激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡。激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環(huán)境下測量。北京機床校準激光干涉儀銷售
激光干涉儀作為數控機床精度常用的檢測工具,能對數控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序,能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度,反向間隙等其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃),線性測量長可以達到80m,較高線性測長分辨率0.001μm,較高測量速度240m/min。對于不同的數控機床,檢測的曲線各不相同,其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析,能夠將影響機床精度的原因列出來,數控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數據,了解到機床在哪些方面存在誤差,這樣就為調整和數控機床維修提供了充分的數據支持和指導,縮短數控機床維修時間,提高數控機床維修的效率。安徽高精度測量激光干涉儀報價激光干涉儀的應用:數控機床動態(tài)的性能檢測。
激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長有關,因此激光器頻率的準確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。總結起來,影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然,在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環(huán)境條件等因素有關。
激光干涉儀的注意事項:儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發(fā)霉。盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。在使用時應避免強旋、硬扳等情況,合理恰當的調整部件。避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,保持其不失油。激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快的特點。
單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。激光干涉儀的應用:數控機床動態(tài)性能檢測。北京機床校準激光干涉儀銷售
激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的工具。北京機床校準激光干涉儀銷售
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光,具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。可測量速度、加速度、振動等參數,并評估機床動態(tài)特性。設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角??蛇x的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。北京機床校準激光干涉儀銷售
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