激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個光程之間的差異變化。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:反射鏡、角錐棱角誤差。杭州數(shù)控軸垂直度激光干涉儀銷售
激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵,分辨率可達(dá)納米級;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光長期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能??梢詸z測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備運(yùn)動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時也能檢測運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。濟(jì)南坐標(biāo)測量機(jī)激光干涉儀廠家有哪些激光干涉儀可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。
多功能激光干涉儀,適用于測量光脈沖、電脈沖、磁脈沖和超快變電場以及超短光脈沖信號的變化。它含有超短脈沖發(fā)射光源、雙脈沖形成裝置、擴(kuò)束器、微分時間延遲器、聚焦系統(tǒng)、干涉系統(tǒng)、轉(zhuǎn)換元件、干涉條紋和接收處理顯示系統(tǒng)、被測信號接口、同步裝置和補(bǔ)償元件。具有時間分辨率精度高、響應(yīng)速度快、用途廣,可以實(shí)時測量的優(yōu)點(diǎn)。多功能激光干涉儀由十一部分構(gòu)成:超短脈沖發(fā)射光源1、雙脈沖形成裝置2、擴(kuò)束器3、微分時間延遲器4、聚焦系統(tǒng)5、干涉系統(tǒng)6、轉(zhuǎn)換元件7、干涉條紋的接收處理顯示系統(tǒng)8、被測信號接口9、同步裝置10和補(bǔ)償元件11。其中,轉(zhuǎn)換元件7在干涉系統(tǒng)6的一個臂的光路A中,補(bǔ)償元件11是在干涉系統(tǒng)6的另一個臂的光路B中。
激光干涉儀初步調(diào)整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個過程,往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。激光干涉儀有測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。
激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一,它以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。未來,激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等方面進(jìn)行發(fā)展,從測量數(shù)據(jù)的可靠性、精確性,以及測量儀器的便攜性等,不斷改善激光干涉儀的各項(xiàng)性能。激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢。西安機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀廠家有哪些
激光干涉儀要小心輕放,避免強(qiáng)烈的沖擊震動。杭州數(shù)控軸垂直度激光干涉儀銷售
激光干涉儀引力波探測器對光學(xué)鏡的要求:(1)體積和重量;激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發(fā)散,光斑變大。為了避免邊緣效應(yīng)光學(xué)鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質(zhì)量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質(zhì)量一般為20kg左右。(2)熱傳導(dǎo)及熱噪聲;當(dāng)激光干涉儀引力波探測器運(yùn)行時,臂上法布里-珀羅腔內(nèi)的激光功率非常強(qiáng),例如高級LIGO達(dá)到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內(nèi)部不能有結(jié)構(gòu)上的缺陷。為減小由于局部發(fā)熱而產(chǎn)生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。杭州數(shù)控軸垂直度激光干涉儀銷售