激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光,具有強度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用??蓽y量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性。設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角??蛇x的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大。機床誤差修正激光干涉儀維修
數(shù)控機床設(shè)備在維修維?;驒C床設(shè)備大修之后,使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實現(xiàn)線性數(shù)控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,把檢測的數(shù)據(jù)值通過數(shù)控系統(tǒng)參數(shù)補償進入數(shù)控系統(tǒng),利用數(shù)控系統(tǒng)消除數(shù)控軸的正常磨損誤差,利用球桿儀檢測數(shù)控軸聯(lián)動加工的真圓度,不但可以提高相關(guān)聯(lián)的幾個數(shù)控軸聯(lián)動加工的精度等級,還保證了數(shù)控軸的精度、延長數(shù)控軸的壽命。保證數(shù)控機床更高的定位精度、更小的公差及更高的進給率。它是一種精密測量儀器,對數(shù)控機床設(shè)備進行精度的再校準(zhǔn)。雷尼紹激光干涉儀為機床檢定提供一種高精度標(biāo)準(zhǔn),它具備自動線性誤差補償功能,可以方便恢復(fù)機床精度。機床誤差修正激光干涉儀維修激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度的測量。
激光干涉儀引力波探測器要求激光束的橫向剖面具有純凈的TEM00模式,即應(yīng)該是基模厄米-高斯模式。因為高階模式與干涉儀的不對稱性相耦合,會使輸出信號的對比度變差,而且高階模式會使法布里-珀羅腔鏡子表面光強分布改變,產(chǎn)生附加的熱噪聲。高階模式的振幅是不穩(wěn)定的,它會使鏡子不同部位受到的輻射壓力發(fā)生變化,產(chǎn)生附加的輻射壓力噪聲,嚴(yán)重時會使鏡子抖動引起干涉儀鎖定狀態(tài)的不穩(wěn)定。通過清模器可以清理高階橫向模式,清模器的主體部分是一個具有較高透射率的行波諧振腔,常采用由三面光學(xué)鏡組成的銳三角形結(jié)構(gòu),其優(yōu)點是清模效果好,光束抖動噪聲小,能選擇偏振形式,具有高的頻率穩(wěn)定性,沒有光從清模器返回激光器。合理設(shè)計三面鏡子的反射和透射系數(shù)并適當(dāng)調(diào)節(jié)銳角上的鏡子,使載頻激光和兩個旁頻都能共振通過。
激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應(yīng)用呢?可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準(zhǔn)機床的回轉(zhuǎn)軸。內(nèi)置國內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。激光干涉儀配有各種附件。
激光干涉儀的主要特點:測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角。設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器??蛇x的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米??蓽y量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性。全套系統(tǒng)重量只15公斤,設(shè)計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間。激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性等。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快。機床誤差修正激光干涉儀維修
對激光干涉儀要小心輕放,避免強烈的沖擊震動。機床誤差修正激光干涉儀維修
激光干涉儀使用環(huán)境:因為光學(xué)玻璃受熱變形將產(chǎn)生光學(xué)表面光圈的變化,溫度不穩(wěn)定將直接影響測量精度的可靠性,所以激光干涉儀的使用對環(huán)境也有一定的要求:1、溫度要求在20℃左右,濕度不大于60%。2、遠(yuǎn)離振動源,以免條紋產(chǎn)生抖動影響測量精度的判斷。目前激光干涉儀已普遍地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)、光學(xué)檢測機構(gòu)以及其他需要進行光學(xué)表面檢測的場合,南京光研推出的一款激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動靈活的特點,用12v電源,其耗電量極低,干涉圖像與對準(zhǔn)系統(tǒng)同步、不需要切換,任何人都能簡單操作,非常適合大批量快速檢測。機床誤差修正激光干涉儀維修