激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。功能廣;可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量;可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測量。山東位移傳感器激光干涉儀設(shè)備廠家
隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及,采用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認(rèn)的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀測量原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時(shí),探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。山東位移傳感器激光干涉儀設(shè)備廠家激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。
為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測量系統(tǒng),存在較大的零漂;同時(shí)由于空氣湍流,機(jī)床油霧,切削屑等會(huì)使光束發(fā)生偏移或波面扭曲,導(dǎo)致激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號(hào)交流信號(hào),因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號(hào)。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、較高測速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀的工作原理:激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,然后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時(shí),激光干涉儀會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快的特點(diǎn)。
現(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學(xué)的知識(shí)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨(dú)特的性質(zhì):單色性好、相干性好、方向性強(qiáng)、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域,已經(jīng)成為人類認(rèn)知世界的重要工具。由于激光具有極好的時(shí)間相干性,自問世以來,已研制出多種激光干涉儀:單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中比較成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測量,具有非接觸、無損檢測的特點(diǎn),已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用。激光干涉儀要設(shè)置專庫存放。山東位移傳感器激光干涉儀設(shè)備廠家
激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床。山東位移傳感器激光干涉儀設(shè)備廠家
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意使用的問題,無論是軟件矛盾、抑或是電腦病毒,往往會(huì)影響到測量和使用。激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí),激光干涉儀各個(gè)測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。山東位移傳感器激光干涉儀設(shè)備廠家
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