山東數(shù)控軸平面度激光干涉儀

激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機(jī)按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果?？捎眉す飧缮鎯x進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析。山東數(shù)控軸平面度激光干涉儀

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。“干涉法”是一種利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。河南工業(yè)激光干涉儀廠家激光干涉儀要設(shè)置專庫存放，環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧。

激光干涉儀使用技巧；Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法：用激光干涉儀進(jìn)行線性測量時，Z軸測量時激光光路的準(zhǔn)直相對X、Y軸準(zhǔn)直來說，要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下，要保證激光光束經(jīng)反射鏡反射后回到激先探測器的強(qiáng)度滿足測量對對光強(qiáng)的要求，準(zhǔn)直激光光路往往需要很長時間。Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。

激光干涉儀在實際使用中，需要確認(rèn)其在各個測量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)Z終均與激光波長有關(guān)，因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對Z終的測量精度有著重要的影響?？偨Y(jié)起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當(dāng)然，在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差。

數(shù)控機(jī)床的傳動機(jī)構(gòu)一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當(dāng)前為有效且普遍應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償。數(shù)控機(jī)床機(jī)械誤差補(bǔ)償包含記憶式相對位置補(bǔ)償（值）與記憶式螺距誤差補(bǔ)償（增量值）兩種，三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補(bǔ)償?shù)谋硎局?。?dāng)采用激光干涉儀進(jìn)行增量值補(bǔ)償時，會遇到數(shù)據(jù)怎么對應(yīng)補(bǔ)償點位置的問題。機(jī)床系統(tǒng)種類繁多，正逐步向自動補(bǔ)償邁進(jìn)。激光干涉儀在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測。山東數(shù)控軸平面度激光干涉儀

激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。山東數(shù)控軸平面度激光干涉儀

激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機(jī)按計算式式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。山東數(shù)控軸平面度激光干涉儀

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