自日本、韓國與中國臺灣地區(qū)。2.粗拋：切割之后的藍(lán)寶石表面非常粗糙，需要進(jìn)行粗拋以修復(fù)較深的刮傷，改善整體的平坦度。這一步主要采用50~80um的B4C加Coolant進(jìn)行研磨，研磨之后表面粗糙度Ra大約在1um左右。3.精拋：接下來是較精細(xì)的加工，因?yàn)橹苯雨P(guān)系到成品的良率與品質(zhì)。目前標(biāo)準(zhǔn)化的2英寸藍(lán)寶石基板的厚度為430um，因此精拋的總?cè)コ考s在30um左右。考慮到移除率與的表面粗糙度Ra，這一步主要以多晶鉆石液配合樹脂錫盤以Lapping的方式進(jìn)行加工。大多數(shù)藍(lán)寶石基板廠家為了追求穩(wěn)定性，多采用日本的研磨機(jī)臺以及原廠的多晶鉆石液。但是隨著成本壓力的升高以及國內(nèi)耗材水準(zhǔn)的提升，目前國內(nèi)的耗材產(chǎn)品已經(jīng)可以替代原廠產(chǎn)品，并且明顯降低成本。說到多晶鉆石液不妨多說兩句，對于多晶鉆石液的微粉部分，一般要求顆粒度要集中，形貌要規(guī)整，這樣可以提供持久的切削力且表面刮傷比較均勻。
因研具和工件相關(guān)作用，降低研具使用周期，密封面研磨質(zhì)量得不到保證。廣州五金平磨平面加工價格
對外延片以Lapping的方式雖然加工品質(zhì)較好。但是移除率太低，比較高也只能達(dá)到3um/min左右，如果全程使用Lapping的話，此加工就需耗時約2h，時間成本過高。目前的解決方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通過鉆石砂輪與減薄機(jī)的配合來達(dá)到快速減薄的目的。，既能達(dá)到較高的移除率，又能修復(fù)Grinding制程留下的較深刮傷。一般來說切割過程中發(fā)生裂片都是由于Grinding制程中較深的刮傷沒有去除，因此此時對鉆石液的要求也比較高。除了裂片之外，有些芯片廠家為了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后還會在外延片背面鍍銅，此時對Lapping之后的表面提出了更高的要求。雖然有些刮傷不會引起裂片，但是會影響背鍍的效果。此時可以采用3um多晶鉆石液或者更小的細(xì)微性來進(jìn)行Lapping制程，以達(dá)到更好的表面品質(zhì)。 廣州五金平磨平面加工價格碳化硼(B4C)是已知堅(jiān)硬的三種材料之一，具有高硬度、高耐磨性和易碎性較低等特性。
在雙面研磨拋光機(jī)加工中，主要是利用安裝在研磨頭圓周上的干砂條，由漲開的機(jī)構(gòu)將砂條沿著徑向打開，是其壓向工件的孔壁，與此同時，能夠使研磨頭做著選擇運(yùn)動或直線往復(fù)運(yùn)動，會對孔進(jìn)行低速的研磨以及摩擦拋光處理。旋轉(zhuǎn)以及往復(fù)運(yùn)動，油石上的磨粒會在孔的表面進(jìn)行切削軌跡成交叉，因而能夠獲得工件表面粗糙度較小的工件加工表面。在徑向進(jìn)行加壓的運(yùn)動中，主要是油石進(jìn)行進(jìn)給運(yùn)動，加壓的壓力會變大，進(jìn)給量也會變大。在研磨中進(jìn)行切削，油石的工件表面、壓力以及被加工工件表面的三者之間變化情況有著一定關(guān)系，需要采取不同的加工方法。1、定壓進(jìn)給的雙面研磨拋光機(jī)研磨過程中，主要有說那個階段，脫落階段、破碎切削階段以及堵塞切削階段。在脫落階段中，加工初始階段的時候，由于孔的表面粗糙度、油石與孔壁之間的實(shí)際接觸面積比較小，所接觸的壓力比較大，工件表面的粗糙表面會很快的被磨除，在接觸壓力過大的時候，磨粒會在切削力的作用下自行的出現(xiàn)脫落，露出新的磨粒。出現(xiàn)破碎切削階段，在隨著研磨進(jìn)行過程中，孔的表面會變得很光滑，接觸的面積也會逐漸的增大，在單位面積的接觸壓力下降，切削效率降低，同時切下的切削小且細(xì)，不是依靠新磨粒進(jìn)行切削。
雙面平面研磨機(jī)的工作原理：上、下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動，工件在磨盤內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動。利用夾具將上工件，磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高。有光柵厚度控制系統(tǒng)，加工后的產(chǎn)品厚度公差可控制。雙面研磨機(jī)的裝置包括兩個研磨盤，游輪，四個電機(jī)，太陽輪，修面機(jī)等。兩者相比較，雙面研磨機(jī)的構(gòu)造相對要復(fù)雜一些，但是如果需要雙面研磨的工件用雙面機(jī)進(jìn)行研磨比單面機(jī)的效率無形中要快一倍。這種雙面研磨的誕生和發(fā)展為很多行業(yè)的生產(chǎn)效率帶來了改良。用的比較多的有光學(xué)玻璃行業(yè)的硅片，藍(lán)寶石襯底，外延片等等。五金平面精密磨加工生產(chǎn)銷售，就選深圳銘豐慶，讓您滿意，歡迎您的來電！
平面研磨機(jī)的研磨軌跡會直接影響研磨加工時的精度以及生產(chǎn)的效率，主要用于兩面平行的晶體或其它機(jī)械零件進(jìn)行雙面研磨，特別是薄脆性材料的加工。適用于各種材質(zhì)的機(jī)械密封環(huán)、陶瓷片、氣缸活塞環(huán)、油泵葉片軸承端面及硅、鍺、石英晶體、石墨、藍(lán)寶石、光學(xué)水晶、玻璃、鈮酸鋰、硬質(zhì)合金、不銹鋼、粉灰冶金等金屬材料的平面研磨和拋光。在平面研磨機(jī)加工中，選擇合理的運(yùn)動方式以及研磨軌跡是極為重要的一步,研磨運(yùn)動中主要的是在于實(shí)現(xiàn)磨料的切削運(yùn)動,因此運(yùn)動狀況的好壞，將會直接影響研磨加工時的精度以及生產(chǎn)的效率。在平面研磨機(jī)加工中，選擇合理的運(yùn)動方式以及研磨軌跡是極為重要的一步,研磨運(yùn)動中主要的是在于實(shí)現(xiàn)磨料的切削運(yùn)動,因此運(yùn)動狀況的好壞，將會直接影響研磨加工時的精度以及生產(chǎn)的效率，所以，平面研磨機(jī)在研磨加工運(yùn)動中，研磨運(yùn)動應(yīng)滿足以下幾點(diǎn)：在加工工件時，整個研磨運(yùn)動自始至終都應(yīng)該力求平穩(wěn)。特別是研磨面積小而細(xì)長的工件，更需要注意使運(yùn)動力向的改變要緩慢，避免拐小彎，運(yùn)動方向要盡顯偏于工件的長邊方向并放慢運(yùn)動速度。否則會因運(yùn)動的不平穩(wěn)造成被研表面的不平，或掉邊掉角等質(zhì)量瑕疵。
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當(dāng)處于拋光氧化物時，拋光液一般選取Si0:作為磨料，PH值控制在10以上;而拋光金屬時，拋光液一般選用酸性的。保證PH值在較小的數(shù)值，以便保持極高的工件去除率。磨粒按硬度可分為軟磨粒和硬磨粒兩類。常用的磨粒包括氧化鋁系、碳化物系、超硬磨料系和軟磨料系4類。拋光用磨粒需具有下列性能:1、磨粒形狀和尺寸均勻一致，保持在一定范圍;2、磨粒的熔點(diǎn)要比工件的熔點(diǎn)高;3、磨粒能適當(dāng)?shù)仄扑?，使切刃變鋒利;4、磨粒在拋光液中容易分散。一般情況下，當(dāng)磨粒硬度以及尺寸增加時，工件去除率增加，但是同時劃痕增加，工件的表面質(zhì)量下降;而磨粒的尺寸過小時又容易產(chǎn)生凝聚成團(tuán)的現(xiàn)象，增加工件表面劃痕。當(dāng)拋光液中磨粒的濃度增加時，工件去除率也隨之增加，但當(dāng)磨粒的濃度達(dá)到某一數(shù)值時，工件去除率也將停止增加，維持在某一常數(shù)，這種現(xiàn)象稱為材料去除飽和，但是由于磨粒濃度增加，工件表面的劃痕反而增加，表面質(zhì)量下降。 廣州五金平磨平面加工價格