ITO陶瓷靶材咨詢報價

靶材相對密度對大面積鍍膜的影響靶材的相對密度是靶材的實際密度與理論密度之比。單組分靶的理論密度為晶體密度。合金或混合物靶材的理論密度由各組分的理論密度及其在合金或混合物中的比例計算得出。熱噴涂的靶材結(jié)構(gòu)疏松多孔，含氧量高（即使在真空噴涂中，也很難避免合金靶材中氧化物和氮化物的產(chǎn)生）。表面呈灰色，缺乏金屬光澤。吸附的雜質(zhì)和水分是主要污染源，阻礙了高真空的快速獲得，在濺射過程中迅速導(dǎo)致放電，甚至燒毀靶材。同時，靶材濺射表面的高溫會迅速導(dǎo)致松散顆粒落下，污染玻璃表面，影響鍍膜質(zhì)量。相對密度越高，成膜速度越快，濺射工藝越穩(wěn)定。根據(jù)靶材制備工藝的不同，鑄造靶材的相對密度應(yīng)在98%以上，粉末冶金靶材應(yīng)在97%以上才能滿足生產(chǎn)使用。因此，應(yīng)嚴格控制目標密度，以減少落渣的發(fā)生。噴涂靶材的密度低，并且制備成本也低。當相對密度能保證90%以上時，一般不影響使用。透明導(dǎo)電薄膜的種類很多，主要有ITO，TCO，AZO等，其中ITO的性能比較好，ITO具有高透光率，低電阻率。ITO陶瓷靶材咨詢報價

鈣鈦礦太陽電池在短短數(shù)十年間不斷刷新轉(zhuǎn)換效率?；谡玫拟}鈦礦太陽電池面臨著眾多問題，如遲滯較大，光熱穩(wěn)定性差等，相較之下倒置結(jié)構(gòu)可以較好的解決上述問題。倒置結(jié)構(gòu)中空穴傳輸層主要有氧化鎳(NiOx)、聚(3,4-乙烯二氧噻吩):聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT:PSS)、聚[雙(4-苯基)(2,4,6-三甲基苯基)胺](PTAA)等幾種，但是PEDOT:PSS，PTAA等空穴傳輸層并不穩(wěn)定且成本較高，考慮到未來大面積生產(chǎn)所需，目前只有NiOx較為適合?，F(xiàn)有的NiOx制備工藝以納米晶溶液旋涂、化學浴沉積、原子層沉積、化學氣相沉積等為主。目前合適的大面積制備技術(shù)以化學氣相沉積為主，其中磁控濺射制備可重復(fù)性高且較為均勻?，F(xiàn)有的技術(shù)手段中，常在氧化鎳基板中添加單獨的堿金屬元素或者過渡金屬，用以提升氧化鎳空穴傳輸層的空穴傳輸能力。北京光伏行業(yè)陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)靶材開裂影響因素裂紋形成通常發(fā)生在陶瓷濺射靶材和脆性材料濺射靶材（如鉻、銻、鉍等）中。

靶材由“靶坯”和“背板”焊接而成。（1）靶坯是高速離子束流轟擊的目標材料，屬于濺射靶材的主要部分，涉及高純金屬、晶粒取向調(diào)控。在濺射鍍膜過程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜。（2）背板起到主要起到固定濺射靶材的作用，涉及焊接工藝。由于高純度金屬強度較低，而濺射靶材需要安裝在機臺內(nèi)完成濺射過程。機臺內(nèi)部為高電壓、高真空環(huán)境，因此，超高純金屬的濺射靶坯需要與背板通過不同的焊接工藝進行接合，背板需要具備良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能。

靶材主要用于生成太陽能薄膜電池的背電極，晶體硅太陽能電池較少用到濺射靶材。太陽能電池主要包括晶體硅太陽能電池和薄膜太陽能電池，晶體硅太陽能電池轉(zhuǎn)化效率較高、性能穩(wěn)定，且各個產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)比較成熟，占據(jù)了太陽能電池市場的主導(dǎo)地位。而晶體硅太陽能電池按照生產(chǎn)工藝不同可分為硅片涂覆型太陽能電池以及PVD工藝高轉(zhuǎn)化率硅片太陽能電池，其中硅片涂覆型太陽能電池的生產(chǎn)不使用濺射靶材，目前靶材主要用于太陽能薄膜電池領(lǐng)域。靶材濺射鍍膜形成的太陽能薄膜電池的背電級主要有三個用途：一，它是各單體電池的負極；二，它是各自電池串聯(lián)的導(dǎo)電通道；三，它可以增加太陽能電池對光的反射。太陽能薄膜電池用濺射靶材主要為方形板狀，對純度要求沒有半導(dǎo)體芯片用靶材要求高，一般在99.99%以上。目前制備太陽能電池較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及ITO靶、AZO靶(氧化鋁鋅)等。其中鋁靶、銅靶用于導(dǎo)電層薄膜，鉬靶、鉻靶用于阻擋層薄膜，ITO靶、AZO靶用于透明導(dǎo)電層薄膜。鈣鈦礦太陽電池在短短數(shù)十年間不斷刷新轉(zhuǎn)換效率。

靶材預(yù)濺射建議采用純氬氣進行濺射，可以起到清潔靶材表面的作用。靶材進行預(yù)濺射時建議慢慢加大濺射功率，陶瓷類靶材的功率加大速率建議為1.5W小時/平方厘米。金屬類靶材的預(yù)濺射速度可以比陶瓷靶材快，一個合理的功率加大速率為1.5W小時/平方厘米。在進行預(yù)濺射的同時需要檢查靶材起弧狀況，預(yù)濺射時間一般為10分鐘左右。如沒有起弧現(xiàn)象，繼續(xù)提升濺射功率到設(shè)定功率。根據(jù)經(jīng)驗，一般應(yīng)確保冷卻水出水口的水溫應(yīng)低于35攝氏度，但非常重要的是確保冷卻水的循環(huán)系統(tǒng)能有效工作，通過冷卻水的快速循環(huán)帶走熱量，是確保能以較高功率連續(xù)濺射的一項重要保障。靶材由“靶坯”和“背板”焊接而成。寧夏光伏行業(yè)陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)

陶瓷靶材的制備工藝；ITO陶瓷靶材咨詢報價

靶材綁定背板流程：一、什么是綁定綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。靶材綁定常用釬焊，釬料常用In、Sn、In–Sn，一般使用軟釬料的情況下，要求濺射功率小于20W/㎝2。二、為什么要綁定 1、防止靶材受熱不勻碎裂，例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結(jié)靶材；2、節(jié)省成本，防止變形，如靶材太貴，可將靶材做薄些，綁定背靶以防止變形。三、背靶的選擇 1、常用無氧銅，導(dǎo)電性好，無氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好；2、厚度適中，一般建議背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁強；太薄，容易變形。四、綁定過程 1、綁定前將靶材和背靶表面預(yù)處理2、將靶材和背靶放置在釬焊臺上，升溫到綁定溫度3、將靶材和背靶金屬化4、粘接靶材和背靶5、降溫和后處理五、綁定靶材使用的注意事項1、濺射溫度不宜太高2、電流要緩慢加大3、循環(huán)冷卻水應(yīng)低于35攝氏度4、適宜的靶材致密度。 ITO陶瓷靶材咨詢報價

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