上海大規(guī)模激光干涉儀

為什么要用雙頻激光干涉儀？單頻激光干涉儀是一種直流測(cè)量系統(tǒng)，存在較大的零漂；同時(shí)由于空氣湍流，機(jī)床油霧，切削屑等會(huì)使光束發(fā)生偏移或波面扭曲，導(dǎo)致激光束強(qiáng)度發(fā)生變化，就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號(hào)交流信號(hào)，因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來(lái)說(shuō)，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大，這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號(hào)。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等，也可以在普通車(chē)間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大。上海大規(guī)模激光干涉儀

激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢(shì)，其特點(diǎn)是測(cè)量精度快、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測(cè)量。在測(cè)量中設(shè)計(jì)一個(gè)精密導(dǎo)軌，將反射鏡同被測(cè)傳感器放在一起同步檢測(cè)，從而形成對(duì)比，位移傳感器自動(dòng)檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對(duì)定位移進(jìn)行測(cè)試對(duì)比，得出往復(fù)測(cè)試實(shí)驗(yàn)結(jié)果。激光干涉儀除了可以用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。通用激光干涉儀誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量。

激光干涉儀laserinterferometer以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量、回轉(zhuǎn)精度測(cè)量、平行度測(cè)量和小角度測(cè)量。

激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測(cè)量，此時(shí)檢測(cè)結(jié)果將收到很大的影響。對(duì)激光干涉儀要小心輕放，避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng)，安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性，整個(gè)作業(yè)過(guò)程中工作人員不得離開(kāi)儀器，防止意外發(fā)生。激光干涉儀要設(shè)置專(zhuān)庫(kù)存放，環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)Z常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測(cè)量互作事半功倍。激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。

激光干涉儀以光波為載體，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、Zgao測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn)，其光波波長(zhǎng)可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。因此，激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開(kāi)發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為長(zhǎng)度計(jì)量基準(zhǔn)的高精度測(cè)量?jī)x器，隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn)，因其具有性能穩(wěn)定、檢測(cè)精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點(diǎn)，已成為高精密機(jī)械生產(chǎn)中校準(zhǔn)及補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)儀器，在機(jī)械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀的測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵。上海正規(guī)激光干涉儀

激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門(mén)移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床。上海大規(guī)模激光干涉儀

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。上海大規(guī)模激光干涉儀

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