激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動靈活的特點,用12v電源,其耗電量極低,干涉圖像與對準(zhǔn)系統(tǒng)同步、不需要切換,任何人都能簡單操作,非常適合大批量快速檢測。激光干涉儀成為眾多光學(xué)冷加工廠商的夢想與追求,擁有一臺激光干涉儀,就擁有世界先進(jìn)的檢測手段,就擁有令人信服的檢測結(jié)果,就能證明可以生產(chǎn)先進(jìn)的產(chǎn)品。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域,已經(jīng)成為人類認(rèn)知世界的重要工具。激光干涉儀為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場使用尤為方便。廣州科研開發(fā)激光干涉儀安裝
激光干涉儀在立式配置下,樣品的放置,夾持和調(diào)整更方便,提高了測試效率。立式架構(gòu)整機(jī)占地更??;整個干涉腔,處于穩(wěn)定的框架結(jié)構(gòu)下,這樣對抗振要求更低,可省去昂貴和龐大的抗震平臺。立式配置對于某些特殊應(yīng)用的特殊優(yōu)勢,比如高精度曲率半徑測量,大口徑平面樣品的拼接測量。對于很多超高精度測量,要求樣品表面保持和工作狀態(tài)一致的條件下測量。工業(yè)現(xiàn)場測試環(huán)境下,立式配置下,樣品的夾持放置,更有效率,更加穩(wěn)定。在某些應(yīng)用場合,基于測試效率,樣品夾持,測試方式或精度的要求,立式配置會更有優(yōu)勢。廣州科研開發(fā)激光干涉儀安裝激光干涉儀可按預(yù)定的間距自動完成檢測和刻劃定位。
當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現(xiàn)平衡狀態(tài),通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時穩(wěn)定輸出后,激光器即可進(jìn)行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率,標(biāo)稱波長為633nm,長期波長穩(wěn)定性(真空中)優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時,被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中,然后反射回分光鏡中,在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束④。
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進(jìn)行定義并溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀的工作原理:激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,然后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化激光干涉儀的注意事項:儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。
激光干涉儀的注意事項:儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。在移動儀器時,為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動。儀器的光學(xué)零件在不用時,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放,以防止發(fā)霉。盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。在使用時應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,保持其不失油。激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準(zhǔn)的高精度測量儀器。廣州科研開發(fā)激光干涉儀安裝
激光干涉儀是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測手段。廣州科研開發(fā)激光干涉儀安裝
激光干涉儀輔助工具的選擇:雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具:①研制低高度云臺支架;部分機(jī)床工作臺高度與地面是基本相平的,那么測量Z軸時,如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面,則肯定會因為三角架本身的高度,損失測量范圍。②選擇磁性表座;磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具,選擇時需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿,主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在測量時,往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。廣州科研開發(fā)激光干涉儀安裝