激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測量機等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號,因而對于激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。激光干涉儀的測量精度高。上海英國雷尼紹XL-80激光干涉儀設(shè)備廠家
激光干涉儀在立式配置下,樣品的放置,夾持和調(diào)整更方便,提高了測試效率。立式架構(gòu)整機占地更??;整個干涉腔,處于穩(wěn)定的框架結(jié)構(gòu)下,這樣對抗振要求更低,可省去昂貴和龐大的抗震平臺。立式配置對于某些特殊應(yīng)用的特殊優(yōu)勢,比如高精度曲率半徑測量,大口徑平面樣品的拼接測量。對于很多超高精度測量,要求樣品表面保持和工作狀態(tài)一致的條件下測量。工業(yè)現(xiàn)場測試環(huán)境下,立式配置下,樣品的夾持放置,更有效率,更加穩(wěn)定。在某些應(yīng)用場合,基于測試效率,樣品夾持,測試方式或精度的要求,立式配置會更有優(yōu)勢。上海英國雷尼紹XL-80激光干涉儀設(shè)備廠家激光干涉儀的光源——激光。
激光干涉儀的應(yīng)用:數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在,利用激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量,其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補償。
為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測量系統(tǒng),存在較大的零漂;同時由于空氣湍流,機床油霧,切削屑等會使光束發(fā)生偏移或波面扭曲,導(dǎo)致激光束強度發(fā)生變化,就有可能使光電信號低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而使計數(shù)器停止計數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號交流信號,因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。
激光干涉儀輔助工具的選擇:雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具:①研制低高度云臺支架;部分機床工作臺高度與地面是基本相平的,那么測量Z軸時,如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面,則肯定會因為三角架本身的高度,損失測量范圍。②選擇磁性表座;磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具,選擇時需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿,主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在測量時,往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等。上海英國雷尼紹XL-80激光干涉儀設(shè)備廠家
激光干涉儀要小心輕放,避免強烈的沖擊震動。上海英國雷尼紹XL-80激光干涉儀設(shè)備廠家
激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。上海英國雷尼紹XL-80激光干涉儀設(shè)備廠家
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