河北蒸鍍機(jī)廠商

一臺好的真空鍍膜機(jī)需要克服生產(chǎn)能力低、速度慢、功耗低的問題，以創(chuàng)造更高的生產(chǎn)效率，節(jié)省更多的生產(chǎn)成本，并逐步改進(jìn)機(jī)械設(shè)備的配置。這也是機(jī)械設(shè)備本身的檢測系統(tǒng)、過載系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和安全系統(tǒng)中不可忽視的一個重要問題。真空鍍膜機(jī)屬于硬件設(shè)備，為了充分發(fā)揮其功能特點(diǎn)，還需要與之相結(jié)合的相應(yīng)軟件。這包括一套維修、管理措施，也包括專業(yè)素質(zhì)的人員配合使用。根據(jù)真空鍍膜機(jī)的實(shí)際情況，有必要根據(jù)實(shí)際情況制定相應(yīng)的設(shè)備管理體系，建立完善的設(shè)備管理體系。注意真空鍍膜機(jī)本身及設(shè)備運(yùn)行中的安全，特別要重視安全裝置的檢查與使用。河北蒸鍍機(jī)廠商

真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同各分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。真空室是真空鍍膜機(jī)的主要部件之一。鍍膜機(jī)真空室均配有各種元件，能夠滿足各種類型的真空鍍膜的工藝要求。就像蒸發(fā)鍍膜機(jī)真空室內(nèi)置蒸發(fā)金屬的裝置的話，便能完成金屬薄膜的蒸鍍工藝。盡管鍍膜機(jī)真空室的可能適配的工藝不同，但基本上它的組成離不開氣缸、封頭、法蘭、管道、門、水冷等結(jié)構(gòu)。真空室是真空設(shè)備的一個主要組成部位，真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性，結(jié)構(gòu)須要合理，真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的。河北蒸鍍機(jī)廠商真空鍍膜機(jī)的焊接組件應(yīng)該設(shè)計(jì)的使數(shù)量的焊縫可以在制造階段分別測試。

真空蒸鍍工藝一般包括基片表面清潔、鍍膜前的準(zhǔn)備、蒸鍍、取件、鍍后處理、檢測、成品等步驟。(1)基片表面清潔。真空室內(nèi)壁、基片架等表面的油污、銹跡、殘余鍍料等在真空中易蒸發(fā)，直接影響膜層的純度和結(jié)合力。鍍前必須清沽干凈。(2)鍍前準(zhǔn)備。鍍膜室抽真空到合適的真空度，對基片和鍍膜材料進(jìn)行預(yù)處理。加熱基片，其目的是去除水分和增強(qiáng)膜基結(jié)合力。在高真空下加熱基片，能夠使基片的表面吸附的氣體脫附。然后經(jīng)真空泵抽氣排出真空室，有利于提高鍍膜室真空度、膜層純度和膜基結(jié)合力。然后達(dá)到一定真空度后．先對蒸發(fā)源通以較低功率的電，進(jìn)行膜料的預(yù)熱或者預(yù)熔，為防止蒸發(fā)到基板上，用擋板遮蓋住蒸發(fā)源及源物質(zhì)，然后輸入較大功率的電，將鍍膜材料迅速加熱到蒸發(fā)溫度，蒸鍍時再移開擋板。(3)蒸鍍。在蒸鍍階段要選擇合適的基片溫度、鍍料蒸發(fā)溫度外，沉積氣壓是一個很重要的參數(shù)。沉積氣壓即鍍膜室的真空度高低，決定了蒸鍍空間氣體分子運(yùn)動的平均自由程和一定蒸發(fā)距離下的蒸氣與殘余氣體原子及蒸氣原子之間的碰撞次數(shù)。(4)取件。膜層厚度達(dá)到要求以后，用擋板蓋住蒸發(fā)源并停止加熱，但不要馬上導(dǎo)入空氣。

真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵維修與保養(yǎng)：擴(kuò)散泵是真空鍍膜機(jī)的主要部件，為機(jī)器能運(yùn)作在良好狀態(tài)，平時對真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵的維護(hù)和保養(yǎng)非常重要。1、擴(kuò)散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。2、擴(kuò)散泵停止工作時，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。3、被抽氣體應(yīng)是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。4、擴(kuò)散泵如暫時不用，保管期間應(yīng)該保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕并將冷卻水套入的剩水吹凈。保持場地的室溫應(yīng)在10-40攝氏度之間。真空鍍膜機(jī)不像化學(xué)電鍍會用重金屬溶液和酸溶液進(jìn)行鍍膜。

真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵維修與保養(yǎng)：1、擴(kuò)散泵在長期工作后性能會逐漸變壞，應(yīng)定期檢查。如：泵油是否減少或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換處理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用清水進(jìn)行擦洗，并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。處理完后，按順序進(jìn)行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。2、待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機(jī)。3、在重新開機(jī)前，要注意檢漏工作。方法是：啟動維護(hù)泵，關(guān)好真空室門，數(shù)分鐘后，觀察真空度是否6*10的0帕，否則要進(jìn)行檢漏，檢查連接處是否漏裝密封膠圈，或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會燒壞，無法進(jìn)入工作狀態(tài)。擴(kuò)散泵是真空鍍膜機(jī)的主要部件，為機(jī)器能運(yùn)作在良好狀態(tài)。河北蒸鍍機(jī)廠商

真空蒸鍍裝置由真空抽氣系統(tǒng)和蒸發(fā)室組成。河北蒸鍍機(jī)廠商

真空鍍膜機(jī)基本技術(shù)要求如下：1、真空鍍膜機(jī)中的真空管道、靜態(tài)密封零部件（法蘭、密封圈等）的結(jié)構(gòu)形式，應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。2、在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測量規(guī)管，分別測量各部位的真空度。當(dāng)發(fā)現(xiàn)電場對測量造成干擾時，應(yīng)在測量口處安裝電場屏蔽裝置。3、如果設(shè)備使用的主泵為擴(kuò)散泵時，應(yīng)在泵的進(jìn)氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱。4、設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗，應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的情況以及其他關(guān)鍵部位。5、離子鍍沉積源的設(shè)計(jì)應(yīng)盡可能提高鍍膜過程中的離化率，提高鍍膜材料的利用率，合理匹配沉積源的功率，合理布置沉積源在真空室體的位置。6、合理布置加熱裝置，一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應(yīng)使被鍍工件溫升均勻一致。7、工件架應(yīng)與真空室體絕緣，工件架的設(shè)計(jì)應(yīng)使工件膜層均勻。8、離子鍍膜設(shè)備一般應(yīng)具有工件負(fù)偏壓和離子轟擊電源，離子轟擊電源應(yīng)具有抑制非正常放電裝置，維持穩(wěn)定。河北蒸鍍機(jī)廠商

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