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真空鍍膜應(yīng)用屬于一種干式鍍膜,它的主要方法包括以下幾種:1、真空蒸鍍,其原理是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱帶蒸發(fā)物質(zhì),使其氣化或升華,蒸發(fā)離子流直接射向基片,并在基片上沉積析出固態(tài)薄膜的技術(shù)。2、濺射鍍膜,濺射鍍膜是真空條件下,在陰極接上2000V高壓電,激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基片上形成膜層。3、離子鍍膜,即干式螺桿真空泵廠家已經(jīng)介紹過的真空離子鍍膜。它是在上面兩種真空鍍膜技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來的,因此兼有兩者的工藝特點(diǎn)。在真空條件下,利用氣體放電使工作氣體或被蒸發(fā)物質(zhì)(膜材)部分離化,并在離子轟擊下,將蒸發(fā)物或其反應(yīng)物沉積在基片表面。在膜的形成過程中,基片始終受到高能粒子的轟擊,十分清潔。真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜。絕緣體蒸鍍機(jī)供應(yīng)報(bào)價(jià)
真空鍍膜機(jī)設(shè)備表面處理的基本方法:1、溶劑脫脂,附著在真空設(shè)備零件上的油可分為動(dòng)植物油和礦物油。動(dòng)植物油可用堿溶液化學(xué)法除去,礦物油可用有機(jī)溶劑除去。然而,在實(shí)際的清洗設(shè)備中,通常使用兩種溶劑。2、酸堿侵蝕處理,設(shè)備除油后,金屬表面的氧化物可用酸蝕或堿蝕去除。熱處理后,設(shè)備零件無油污。真空退火后可直接進(jìn)行酸/堿腐蝕去除氧化層污染。3、電化學(xué)清洗和電解拋光,介紹了電化學(xué)清洗的原理和配方,指出電解拋光的電解液不同于電解蝕刻液。電化學(xué)拋光的電解液配方和拋光規(guī)范如下:1.正磷酸(HPo):65%(質(zhì)量百分比);2.硫酸:15%;3.鉻酸(CRO):6%;4.去離子水:14%;5.電流密度:0.2~0.5a/cm2;6.電壓:6~12V;7.工作溫度:約75°C;8.時(shí)間:5~10min。電拋光后,將零件放入2%-5%氨水中15s-20s,用水沖洗,用無水乙醇脫水,干燥。福建鈣鈦礦蒸鍍機(jī)注意真空鍍膜機(jī)本身及設(shè)備運(yùn)行中的安全,特別要重視安全裝置的檢查與使用。
真空鍍膜機(jī)鍍膜前的清洗:紫外線輻照清洗,利用紫外輻照來分解表面上的碳?xì)浠衔?。例如,在空氣中照?5h就可產(chǎn)生清潔的玻璃表面。如果把適當(dāng)預(yù)清洗的表面放在一個(gè)產(chǎn)生臭氧的紫外線源中。要不了幾分鐘就可以形成清潔表面(工藝清潔)。這表明臭氧的存在增加了清潔速率。其清洗機(jī)理是:在紫外線照射下,污物分子受激并離解,而臭氧的生成和存在產(chǎn)生高活性的原子態(tài)氧。受激的污物分子和由污物離解產(chǎn)生的自由基與原子態(tài)氧作用。形成較簡單易揮發(fā)分子。如H203、CO2和N2,其反應(yīng)速率隨溫度的增加而增加。
真空蒸鍍使用的加熱方式主要有:(1)電弧加熱:電弧蒸鍍利用高真空中兩導(dǎo)電材料制成的電極之間形成電弧放電產(chǎn)生的高溫,使電極材料蒸發(fā)而在基體上凝聚成膜。(2)激光加熱:脈沖激光加熱表面可實(shí)現(xiàn)材料的瞬時(shí)蒸發(fā),脈沖激光作為一種新的加熱源,其特點(diǎn)之一是能量在時(shí)間和空間上高度集中,與常規(guī)的熱蒸發(fā)有明顯區(qū)別。帶有離子轟擊裝置的激光蒸發(fā),已用于若干材料的低溫沉積,其中包括高質(zhì)量的高溫超導(dǎo)氧化物薄膜。激光蒸發(fā)可用于透明材料上薄膜的蒸發(fā),從透明材料的背面照射待蒸發(fā)薄膜,把基體面向待蒸發(fā)薄膜放置,通過控制蒸發(fā)區(qū)域,則在基體上可沉積出帶花紋的薄膜。真空鍍膜機(jī)在鍍膜的時(shí)候,需要鍍層表面的化學(xué)成分保持均勻性。
真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作,因此該設(shè)備要滿足真空對(duì)環(huán)境的要求。真空對(duì)環(huán)境的要求,一般包括真空設(shè)備對(duì)所處實(shí)驗(yàn)室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求,和對(duì)處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個(gè)方面。這兩個(gè)方面是有密切聯(lián)系的。周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用;而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣,要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。真空鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)焊縫結(jié)構(gòu)的時(shí)候,接頭一定要焊透,應(yīng)該避免產(chǎn)生聚集污物的有害空間。拉薩蒸鍍機(jī)系列-FS450
真空鍍膜機(jī)操作員要穿著整潔,袖口扣緊(佩戴袖套),上衣下擺不能敞開,不得穿拖鞋、高跟鞋。絕緣體蒸鍍機(jī)供應(yīng)報(bào)價(jià)
如何正確維護(hù)真空鍍膜機(jī)?1、例行保養(yǎng)生產(chǎn)設(shè)備中發(fā)現(xiàn)了一個(gè)不好的跡象,立即解決。真空鍍膜機(jī)的油要定期更換,等待維修時(shí)間,轉(zhuǎn)子泵嚴(yán)重磨損可能。例如,軸承的一些卡工件轉(zhuǎn)架,更換軸承,然后等到它完全打破了,可真是個(gè)大問題,鍍膜機(jī)可能會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)架電機(jī)燒毀等。2、定期檢修,鍍膜機(jī)有人會(huì)問一個(gè)日常的維護(hù)也需要定期維護(hù)?事實(shí)上,每個(gè)設(shè)備都有它自己的生命,如2年油擴(kuò)散泵的使用壽命,提前更換,鍍膜機(jī)在生產(chǎn)階段沒有問題。要你把日常維護(hù)和定期檢修,對(duì)設(shè)備的使用壽命,在同一時(shí)間的延長,生產(chǎn)過程中的失效概率減少,提高了生產(chǎn)效率。絕緣體蒸鍍機(jī)供應(yīng)報(bào)價(jià)
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