真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜。對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，然后形成薄膜。真空鍍膜機本身是一個復雜的系統(tǒng)，包括真空、自動化、機械等多個系統(tǒng)。湖南電子束蒸鍍機
蒸鍍機的操作步驟：1.將要蒸發(fā)的基底材料洗干凈放在蒸發(fā)頭下面的基板上。2.將要蒸發(fā)的金屬用鑷子團成球形放入鎢籃中。3.將蒸發(fā)頭裝在儀器蓋上，插好電線，打開儀器電源開關。將氮氣鋼瓶的開關旋開，使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按鈕設置儀器參數(shù)。如果選擇“SinglePulse”模式，其余參數(shù)不需要設置，值設置除氣時間，在0～60秒內調節(jié)。5.然后按“START”鍵儀器開始抽真空。6.等儀器進入泵保持狀態(tài)，真空度達到9×10-5mbar是，可進行下一步操作。由于鋁比較容易氧化，蒸鋁時至少要在泵保持進行30分鐘之后才能進行下一步操作。7.按“START”鍵。8.按“△”鍵儀器開始除氣。主要除去要蒸發(fā)的金屬材料表面的一些污垢等。操作時要小心的向右旋下面的黑色按鈕，當“Current”顯示為8是就要通知旋動，稍等片刻鎢籃就會發(fā)紅，開始除氣。除氣持續(xù)10秒左右然后就將旋鈕向左旋到底。9.然后按“▽”鍵儀器進入蒸發(fā)狀態(tài)。10.蒸鍍完畢后，按“STOP”鍵，停止抽真空，然后打開蓋子取出樣品，關閉主機電源盒氣源。湖南蒸鍍機系列-FS-G1-6真空鍍膜機在重新開機前，要注意檢漏工作。
真空鍍膜機的真空室該如何設計？（一）焊接要求，根據(jù)需要，在該設備真空室的結構設計上也有所差別，常見有圓柱形、圓錐形、盒形等結構。對于我們的鍍膜機真空室的焊接技術上，要求有基本五點：為了防止鍍膜機的外殼變形，真空室的非氣密焊接一般用間斷焊。焊縫的總長度盡量短些，高度要大于真空室殼體的三分之一厚度，才能避免一些漏氣的可能。焊縫要便于做真空檢漏工作，盡量別在焊縫上開孔。焊縫與焊縫間別存在交叉，兩縫的中心線位置間應大于10cm的距離。（二）主體材料，鍍膜機真空室通常以金屬軋制板材作為主要材料制作，作為真空室的主體材料要求可焊性、氣密性要求比較高。對于一般的鍍膜機真空室使用的主體材料通常是低碳鋼、合金鋼、鋁和銅之類的金屬或合金。而不銹鋼則一般用于需要高真空、耐腐蝕的工藝的型號中。（三）封頭類型，作為鍍膜機真空室的一個重要零件——封頭，可與筒體焊接組成一個整體。真空鍍膜設備的封頭形式有球形、錐形、凸形、平蓋形等封頭類型。
真空鍍膜機的真空涂層技術起步時間不長，國際上在上世紀六十年代才出現(xiàn)將CVD（化學氣相沉積）技術應用于硬質合金刀具上。由于該技術需在高溫下進行（工藝溫度高于1000oC），涂層種類單一，局限性很大，起初并未得到推廣。到了上世紀七十年代末，開始出現(xiàn)PVD（物理的氣相沉積）技術，之后在短短的二、三十年間真空鍍膜機的PVD涂層技術得到迅猛發(fā)展，究其原因：（1）其在真空密封的腔體內成膜，幾乎無任何環(huán)境污染問題，有利于環(huán)保；（2）其能得到光亮、華貴的表面，在顏色上，成熟的有七彩色、銀色、透明色、金黃色、黑色、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏色，能夠滿足裝飾性的各種需要；（3）可以輕松得到其他方法難以獲得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂層、復合涂層，應用在工裝、模具上面，可以使壽命成倍提高，較好地實現(xiàn)了低成本、收益高的效果；（4）此外，PVD涂層技術具有低溫、高能兩個特點，幾乎可以在任何基材上成膜，因此，應用范圍十分廣闊，其發(fā)展神速也就不足為奇。真空鍍膜機的結構焊縫不應與密封焊縫相交叉。
真空鍍膜機工作環(huán)境要求：真空鍍膜設備應在真空條件下工作，因此設備應滿足真空對環(huán)境的要求。真空對環(huán)境的要求一般包括真空設備對實驗室（或車間）溫度、空氣和其他周圍環(huán)境中顆粒物的要求，以及對真空或真空中零件或表面的要求。這兩個方面密切相關。周圍環(huán)境直接影響真空設備的正常使用；真空室或安裝在真空設備中的零件是否清潔直接影響設備的性能。如果空氣中含有大量水蒸氣和灰塵，則在不清潔真空室的情況下，使用油封機械泵泵送很難達到預期的真空度。眾所周知，油封機械泵不應泵出含有對金屬有腐蝕性且對真空油有反應的顆粒粉塵的氣體。水蒸氣是一種可冷凝的氣體。當泵出大量可凝氣體時，對泵油的污染將更加嚴重。因此，泵的極限真空將降低，泵的泵送性能將受損。真空鍍膜設備要在真空條件下工作，因此該設備要滿足真空對環(huán)境的要求。湖南電子束蒸鍍機
真空鍍膜技術代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝，能節(jié)省大量的膜材和降低能耗。湖南電子束蒸鍍機
真空鍍膜機運用鍍膜資料鍍膜之前，對鍍膜資料做簡略的外表清潔能延伸鍍膜機運用壽命，由于各種污染物不僅使真空體系不能獲得所要求的真空度，還會影響真空部件銜接處的強度和密封性能。真空鍍膜機常見的污染物有：1、油脂包含加工、裝配、操作的時候沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等；2、操作時候的手汗，吹氣的時候的水汽和唾液等等；酸、堿、鹽類物質清洗時的剩余物質、手汗、水中的礦物質等；還有拋光殘渣及環(huán)境空氣中的塵埃和其它有機物。清潔這些污染物的意圖是為了改善真空鍍膜機工作穩(wěn)定性，使工作能夠更順利的進行。湖南電子束蒸鍍機
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