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鍍膜技術(shù)在平板顯示器中的應(yīng)用:所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜,而且?guī)缀跛蓄愋偷钠桨屣@示器件都需要使用ITO膜,以滿足透明電器的要求??梢院敛豢鋸埖恼f:沒有薄膜技術(shù)就沒有平板顯示器件。鍍膜技術(shù)在太陽能利用方面的應(yīng)用:當(dāng)需要有效地利用太陽熱能時(shí),就要考慮采用對太陽光線吸收較多、而對熱輻射等所引起的損耗較小的吸收面。太陽光譜的峰值大約在波長為2-20μm之間的紅外波段。由于太陽輻射與熱輻射光譜在波段上有差異,因此,為了有效的利用太陽熱能,就必須考慮采用具有波長選擇特性的吸收面。理想的選擇吸收面是太陽輻射光譜的波段(可見光波段)吸收率(?。?,在熱輻射波段(紅外波段)輻射率(Ε)為0。真空鍍膜工藝靈活,改變品種方便。西寧光學(xué)鍍膜機(jī)原理
鍍膜機(jī)的輔助進(jìn)氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)是涂層機(jī)真空系統(tǒng)的重要組成部分,主要由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)和油擴(kuò)散泵三部分組成。該排氣系統(tǒng)由“擴(kuò)散泵機(jī)械泵羅茨泵低溫冷polycold”組成。排氣過程提供了機(jī)械泵首先將真空腔抽到小于2.0*10-2PA的低真空狀態(tài),擴(kuò)散泵接著抽到真空的前提條件,之后擴(kuò)散泵抽到真空腔時(shí),機(jī)械泵與有擴(kuò)散泵相關(guān)聯(lián),以這種方式完成進(jìn)氣動(dòng)作。機(jī)械泵:機(jī)械泵也稱為全級泵,是使用普遍的低真空泵,通過用油保持密封效果和依靠機(jī)器的方法,不斷改變泵內(nèi)吸入孔的體積,使吸入容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹,從而獲得真空。遼寧模具真空鍍膜機(jī)鍍膜機(jī)旋轉(zhuǎn)部件應(yīng)涂少量潤滑油:應(yīng)先涂少量真空泵油對旋轉(zhuǎn)部件的潤滑表面。
鍍膜機(jī)的化學(xué)組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。晶格有序度的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問題,具體見下。主要分類有兩個(gè)大種類: 蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜,具體則包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,溶膠凝膠法等等 一、對于蒸發(fā)鍍膜:一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。
在真空鍍膜系統(tǒng)裝置中,一驅(qū)動(dòng)單元工作,一輸出軸驅(qū)動(dòng)下輥旋轉(zhuǎn),使輥上的載板沿輸送方向進(jìn)入真空室。在承載板被傳送到真空室中的適當(dāng)位置之后,二驅(qū)動(dòng)單元操作以驅(qū)動(dòng)導(dǎo)電部分和接地帶朝向承載板移動(dòng),并且接地帶展開,使得導(dǎo)電部分的導(dǎo)電表面接觸承載板,并且電流通過導(dǎo)電部分從承載板傳導(dǎo)到接地帶,然后被引入真空室。真空鍍膜系統(tǒng)的一驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)滾筒繼續(xù)旋轉(zhuǎn),從而實(shí)現(xiàn)位于滾筒上的載板輸出完成蒸發(fā);滾輪上設(shè)置有至少一個(gè)環(huán)繞一輸出軸的緩沖環(huán),使得載板與滾輪之間存在軟接觸,減小載板與滾輪之間的硬接觸范圍,減小載板在傳動(dòng)過程中的振動(dòng),減少載板的劃傷甚至磨損,保證鍍膜效果和產(chǎn)品良率。由于真空鍍膜系統(tǒng)載板的導(dǎo)電面在涂層放電時(shí)與載板接觸,載板與導(dǎo)電部分表面接觸,導(dǎo)電接觸面積更大,導(dǎo)電速率更快,導(dǎo)電性更好,涂層放電穩(wěn)定性更好,涂層效果更好,能夠滿足大容量、大電流、高成品率的工藝要求。真空鍍膜機(jī)真空鍍膜是一個(gè)集冶金、真空、化學(xué)、物理等學(xué)科于一體的高新技術(shù)。
真空電鍍機(jī)如何維保?安全操作注意事項(xiàng):真空電鍍機(jī)操作員要穿著整潔,袖口扣緊(佩戴袖套),上衣下擺不能敞開,不得穿拖鞋、高跟鞋;檢查電路各控制開關(guān)能否正常斷開閉合,電壓指示380±20V;檢查各螺釘處連接是否牢固,電控柜、主機(jī)的連接線有無松脫現(xiàn)象、接地是否良好;所有電器的開關(guān)在零或者“關(guān)”的位置上;檢查鍍膜機(jī)室內(nèi)不銹鋼擋板的插銷是否牢固,角部有無彎曲翹曲等變形情況;檢查水壓、氣壓是否正常;水、油、氣是否有漏滴現(xiàn)象;設(shè)備中途停水時(shí),應(yīng)立即關(guān)閉擴(kuò)散泵、粗抽泵、羅茨泵,讓維持泵繼續(xù)運(yùn)行;設(shè)備中途停氣時(shí),應(yīng)立即關(guān)閉擴(kuò)散泵、粗抽泵、羅茨泵,讓維持泵繼續(xù)運(yùn)行;設(shè)備中途停電時(shí),應(yīng)立即關(guān)總電源,后關(guān)擴(kuò)散泵、粗抽泵、維持泵;擴(kuò)散泵加熱時(shí),避免身體接觸擴(kuò)散泵加熱爐、以免燙傷。鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。江蘇小型光學(xué)鍍膜機(jī)
以鍍膜方式進(jìn)行分類,蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、多弧離子鍍膜機(jī)等。西寧光學(xué)鍍膜機(jī)原理
真空鍍膜機(jī)是一種直流磁控反應(yīng)濺射鍍膜機(jī),主要應(yīng)用于太陽能真空管的制造過程。根據(jù)廠家工藝要求和技術(shù)參數(shù),以PLC、觸摸屏作為硬件開發(fā)平臺(tái),設(shè)計(jì)三靶磁濺式真空鍍膜機(jī)的電氣控制系統(tǒng)。工件旋轉(zhuǎn)和靶旋轉(zhuǎn)均采用模塊化的直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路,通過PLC軟件程序?qū)崿F(xiàn)電樞降壓軟起動(dòng)。采用分子泵替代油擴(kuò)散泵,解決了鍍膜生產(chǎn)中油擴(kuò)散泵出現(xiàn)的返油現(xiàn)象,提高鍍膜質(zhì)量,降低了控制系統(tǒng)的功耗,節(jié)約電能90%以上。分子泵VVVF自適應(yīng)控制的速度閉環(huán)控制建立于真空室真空度的基礎(chǔ)上,從而有效解決了真空度穩(wěn)定和陡降之間的矛盾。第1次獲得了與技術(shù)工藝參數(shù)相適應(yīng)的靶電源模糊控制方法,該方法用軟件程序簡化硬件電路,明顯優(yōu)于傳統(tǒng)的PID控制方法,模糊化處理的電流反饋回路解決。西寧光學(xué)鍍膜機(jī)原理
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