合肥磁控濺射光學(xué)鍍膜機

來源: 發(fā)布時間:2022-09-28

卷繞真空鍍膜設(shè)備的部件:速度控制和張力控制:速度控制:帶狀基體的線速度恒定是保持膜厚均勻的重要條件。卷繞系統(tǒng)帶材的速度控制多數(shù)采用以電流控制為主的速度恒定控制,速度都可以根據(jù)產(chǎn)品的要求,事先設(shè)定、自動調(diào)節(jié)。張力控制:薄膜張力控制在卷繞真空鍍膜機中是一個關(guān)鍵問題。張力控制同膜的跑偏、暴筋、起皺等現(xiàn)象均有關(guān)系。蒸發(fā)系統(tǒng)由蒸發(fā)源夾座(電極)、蒸發(fā)源、送絲機構(gòu)等組成。PVD鍍膜設(shè)備真空室開啟機構(gòu):大型雙室半連續(xù)蒸發(fā)鍍膜機的開啟機構(gòu)一般由真空室體,卷繞機構(gòu),密封大板,動力柜,行程開關(guān)和小車組成。根據(jù)鍍膜基本材料的幅寬,確定單門還是雙門開啟。常見的真空室多是單門開啟,蒸發(fā)器仍在鍍膜室內(nèi)。目前較火的動力電池的正負極材料都是采用卷繞真空鍍膜機雙面鍍銅鍍鋁。合肥磁控濺射光學(xué)鍍膜機

鍍膜機的維護和保養(yǎng)方法:真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半),需更換新油。方法是:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。杭州pvd真空鍍膜機多少錢真空鍍膜工藝靈活,改變品種方便。

鍍膜機基礎(chǔ)知識介紹:鍍膜機是在高真空狀態(tài)下進行鍍膜,因此稱真空鍍膜機,真空鍍膜機也分很多種類,市面上長以行業(yè)應(yīng)用進行分類,如光學(xué)鍍膜機,裝飾鍍膜機,卷繞鍍膜機等,也有以鍍膜方式進行分類,蒸發(fā)鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、多弧離子鍍膜機等。這些領(lǐng)域的真空鍍膜機在市場上應(yīng)用都非常大,只是根據(jù)客戶要求的工藝不一樣,應(yīng)用到不同的領(lǐng)域。鍍膜機需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中,基片需要有轉(zhuǎn)架,靶材需要有電源等。鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且較終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,較終形成薄膜。

對于真空鍍膜機鍍制濺射類鍍膜來說,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,形成薄膜。 濺射鍍膜又分為很多種,總體看,與蒸發(fā)鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。 濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射),晶向(外沿)生長的控制也比較一般。以pld為例,因素主要有:靶材與基片的晶格匹配程度、鍍膜氛圍(低壓氣體氛圍)、基片溫度 、激光器功率、脈沖頻率、濺射時間 。對于不同的濺射材料和基片,參數(shù)需要實驗確定,是各不相同的,鍍膜設(shè)備的好壞主要在于能否精確控溫,能否保證好的真空度,能否保證好的真空腔清潔度。MBE分子束外沿鍍膜技術(shù),已經(jīng)比較好的解決了如上所屬的問題,但是基本用于實驗研究,工業(yè)生產(chǎn)上比較常用的一體式鍍膜機主要以離子蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜為主。真空鍍膜機注意事項:設(shè)備接地必須可靠,并經(jīng)常檢查接地裝置導(dǎo)電作用。

真空鍍膜系統(tǒng)用于真空鍍膜產(chǎn)品。在現(xiàn)有的真空鍍膜系統(tǒng)中,由于鍍膜材料濃度上升緩慢,低濃度霧化鍍膜材料的鍍膜效率低,導(dǎo)致鍍膜時間長,而高濃度霧化鍍膜材料的鍍膜時間短,但會造成大量浪費。涂層本身用于改變工件的表面特性。為了使工件表面獲得多種不同的性能,往往需要對鍍膜機工件進行多次涂覆。對于真空鍍膜機,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶,將表面組炸成原子團或離子形式,沉積在基板表面,經(jīng)過薄膜形成過程,形成薄膜。爐體可以選擇不銹鋼、碳鋼或它們組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。常見的真空室多是單門開啟,蒸發(fā)器仍在鍍膜室內(nèi)。河北光學(xué)鍍膜機廠

鍍膜工藝在汽車玻璃上有很好的應(yīng)用。合肥磁控濺射光學(xué)鍍膜機

真空鍍膜設(shè)備使用步驟:電控柜的操作:開水泵、氣源;開總電源;開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后,關(guān)予抽,開前機和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子發(fā)生器的電源。關(guān)機順序:關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。待分子泵顯示到50時,依次關(guān)高閥、前級、機械泵,這期間約需40分鐘。到50以下時,再關(guān)維持泵。合肥磁控濺射光學(xué)鍍膜機

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