安徽微型光譜儀使用教程

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-09-07

光譜檢測(cè)作為一項(xiàng)先進(jìn)的測(cè)量技術(shù),運(yùn)用了光、色、熱等技術(shù),準(zhǔn)確分析出成分信息。這種技術(shù)加速了人類科學(xué)研究前進(jìn)的步伐,同時(shí)也在生產(chǎn)制造領(lǐng)域保障了產(chǎn)品的質(zhì)量。海洋光學(xué)發(fā)明了世界臺(tái)微型光纖光譜儀,使得光譜檢測(cè)行業(yè)出現(xiàn)了歷史性的轉(zhuǎn)變,便攜式設(shè)備讓光譜檢測(cè)更加方便,進(jìn)一步縮短了檢測(cè)的時(shí)間并降低成本。隨著物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)技術(shù)的發(fā)展,未來(lái)的光譜檢測(cè)將采用更先進(jìn)的模式服務(wù)于各個(gè)領(lǐng)域。同時(shí),在機(jī)器學(xué)習(xí)的支持下,檢測(cè)數(shù)據(jù)的價(jià)值將進(jìn)一步體現(xiàn)。海洋光學(xué)正在將光譜檢測(cè)走推向一個(gè)新的高度,全新一代4.0光纖光譜儀運(yùn)用了物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)技術(shù),意味著將可能創(chuàng)新出更多檢測(cè)功能,同時(shí)將激發(fā)出新一輪前所未有的光譜檢測(cè)機(jī)遇。輻照度校準(zhǔn)是指用一臺(tái)已知光譜輸出功率的燈來(lái)校準(zhǔn)光譜儀每個(gè)像元下的響應(yīng)強(qiáng)度。安徽微型光譜儀使用教程

海洋光學(xué)所有的光譜儀都能通過(guò)USB通訊(機(jī)身上有miniUSB或microUSB接口并配有連接線)。大部分光譜儀(QE,Maya,USB,HR,NIRQUEST系列都有)同時(shí)配有RS232串行接口,RS232需要用戶按照技術(shù)文件設(shè)計(jì)接線。另外,STS配有HDMI通訊接口。數(shù)據(jù)采集速度和檢測(cè)器(CCD)有關(guān),USB2000+/HR2000系列快1ms收集一次數(shù)據(jù),USB4000/HR4000系列.8ms采集一次。而QE/Maya系列,由于使用面陣型siliconCCD,采集速度為快為8ms;另外NIRquest系列,由于采用InGaAs檢測(cè)器,快采集速度也可達(dá)1ms.安徽微型光譜儀使用教程2009年出現(xiàn)一款工作在近紅外波段的微型光譜儀,采用基于邁克爾遜干涉儀的傅里葉變換技術(shù)。

光纖光譜儀因其快速、無(wú)損、原位測(cè)量的特點(diǎn),在半導(dǎo)體行業(yè)廣受青睞。海洋光學(xué)作為微型光纖光譜儀的發(fā)明者,在此領(lǐng)域也積累了一定的經(jīng)驗(yàn)。從等離子體刻蝕到晶圓膜厚測(cè)量,光纖光譜儀都有一定的應(yīng)用。光纖光譜儀測(cè)膜厚的優(yōu)勢(shì)與特點(diǎn):采樣速度快,適用于工業(yè)在線實(shí)時(shí)測(cè)量。非接觸式光學(xué)無(wú)損測(cè)量。靈活、體積小,重量輕,USB連接方式即插即用??筛鶕?jù)需求,定制不同波段的光譜儀??蓽y(cè)多層膜厚。半導(dǎo)體工業(yè)中,我們通過(guò)光刻技術(shù)制造和控制晶圓。其中蝕刻是該過(guò)程的主要環(huán)節(jié),當(dāng)在晶圓表面蝕刻時(shí),可使用等離子體監(jiān)測(cè)蝕刻穿過(guò)晶圓層,并確定等離子體何時(shí)完全蝕刻特定層并到達(dá)下一層。通過(guò)監(jiān)測(cè)在蝕刻期間由等離子體產(chǎn)生的發(fā)射線,可精確追蹤蝕刻過(guò)程。

光譜儀的靈敏度是一個(gè)衡量可見(jiàn)光輸入與光譜輸出關(guān)系的參數(shù),可以在海洋光學(xué)軟件中看到這個(gè)參數(shù)。檢測(cè)器靈敏度,不是指光譜儀靈敏度,通常是可以通過(guò)以下兩種方法表示的:1.單位入射輻射功率(單位:瓦)的輸出電流(單位:安)靈敏度可以由在給定輻射功率的發(fā)光光源條件下,檢測(cè)器輸出的電流值來(lái)確定。這種方法測(cè)得的單位通常是A/W(這經(jīng)常作為檢測(cè)器的響應(yīng)率,見(jiàn)NEP)。當(dāng)靈敏度被表達(dá)成A/W時(shí),檢測(cè)器的量子效率和靈敏度由以下公式得出:QE=Sx1240/λx100(%),這里λ是波長(zhǎng),單位是nm。2.單位入射曝光量(單位:lux.s)的輸出電壓(單位:V)靈敏度也可以由在一定大小的曝光量下,檢測(cè)器的輸出電壓值來(lái)確定。通常這種方法測(cè)得的靈敏度單位是V/lux.s。3、靈敏度可以表示成生成每隔count時(shí)需要的入射光的光子數(shù)量。海洋光學(xué)說(shuō)明書(shū)通常顯示在特定波長(zhǎng)下(通常在400nm和600nm)counts(計(jì)數(shù)值)(在OceanView或SpectraSuite軟件中y-軸的數(shù)值)與入射光子數(shù)量的比值。這個(gè)定義是有用的定義,因?yàn)樗苯臃磻?yīng)了用戶在海洋光學(xué)軟件上看到的結(jié)果。用于測(cè)量、采集、分析地表物體在野外自然條件下的反射率的光譜儀器我們稱之為地物光譜儀。

多通道光譜儀MX2500+,憑借其高效的外部同步時(shí)鐘,完美的協(xié)同了所有通道實(shí)現(xiàn)精確的延遲采集,準(zhǔn)確的在原子激發(fā)輻射突出時(shí)采集到完整的原子譜線信號(hào)。同時(shí),MX2500+可以應(yīng)客戶的需求在180-1100nm的范圍內(nèi)自由的配置光譜儀的通道數(shù)量和覆蓋范圍,系統(tǒng)自帶的高效時(shí)鐘可以完美的同步所有通道,并同時(shí)實(shí)現(xiàn)精確觸發(fā)兩臺(tái)外部設(shè)備。(如激光器或微波增強(qiáng)設(shè)備)激光器:常使用Nd:YAG激光器,激光器的脈沖寬度一般為納秒量級(jí),能夠在極短時(shí)間內(nèi)在極小面積上集中大量能量,作為系統(tǒng)激勵(lì)源,將樣品表面微量物質(zhì)剝離并激發(fā)出等離子體。樣品倉(cāng):密閉穩(wěn)定的倉(cāng)式結(jié)構(gòu),一般會(huì)包含樣品平臺(tái),激光聚焦和收光光路,氣體吹掃系統(tǒng),成像系統(tǒng),激光安全保護(hù)等配套裝置。2010年出現(xiàn)近紅外波段微型光譜儀,采用光柵分光InGaAs線陣探測(cè)器,工作波段推進(jìn)到2500nm。安徽微型光譜儀使用教程

積分時(shí)間是檢測(cè)器在將累積的電荷通過(guò)A/D轉(zhuǎn)換器加工之前,被允許收集光子的時(shí)間長(zhǎng)度。安徽微型光譜儀使用教程

在硅型CCD檢測(cè)器中,量子效率在450nm以下降低,在400nm以下降到零附近。對(duì)于要求在紫外范圍有響應(yīng)的光譜儀,在檢測(cè)器低波長(zhǎng)的部分涂覆了能夠增大紫外性能的材料。這種材料被稱作熒光劑,(引起熒光效應(yīng))并且它能響應(yīng)檢測(cè)器的紫外端的像元上的紫外曝光(發(fā)射可見(jiàn)光,對(duì)在檢測(cè)器紫外末端的像元上的紫外曝光進(jìn)行相應(yīng)。),發(fā)射出可見(jiàn)光并產(chǎn)生熒光。因?yàn)闄z測(cè)器在可見(jiàn)光波段對(duì)光子有很高的敏感度,發(fā)射出的光子會(huì)被檢測(cè)器立即捕捉,并被軟件當(dāng)作紫外光進(jìn)行處理。海洋光學(xué)所用的紫外涂層的性能不會(huì)因時(shí)間的推移而降低。另一種提高光譜儀紫外性能的方法是用背照薄型檢測(cè)器。安徽微型光譜儀使用教程

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